t******e
发帖数: 2504 | 1 哈，中芯定了一台EUV就得出市场小结论？ 什么逻辑？ 那你还一台没定呢，那市场何
止小，就是没有？
那你知道台积电定了几台？南韩定了几台？
除了EUV光刻，DUV光刻市场又有多少？ |
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s******t
发帖数: 181 | 2 是说开发下一代光刻机的，比如作EUV, E-Beam光刻的
呢？ |
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s***d
发帖数: 15421 | 3 感觉这是还是海龟做比较靠谱~~原applied materials的副总裁~海归上海后那个中微半
导体设备就很不错~蚀刻已近45nm了~光刻 貌似100nm~ |
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H********n
发帖数: 207 | 4 这狼就算真来了，也快没兔子吃了。等了这么多年，到7nm之后，光刻未必是最大难题
了，说不定现在的半导体器件结构和制造方法真的到头了，要革命了 |
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D*****i
发帖数: 8922 | 5 代替水的液体必须和工艺兼容，也就是不能和光刻胶、金属、硅、SiO2、氮化硅等等材
料发生反应，还要容易清洗，条件太多了，不好找。 |
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a***e
发帖数: 27968 | 6 别想当然，表面波等离子体就是个说法
没啥温度的
光刻胶可不是啥耐高温的东西
★ 发自iPhone App: ChineseWeb 13 |
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d*****i
发帖数: 3905 | 7 我没看过新闻细节。
但是要说光刻，本身是个工程问题，原理本事不是问题的核心。
这里头产率，defectivity，overlay，稳定性都是缺一不可的关键。
就好比做芯片难，但是做一个可以工作的transistor并不难，好多大学实验室里就能干 |
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M****u
发帖数: 17708 | 8 祖国不是要用量子计算机了么？搞个毛光刻，都他妈夕阳产业了 |
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D*****i
发帖数: 2068 | 10 见过激光吗？
你也不怕被激光烧伤？
：老子在光刻机上临幸了你妈生下你这头搞笑的畜生。 |
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t******e
发帖数: 2504 | 11 读了一篇今年4月的文章，Who will be the first manufacturer to 7nm?
http://www.androidauthority.com/who-will-be-the-first-manufacturer-to-7nm-757916/
选了4家作为候选人,目前主流是14/16nm node, 10nm也在用，10nm是目前量产最先进的
，7nm虽然有样品，但还都没有量产。
三星：7nmm目前试产，EUV光刻，似乎工艺有点小问题， 希望2018整年努力能增加产量
，但到2019年才可能见到移动处理器 。
台积电：和ARM合作7nm，没用EUV,还是用immersion, 预计2018年6月 risk production
, 而且已经做出12 CPU核的处理器样品了，目前看，台积电比三星要快。 另外，台积
电将来要用EUV来做5/3nm。
GlobalFoundries：和台积电一样还是用immersion, 该公司是跳过10nm, 直接到7nm,
在2019年前是见不到产品。
Intel：使用EUV,生产线估计要到2019，量产要到2020。
这样... 阅读全帖 |
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D*****i
发帖数: 2068 | 12 见过激光吗？
你也不怕被激光烧伤？
：老子在光刻机上临幸了你妈生下你这头搞笑的畜生。 |
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t******e
发帖数: 2504 | 13 读了一篇今年4月的文章，Who will be the first manufacturer to 7nm?
http://www.androidauthority.com/who-will-be-the-first-manufacturer-to-7nm-757916/
选了4家作为候选人,目前主流是14/16nm node, 10nm也在用，10nm是目前量产最先进的
，7nm虽然有样品，但还都没有量产。
三星：7nmm目前试产，EUV光刻，似乎工艺有点小问题， 希望2018整年努力能增加产量
，但到2019年才可能见到移动处理器 。
台积电：和ARM合作7nm，没用EUV,还是用immersion, 预计2018年6月 risk production
, 而且已经做出12 CPU核的处理器样品了，目前看，台积电比三星要快。 另外，台积
电将来要用EUV来做5/3nm。
GlobalFoundries：和台积电一样还是用immersion, 该公司是跳过10nm, 直接到7nm,
在2019年前是见不到产品。
Intel：使用EUV,生产线估计要到2019，量产要到2020。
这样... 阅读全帖 |
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b***a
发帖数: 377 | 14 例如这篇文章，好像就是飞秒激光可以纳米光刻的。
High-Density Regular Arrays of Nanometer-Scale Rods Formed on Silicon
Surfaces via Femtosecond Laser Irradiation in Water
Mengyan Shen, James E. Carey, Catherine H. Crouch, Maria Kandyla, Howard A.
Stone and Eric Mazur*
Department of Physics and School of Engineering and Applied Sciences,
Harvard University, 9 Oxford Street, Cambridge, Massachusetts 02138 |
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t******e
发帖数: 2504 | 18 我靠，居然还有人相信荷兰不卖给大陆光刻机？
ASLM的TWINSCAN NXT 1980Di， 2015年出的，当时最先进的型号，2016年初就卖给了中
芯。
这几年来，什么武汉长江储存，上海的华力， 还有合肥和晋华的DRAM,都是在用荷兰光
刻机。武汉和上海这2家，还敲锣打鼓地搞仪式庆祝设备进厂，ASML1980Di是作为最亮
眼的照片登出来。 |
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发帖数: 1 | 20 tm就造出一牛B光刻鸡，刻出芯片来，在嚷嚷。不会又是一忽悠的家伙，又来蒙钱吧，
看看芯片的一帮骗子，鼓捣了多少纳税人的钱。 |
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t******e
发帖数: 2504 | 21 订货订迟了，订货后都要等十几个月，中芯倒霉，只好赶上贸易战。
不过，这个消息也有可能不准确，因为现在老川在国内焦头烂额，在外面是寻求缓和而
不是挑事，ASML这些公司应该也会看到这情况，不会主动对华断货的。
至于中芯拿到一台EUV又能干什么，也就是搞初步研发。 其实7nm,不用EUV就能做出来
，台积电就是如此。 如果一步跳到EUV，那反而问题多，据说这是三星和intel在制程
上不如台积电的原因。
台积电更进一步的7nm+ (EUV), 也就是加了几道EUV光刻， 其它还是用老的DUV。 它现
在正在试产的5nm， EUV才用得多。
EUV |
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t******e
发帖数: 2504 | 22 EUV， 从半导体行业开始谈论是光刻的希望，到最终实用化， 花了几十年时间，耗费
了极大的人力财力。 |
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t******e
发帖数: 2504 | 23 要看美帝还是土鳖对荷兰影响谁大了， 肯定是美帝啊。
估计荷兰也不会公开说不卖，而是拖，出口许可证拖个几年再说，直到美帝说可以卖了
，才批许可证。
土鳖除了口炮，也没啥好招， 要是报复不买ASML的DUV光刻， 就只能买日本货了，
那就只能刻28nmy以上的芯片了， 良率还不行。 |
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O**********g
发帖数: 3962 | 24 说实话，卖了又如何。法国当年在科技上对中国最友好，结果并没有比其他国家多尝到
甜头，那还不如和别人一样留一手
: 要看美帝还是土鳖对荷兰影响谁大了， 肯定是美帝啊。
: 估计荷兰也不会公开说不卖，而是拖，出口许可证拖个几年再说，直到美帝说可
以卖了
: ，才批许可证。
: 土鳖除了口炮，也没啥好招， 要是报复不买ASML的DUV光刻， 就只能买日本货
了，
: 那就只能刻28nmy以上的芯片了， 良率还不行。
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v**e
发帖数: 8422 | 25 貌似中国刻蚀机真的赶上来了，美国也被迫放宽了出口限制。
不过光刻机还差很远， 这个连美国也不是很强。 |
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y**h
发帖数: 3093 | 26 哈哈 懂的说说 没有光刻机怎么用刻蚀机弄出7纳米的线 |
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a***e
发帖数: 27968 | 27 想多了，根本不是一个类型和级别的设备。MOCVD一台就是1M刀的水平，刻蚀机也差不
多。光刻机是30M起
★ 发自iPhone App: ChinaWeb 1.1.5 |
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U*******n
发帖数: 824 | 28 台狗也不过就是台积电弄了几台10nm 机代工，好象出了什么了不起的CPU大牛一样 |
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f******8
发帖数: 150 | 29 记着就知道瞎吹，真是什么也不懂，光刻机才是核心难点，那才是定义几纳米技术的
东西，不过etching出来，lam和amat估计损失很大，以后半导体fab估计会加快往中国
转移 |
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a***e
发帖数: 27968 | 30 lam损失大。tel也不小，amat早损失差不多了不差这个
记着就知道瞎吹，真是什么也不懂，光刻机才是核心难点，那才是定义几纳米技术的
★ 发自iPhone App: ChineseWeb 13 |
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x****y
发帖数: 1853 | 31 AMAT强项是PVD, CVD和Ion Implant, LAM是Etch，TEL以前是是个倒卖东西的二道贩子
，后来买了一些Toshiba和Excelis的spin off现在强项是Etch和Implant. 这几个公司
加起来的profit margin才跟ASML的EUV光刻机有一拼。什么都行最有技术难度一目了然。 |
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C***S
发帖数: 1159 | 32 这是蚀刻机，不是光刻机。蚀刻机本来就很强，台积电都买国内的。 |
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g***t
发帖数: 7544 | 35 蚀刻机的确不能算高端技术。
光刻机在感光膜上画好了，洗洗，蚀刻机再吹点氟化氢，齐活。
中国目前不能规模生产足够纯的氟化氢。 |
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s*x
发帖数: 8041 | 37 半导体生产设备和材料，是半导体产品的最上游。全世界每年销售的生产设备和材料，
加起来总共800多亿美元左右，如果仅仅从规模上来看，其实并不大，就算有个国家占
据了全球50%的生产设备和材料的份额，一年销售额也就是400亿美元多点。这两个领域
主要是技术门槛高，同时是制高点，因此可以起到控制他国集成电路发展速度的作用。
具体来说，根据国际半导体产业协会SEMI的统计，2016年全球半导体设备出货额412亿
美元，全球半导体材料出货额443亿美元。
而据国际半导体产业协会(SEMI) 2018年1月26日公布的数据，2017年全球半导体设备商
出货金额达到560亿美元，比起上一年大幅增长接近40%，创下历史新高。很遗憾的是，
由于全球新建的12英寸晶圆厂在逐渐向中国集中，因此半导体设备采购额增长，很大程
度上来自中国，在这个领域，我们处于受制于人的局面。
我们看下Gartner 2016年的全球十大半导体设备制造商排名，当然里面并没有中国公司
出现，只有三个国家的公司上榜了，美国，日本和荷兰。
世界前三名是美国应用材料，美国Lam Research，荷兰ASML。
接下来是第四名日本的东京... 阅读全帖 |
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t*******a
发帖数: 4055 | 38 中国光刻机看见曙光
荷兰ASML是世界顶尖光刻机的全球唯一生产商。
众所周知，航空发动机和光刻机分别代表了人类科技发展的顶级水平，都可以算得上是
工业皇冠上的夺目的明珠。目前，我国航空发动机已经有了长足的进步，那么，我国的
光刻机发展现状如何？这种誉为新时代“两弹一星”级别的“神器”我国能赶超欧美吗
？特别是最近某科技媒体称，“是什么卡了我们的脖子—— 这些“细节”让中国难望
顶级光刻机项背”，笔者根据公开资料解析我国光刻机最新进展。所谓光刻机，原理实
际上跟照相机差不多，不过它的底片是涂满光敏胶（也叫光刻胶）的硅片。各种电路图
案经激光缩微投影曝光到光刻胶上，光刻胶的曝光部分与硅片进行反应，将其永久的刻
在硅片上，这是芯片生产的最关键步骤。 由于光刻机在芯片最后的封装，以及平板显
示器件生产都可以用到，所以这里的光刻机一般特指芯片生产的前道光刻机。
由于前道光刻机技术极端复杂，经过多年竞争，目前由原荷兰飞利浦公司发展而来的
ASML（阿斯麦）公司一家独大，占据大部分市场份额，日本的两家光刻机公司（尼康和
佳能）苟延残喘，基本上已退出光刻机市场 ，就连科技最发达的美国... 阅读全帖 |
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w********2
发帖数: 632 | 39 国产光刻机的发展
1、历史
我国光刻机设备的研制起步也不晚。从1970年代开始就先后有清华大学精密仪器系、中
科学院光电技术研究所、中电科45所投入研制。
清华大学精密仪器系是我国历史最悠久的工程学科院系之一，建有“精密测试技术与仪
器”国家重点实验室。1970年代，研制开发了分步重复自动照相机、图形发生器、光刻
机、电子束曝光机工件台等半导体设备，其中“分步相机”应用于全国100多个厂家，
受到好评。
中科学院光电技术研究所是中国光刻设备的最早研制机构之一，在1980年研制出首台光
刻机，分辨率3μm，属于接触/接近式；1991年研制出分辨率1um同步辐射 X-射线光刻
机；1993年研制出g线1.5um的分布重复投影光刻机，产率达32wph；1997年自主研发完
全“0.8-1um分步重复投影光刻机”。
中电科45所也是我国最早从事光刻机研发的骨干单位之一。当1978年世界上第一台量产
型g线分步投影光刻机在美国问世后，45所就投入了分步投影光刻机的研制工作，1985
年研制我国同类型第一台 g线1.5um分步投影光刻机，在1994年推出分辨率达0.8um的分
步投影光刻机，200... 阅读全帖 |
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发帖数: 1 | 40 这次台湾大面积断电，民众生活的各种囧状大家都谈论得比较多了，比如：数千人被关
在电梯中，花莲市街上红绿灯一度熄灭，很多报警设施的红灯都亮不起来了，医院手术
室出事故。。。。。。
但是。。。。。。台湾的半导体产业链却没有什么大碍：
行政院科技部下属的三大科学园区：竹科（新竹科学园）、中科（台中科学园）、南科
（台南科学园）都没有出现大面积的跳电，8月15日当晚，台湾残存的电力给三大科学
园区的台湾 半导体Fab进行轮流供电。
掌控全球先进芯片制造的半导体三巨头（Intel、三星、台积电）之一的台积电 几乎毫
发无伤。
全球主要晶圆材料制造商——环球晶圆（不是global foundries，别搞混了，台湾环球
晶圆是芯片上游晶圆材料重要制造商）也无大碍。
全球芯片封装测试巨头——日月光集团 仅有南科的部分园区出现了60分钟停电，设备
很快恢复。
唯独芯片封装测试厂商南茂科技位于南科园区的工厂有一点损失。
以目前台湾烂尾的分布式发电政策方案（议案连立法院一审都没过），台湾动辄产能5
万片的12寸半导体Fab凭借自己的备用UPS在停电时根本支撑不了多久。
也就是说，与多数国家/地区不同，台湾... 阅读全帖 |
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f***y
发帖数: 4447 | 41 https://www.toutiao.com/a6551186031670985224/
华卓精科：中国光刻机核心零部件顶尖供应商
读懂新三板 2018-05-03 10:48:00
[an error occurred while processing the directive]
华卓精科的核心战略产品是光刻机双工件台；其他整机设备包括激光退火、硅片堆叠、
扫描干涉光刻机；零部件有运动平台、EFEM、静电卡盘、隔振器等。
其核心优势在于：
1.技术先进。华卓精科的核心战略产品光刻机双工件台，打破了ASML公司在工件台上的
技术垄断，成为世界上第二家掌握双工件台核心技术的公司。
2.完成多产品布局。基于双工件台技术，公司在激光退火、运动平台、硅片堆叠、静电
卡盘、EFEM等领域均有布局，相应产品均已经从市场拿到相当数量的订单，并具备生产
交付能力。据华卓精科首席科学家朱煜透露，运动平台收入已经超过工件台，成为公司
第一大业务。
3.面临国产化替代机会，市场广阔。公司产品在激光退火、运动平台、静电卡盘、EFFM
等领域均能实现国产化替代。相较于国外产品，价格至少低20%。因为公司的研... 阅读全帖 |
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c****x
发帖数: 6601 | 42 https://user.guancha.cn/main/content?id=35310&page=0
不久前，观察者网科工力量专栏采访了中微半导体董事长尹志尧博士，并刊登了经尹博
士审定的采访全文（点击阅读）。中微半导体是国家集成电路产业基金（大基金）成立
后投资的第一家公司，也是美国《确保美国在半导体产业的长期领导地位》报告中唯一
提到名字的中国公司。2015年，因中微半导体开发的国产等离子体刻蚀设备达到世界先
进水平，美国商务部解除了这类设备持续几十年的出口管制。
当天，尹志尧博士还为我们做了长达近2小时的科普，讲解的内容涉及半导体微观加工
设备、数码产业格局、中国制造业升级战略等许多方面。限于篇幅，此前没有在观察者
网报道中全文刊出。现经仔细编校，并由尹博士本人修改审定，我们在微信公众号刊出
这些内容（全文约15000字），以飨读者。
我下面解释一下，我们做半导体芯片设备也好，还有其他泛半导体微观加工设备也好，
在这个整个产业链处在一个什么位置，解释一下。
我们做的是大型真空的微观加工设备，它是做半导体芯片或其他微观器件加工的。就是
现在大家看到的集成电路，大面积显示屏，太阳... 阅读全帖 |
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c****x
发帖数: 6601 | 43 【 以下文字转载自 Military 讨论区 】
发信人: cccpwx (flg政庇小学生), 信区: Military
标 题: 规模大赚钱就是好公司？政府要推动最基础的大国重器
发信站: BBS 未名空间站 (Fri Aug 31 01:09:58 2018, 美东)
https://user.guancha.cn/main/content?id=35310&page=0
不久前，观察者网科工力量专栏采访了中微半导体董事长尹志尧博士，并刊登了经尹博
士审定的采访全文（点击阅读）。中微半导体是国家集成电路产业基金（大基金）成立
后投资的第一家公司，也是美国《确保美国在半导体产业的长期领导地位》报告中唯一
提到名字的中国公司。2015年，因中微半导体开发的国产等离子体刻蚀设备达到世界先
进水平，美国商务部解除了这类设备持续几十年的出口管制。
当天，尹志尧博士还为我们做了长达近2小时的科普，讲解的内容涉及半导体微观加工
设备、数码产业格局、中国制造业升级战略等许多方面。限于篇幅，此前没有在观察者
网报道中全文刊出。现经仔细编校，并由尹博士本人修改审定，我们在微信公众号刊出
这些内容（... 阅读全帖 |
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g*******y
发帖数: 202 | 44 https://www.zhihu.com/question/53308393
作者：在贵州吃腊肉
链接：https://www.zhihu.com/question/53308393/answer/137354613
来源：知乎
著作权归作者所有。商业转载请联系作者获得授权，非商业转载请注明出处。
再谈台积电，台积电可是在北约技术封锁同盟——瓦森纳协议体系的清单中，台积电的
制程技术未经美国允许，是不能向其他企业、国家、机构出让的。甚至连台积电在海外
设置晶圆FAB都要按照瓦森纳协议条款审核。台积电、三星、Intel 三家公司垄断了全
球的高端芯片制程，被称为半导体三巨头。（Globalfoundry 已经沦为三星的附庸，德
仪老了，联电现在就是个打酱油的，日企更是迅速溃败） https://pic4.
zhimg.com/v2-b5896517de59450cc92e48405bceccd3_b.jpg" data-rawwidth="502"
data-rawheight="303" class="origin_image zh-lightbox-thumb" ... 阅读全帖 |
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发帖数: 1 | 45 “最先进光刻机对中国禁售”是一个谎言
中兴被美国封杀十多天了，又有传言华为也在被美国调查。中兴被美国封杀最大的影响
是芯片，在此时机，网络上那个“最先进光刻机对中国禁售”的传言又盛行起来。这里
回顾下半导体制造产业界的一段精彩历史，数几个风流人物，看能不能终结这个捕风捉
影的传言。
光刻机包括很多种类，为避免混淆，先明确一下，本文说的光刻机就是指生产最先进逻
辑芯片所用的那个谣传不卖给中国的设备。这个东西，现在是ASML一家独大。在ASML一
家独大的局面形成之前，是尼康、佳能和ASML三足鼎立。怎么从三足鼎立演变成一家独
大的呢？转折点是193nm波长浸润式光刻机的问世。
本来，光刻机都是干式的，没有液体参与。1987年，当时的IBM还拥有大量芯片Foundry
业务。这里要说明一下，我不喜欢中文夹杂英文单词，但是这个芯片Foundry实在是没
有通用翻译，直译成工厂又觉得很不确切，所以只好夹杂英文单词了。1987年，张忠谋
创立了台积电，这是改变产业界的大事。在同一年，一位不太起眼的IBM芯片Foundry工
程师从显微镜镜头上的水得到灵感，提出了一种浸润式光刻机的新设想，写成论文... 阅读全帖 |
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z*m
发帖数: 3227 | 46 自动化与仪表 2018-10-29
1 、Applied Materials（应用材料）
应用材料公司是一家半导体和显示制造设备商，应用材料公司成立于1967年，2017财年
，应用材料公司营业额达到145亿美元，在17个国家设有90个分支机构，全球员员工人
数18400人。拥有超过11，900专利。
1984年，应用材料公司在北京设立了中国客服中心，成为第一家进入中国的国际芯片制
造设备公司。通过长期参与中国的高科技制造业，应用材料公司为半导体、先进显示以
及太阳能光伏制造行业提供设备与服务。
作为一家老牌的美国半导体设备商，应用材料（AMAT）是全球最大的半导体设备公司，
产品横跨CVD、 PVD、刻蚀、CMP、RTP等除光刻机外的几乎所有半导体设备。在全球晶
圆处理设备供应商中排名第一，应用材料市占率19％左右，其中，在PVD领域，应用材
料占据了近85％的市场份额，CVD占30％。
2、Lam Research（泛林）
LamResearch是刻蚀机设备领域龙头。Lam Research是向世界半导体产业提供晶圆制造
设备和服务的主要供应商之一。主要从事半导体生产设备、开发、制... 阅读全帖 |
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发帖数: 1 | 47 美国对华“芯片禁令”背后的全球芯片产业版图与中国软肋
分享到：
时间：2018-06-12 10:46
•来源： 中兴大城咨询
•作者： 中兴大城智库
•浏览：142
评论： 0
字号： 大 中 小
中国芯片发展存在的问题：一是IP核缺乏，目前IP核心技术主要由国外掌握，国内IP核
产品有限，因此在发展IP和获得IP使用权上困难重重。二是芯片设计能力弱，竞争压力
、技术落后、资金匮乏导致大多数芯片设计企业没有能力也不愿意进行投资巨大的高端
芯片设计。三是芯片制造、封测水平存在差距，国内芯片制造、封测水平与国际领先水
平存在一定差距的主要原因在于大陆地区制造工艺、生产设备都依赖台资、外资。
2018年3月以来，美国高举贸易保护大旗，以违反美方单方面宣布的伊朗制裁规则为借
口，禁止美国企业向中兴通讯出售任何电子技术或通讯元件，打击中国以电子信息为代
表的高端制造业升级。
以中兴通讯为典型代表，中国电子信息产业整体上硬件整机产品强、核心元件弱，在
CPU、GPU等芯片核心元器件上大量依赖进口和外国技术授权，美国发出... 阅读全帖 |
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发帖数: 1 | 48 国产集成电路装备：十年生死竞速
来源：科Way 作者：刘禹 时间：2018-06-25
64 0 科学前沿 字号:A-A+
分享到： 收藏 打印
在浦东张江中芯国际的工厂里，无时无刻不在上演着代表人类最高制造水平的“接力赛
”。直径30厘米的圆形硅晶薄片穿梭在各种极端精密的加工设备之间，由它们在硅片表
面制作出只有发丝直径千分之一的沟槽或电路。热处理、光刻、刻蚀、清洗、沉积……
每块晶圆要昼夜无休地被连续加工两个月，经过成百上千道工序，最终集成了海量的微
小电子器件，经切割、封装，成为信息社会的基石——芯片。
半导体生产设备和材料，是半导体产品的最上游。据国际半导体产业协会（SEMI）公布
的数据显示，2017年全球半导体设备商出货金额达到560亿美元，比起上一年大幅增长
接近40%，创下历史新高。相比2016年全球半导体市场3389亿美元的销售额来说，规模
其实并不大。
但在中国国家科技重大专项02专项技术总师、中科院微电子所所长叶甜春看来，与其他
产业不同，半导体生产设备和材料并不是IC的配套产业，相反，而是IC产业发展的决定
性因素。从上世纪80年代末期开始，半导体设备企业开始把... 阅读全帖 |
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w********2
发帖数: 632 | 49 上海微装成立于2002年，其生产的光刻机包括晶圆制造、IC封装、面板、LED等，其中
封装光刻机在国内市场已占据不小的份额，这是国产光刻机取得的进步。
然而在代表着光刻机技术水平的晶圆制造光刻机方面，上海微装目前可生产加工90nm工
艺制程的光刻机，这是目前国产光刻机最高水平，而ASML如今已量产7nm工艺制程 EUV
光刻机，两者差距不得不说非常大。
事实上，12年前国家就已意识到发展光刻机的必要性。2006年国务院发布《国家中长期
科学和技术发展规划纲要（2006-2020年）》确定发展16个重大专项，其中“极大规模
集成电路制造装备及成套工艺”被列为“02专项”，该专项于2008年国务院批准实施，
并将EUV光刻技术列为“32-22nm装备技术前瞻性研究”重要攻关任务。
在这之后，国内光刻机的研究发展大多由“02专项”资金支持，目前除了上海微装已生
产出90nm光刻机外，2016年初光刻机核心子系统双工件台系统样机研发项目通过内部验
收，为我国自主研发65nm至28nm双工件干台式及浸没式光刻机奠定了基础。
此外，由长春光机所作为牵头单位承担起了“极紫外光刻关键技术研究”项目研究... 阅读全帖 |
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发帖数: 1 | 50 中国半导体的困境！这篇讲的最全！
点击：628 作者：张静波 来源：芯榜 发布时间:2018-07-14 10:02:01
中国半导体一直是在冒着敌人的炮火匍匐前进，如今，敌人的炮火越来越凶猛
。围追堵截中，谁让我“芯”痛？
1 美国的惊人统治力
1957年，晶体管之父肖克利的八个门徒，在硅谷创立仙童半导体公司，并开发出人类历
史上第一块集成电路，硅谷因此成为全世界半导体技术的发源地，一直延续至今。
期间，尽管发生过几次产业转移，七八十年代，半导体制造大量转移至日本；90年代后
，转移至韩国和中国台湾。但美国至今依旧保留着在诸多核心领域的统治力。
以生产设备为例，全球三大巨头应用材料、泛林和ASML，美国独占前两席，而且应用材
料在除光刻机以外的几乎所有领域都领先，包括蚀刻、薄膜沉积等。
更恐怖的是，全球三大EDA软件（用于芯片设计）巨头铿腾、明导和新思，均为美国企
业，全世界几乎所有芯片设计和制造企业都离不开它们。
高端芯片方面，中兴事件暴露出来的众多短板，包括ADC/DAC（数模转换）、FPGA、高
速光通信接口等芯片，目前也都依赖美国厂商，包括德州仪器、赛... 阅读全帖 |
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