由买买提看人间百态

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Military版 - 10纳米的光刻机国产了!
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光刻机除了ASML,就没有其它公司可以生产吗?河南的那家公司现在跑来中国合作已经晚了
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话题: 光刻机话题: 技术话题: br话题: 纳米话题: 曝光
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1 (共1页)
f**o
发帖数: 12685
1
成都电视台《成视新闻》栏目组来到中科院光电所微细加工光学技术国家重点实验室,
对实验室打造“大国重器”,同时带动产业、惠及民生等科技创新驱动发展情况进行详
细报道。
光电所微细加工光学技术国家重点实验室研制出来的SP光刻机是世界上第一台单次成像
达到22纳米的光刻机,结合多重曝光技术,可以用于制备10纳米以下的信息器件。这不
仅是世界上光学光刻的一次重大变革,也将加快推进工业4.0,实现中国制造2025的美
好愿景。
长期以来,我国的光刻技术落后于先进国家,成为我国工业现代化进程的一块短板。
2006年,科技部提出了光刻技术的中长期规划,希望中科院的国家重点实验室,能找到
一条绕开国外技术壁垒,具有自主知识产权的光刻路径。光电所SP光学光刻机就是绕开
了传统的193纳米曝光的技术路线,利用长波长光源也可以得到一个突破衍射极限的分
辨率的图形,所以在成本上安全性方面上都会有一个很大的提升,是完全具有知识产权
的原创性技术。
我以前了解过,光刻机是制造电脑CPU的母机,处于科技领域的最顶层,目前世界上先
进光刻机基本被荷兰的ASML公司垄断,CPU芯片制程最先进的是14纳米,不卖中国人,
并且卖给中国公司的稍过时的光刻机也有条款不准用于制造像龙心这类自主研发的CPU
芯片。美国、日本在这个领域都力不从心,成都太给力了。
我当年大学调研光刻机的时候,河南人牛逼哄哄的。
f**o
发帖数: 12685
2
这个弯道超车怎么样?
a*****y
发帖数: 33185
3
不错,surface plasmon在这里起到了关键的作用
w*****7
发帖数: 4847
4
要解禁了。
b*a
发帖数: 17670
5
CPU要白菜价了

【在 f**o 的大作中提到】
: 成都电视台《成视新闻》栏目组来到中科院光电所微细加工光学技术国家重点实验室,
: 对实验室打造“大国重器”,同时带动产业、惠及民生等科技创新驱动发展情况进行详
: 细报道。
: 光电所微细加工光学技术国家重点实验室研制出来的SP光刻机是世界上第一台单次成像
: 达到22纳米的光刻机,结合多重曝光技术,可以用于制备10纳米以下的信息器件。这不
: 仅是世界上光学光刻的一次重大变革,也将加快推进工业4.0,实现中国制造2025的美
: 好愿景。
: 长期以来,我国的光刻技术落后于先进国家,成为我国工业现代化进程的一块短板。
: 2006年,科技部提出了光刻技术的中长期规划,希望中科院的国家重点实验室,能找到
: 一条绕开国外技术壁垒,具有自主知识产权的光刻路径。光电所SP光学光刻机就是绕开

a*****y
发帖数: 33185
6
楼主,我看的报道是22nm吧
f**o
发帖数: 12685
7
电池再突破一下,电动汽车要吊打百年老店。
比亚迪蔚来汽车打得欧美日韩满地找牙。
B*******c
发帖数: 5056
8
一定要多抓几个间谍,以解心头之恨!
a*****y
发帖数: 33185
9
破熊肯定要来BB他的“帝国特惠制”
f**o
发帖数: 12685
10
单次曝光22纳米
多次曝光10纳米


: 楼主,我看的报道是22nm吧



【在 a*****y 的大作中提到】
: 破熊肯定要来BB他的“帝国特惠制”
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l******t
发帖数: 55733
11
这里也说22,然后怎么弄弄就可以10纳米了

【在 a*****y 的大作中提到】
: 楼主,我看的报道是22nm吧
K******r
发帖数: 4052
12
单次成像22nm首次
封锁的光刻机用193nm单次成像达不到这个水平
棒子在搞14nm制成
搞到10nm工业化了就牛逼大发了

★ 发自iPhone App: ChineseWeb 13

【在 a*****y 的大作中提到】
: 楼主,我看的报道是22nm吧
a*****y
发帖数: 33185
13
那是22nm 低剂量曝几次,overlap出一个10nm的区域
w*****7
发帖数: 4847
14
浸入式,多次曝光。

【在 l******t 的大作中提到】
: 这里也说22,然后怎么弄弄就可以10纳米了
c****h
发帖数: 4968
15
最先搞的就是湾湾那帮自以为很高科技的,靠买光刻机发达的企业。打倒了台积电,不
但给大陆创造更多高收入的job,又对台独釜底抽薪。
f**o
发帖数: 12685
16
台积电被大陆挖了不少人


: 最先搞的就是湾湾那帮自以为很高科技的,靠买光刻机发达的企业。打倒了台积
电,不

: 但给大陆创造更多高收入的job,又对台独釜底抽薪。



【在 c****h 的大作中提到】
: 最先搞的就是湾湾那帮自以为很高科技的,靠买光刻机发达的企业。打倒了台积电,不
: 但给大陆创造更多高收入的job,又对台独釜底抽薪。

G****1
发帖数: 8414
17
科学院搞得很难产业化的。
w*****7
发帖数: 4847
18
台积电又不产光刻机。产光刻机那是荷兰人。
s*****r
发帖数: 11545
19
海日终于扬眉吐气一把,把荷兰人干翻在地
z****g
发帖数: 3509
20
肯定是骗人的。
中国的东西,有版给你看的就是龙芯CPU,麒麟OS,都是什么东西?
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m*****u
发帖数: 15526
21
得,国外琐男价值又贬了。懂行的说说这光刻机都谁强?美帝这技术怎么样?
f**o
发帖数: 12685
22
哈哈,禁运名单就是我鳖未来的发展方向。


: 要解禁了。



【在 w*****7 的大作中提到】
: 台积电又不产光刻机。产光刻机那是荷兰人。
f**o
发帖数: 12685
23
美国也买日本人河南人的光刻机


: 得,国外琐男价值又贬了。懂行的说说这光刻机都谁强?美帝这技术怎么样?



【在 m*****u 的大作中提到】
: 得,国外琐男价值又贬了。懂行的说说这光刻机都谁强?美帝这技术怎么样?
m*****u
发帖数: 15526
24
台鸡电有这技术么?台鸡电只有用这玩意的技术吧

【在 f**o 的大作中提到】
: 台积电被大陆挖了不少人
:
:
: 最先搞的就是湾湾那帮自以为很高科技的,靠买光刻机发达的企业。打倒了台积
: 电,不
:
: 但给大陆创造更多高收入的job,又对台独釜底抽薪。
:

f**o
发帖数: 12685
25
举例侧面证明一下半导体行业的发展而已


: 台鸡电有这技术么?台鸡电只有用这玩意的技术吧



【在 m*****u 的大作中提到】
: 台鸡电有这技术么?台鸡电只有用这玩意的技术吧
D*****i
发帖数: 8922
26
还只是实验室样机。真正用到工业化生产还要解决很多问题,比如透镜,德国蔡司最好
,国内还比不上;还有能精确定位的导轨和驱动系统,这些都要配套才行。
D*****i
发帖数: 8922
27
光刻机荷兰最强,不过其透镜是买德国的。
其次是日本。米油不行。

【在 m*****u 的大作中提到】
: 得,国外琐男价值又贬了。懂行的说说这光刻机都谁强?美帝这技术怎么样?
K******r
发帖数: 4052
28
挖的那些人都是搞工程的
没有搞光刻机研发的

★ 发自iPhone App: ChineseWeb 13

【在 f**o 的大作中提到】
: 台积电被大陆挖了不少人
:
:
: 最先搞的就是湾湾那帮自以为很高科技的,靠买光刻机发达的企业。打倒了台积
: 电,不
:
: 但给大陆创造更多高收入的job,又对台独釜底抽薪。
:

K******r
发帖数: 4052
29
台巴子的晴天霹雳
台巴子除了个台积电屁都没有了
台积电还是靠洋人施舍没有技术封锁

★ 发自iPhone App: ChineseWeb 13

【在 c****h 的大作中提到】
: 最先搞的就是湾湾那帮自以为很高科技的,靠买光刻机发达的企业。打倒了台积电,不
: 但给大陆创造更多高收入的job,又对台独釜底抽薪。

d******r
发帖数: 16947
30
尼玛中国傻啊,叔早说了应该对中国禁运的产品
没有保护知识产权的问题,一旦中国造出来以后,
5年内不许进口同类产品 lol
2006年,科技部提出了光刻技术的中长期规划,希望中科院的国家重点实验室,能找到
一条绕开国外技术壁垒,具有自主知识产权的光刻路径。光电所SP光学光刻机就是绕开
了传统的193纳米曝光的技术路线,利用长波长光源也可以得到一个突破衍射极限的分
辨率的图形,所以在成本上安全性方面上都会有一个很大的提升,是完全具有知识产权
的原创性技术。

【在 f**o 的大作中提到】
: 成都电视台《成视新闻》栏目组来到中科院光电所微细加工光学技术国家重点实验室,
: 对实验室打造“大国重器”,同时带动产业、惠及民生等科技创新驱动发展情况进行详
: 细报道。
: 光电所微细加工光学技术国家重点实验室研制出来的SP光刻机是世界上第一台单次成像
: 达到22纳米的光刻机,结合多重曝光技术,可以用于制备10纳米以下的信息器件。这不
: 仅是世界上光学光刻的一次重大变革,也将加快推进工业4.0,实现中国制造2025的美
: 好愿景。
: 长期以来,我国的光刻技术落后于先进国家,成为我国工业现代化进程的一块短板。
: 2006年,科技部提出了光刻技术的中长期规划,希望中科院的国家重点实验室,能找到
: 一条绕开国外技术壁垒,具有自主知识产权的光刻路径。光电所SP光学光刻机就是绕开

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原来台积电是河南ASML公司的股东10纳米的光刻机国产了是假新闻
解禁!ASML的EUV光刻机终于要卖给中国了!摩尔定律还未死,EUV光刻工艺可用到15年后的1.5nm节点
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K******r
发帖数: 4052
31
最怕的是没有了禁运名单
中国就成了无头苍蝇
洋人还是不够了解中国人

★ 发自iPhone App: ChineseWeb 13

【在 f**o 的大作中提到】
: 哈哈,禁运名单就是我鳖未来的发展方向。
:
:
: 要解禁了。
:

c****h
发帖数: 4968
32
关于对中国光刻机禁运的“瓦森纳协定”
http://www.eefocus.com/component/365389
M****H
发帖数: 1057
33
说得既对也不对
对的基本事实就是科学院的东西基本很难成功产业化的
但是在这个过程里培养的一些人,出来会是成功企业的种子
所以对八股文正确看待就行了,说弯道超车什么的不符合实际

【在 G****1 的大作中提到】
: 科学院搞得很难产业化的。
K******r
发帖数: 4052
34
衍射极限跟波长有关
现在理论上是超过别人了
但是人家光源波长短
潜力更大

★ 发自iPhone App: ChineseWeb 13

【在 d******r 的大作中提到】
: 尼玛中国傻啊,叔早说了应该对中国禁运的产品
: 没有保护知识产权的问题,一旦中国造出来以后,
: 5年内不许进口同类产品 lol
: 2006年,科技部提出了光刻技术的中长期规划,希望中科院的国家重点实验室,能找到
: 一条绕开国外技术壁垒,具有自主知识产权的光刻路径。光电所SP光学光刻机就是绕开
: 了传统的193纳米曝光的技术路线,利用长波长光源也可以得到一个突破衍射极限的分
: 辨率的图形,所以在成本上安全性方面上都会有一个很大的提升,是完全具有知识产权
: 的原创性技术。

f**o
发帖数: 12685
35
我帝还有三十年天命

【在 K******r 的大作中提到】
: 最怕的是没有了禁运名单
: 中国就成了无头苍蝇
: 洋人还是不够了解中国人
:
: ★ 发自iPhone App: ChineseWeb 13

M****H
发帖数: 1057
36
已经在提了,反禁运法,就是一旦被禁运后,对方即使解禁,本国
投资的企业可以申请追加对本国自我禁运一段时间,否则谁愿意投资?
这是个好法律,支持的人很多

【在 d******r 的大作中提到】
: 尼玛中国傻啊,叔早说了应该对中国禁运的产品
: 没有保护知识产权的问题,一旦中国造出来以后,
: 5年内不许进口同类产品 lol
: 2006年,科技部提出了光刻技术的中长期规划,希望中科院的国家重点实验室,能找到
: 一条绕开国外技术壁垒,具有自主知识产权的光刻路径。光电所SP光学光刻机就是绕开
: 了传统的193纳米曝光的技术路线,利用长波长光源也可以得到一个突破衍射极限的分
: 辨率的图形,所以在成本上安全性方面上都会有一个很大的提升,是完全具有知识产权
: 的原创性技术。

f**o
发帖数: 12685
37
再大也没有用了吧
10纳米以下的电路有意义吗?

【在 K******r 的大作中提到】
: 衍射极限跟波长有关
: 现在理论上是超过别人了
: 但是人家光源波长短
: 潜力更大
:
: ★ 发自iPhone App: ChineseWeb 13

K******r
发帖数: 4052
38
为什么没有

★ 发自iPhone App: ChineseWeb 13

【在 f**o 的大作中提到】
: 再大也没有用了吧
: 10纳米以下的电路有意义吗?

K******r
发帖数: 4052
39
这个不容易
买办当道
不然有了瓦森纳协议就该有对应措施了

★ 发自iPhone App: ChineseWeb 13

【在 M****H 的大作中提到】
: 已经在提了,反禁运法,就是一旦被禁运后,对方即使解禁,本国
: 投资的企业可以申请追加对本国自我禁运一段时间,否则谁愿意投资?
: 这是个好法律,支持的人很多

f**o
发帖数: 12685
40
一般认为,当器件尺寸小到5nm时,器件中的载流子的行为将要用量子力学的理论进行
解释,现今的半导体元件物理的知识几乎失效。

【在 K******r 的大作中提到】
: 为什么没有
:
: ★ 发自iPhone App: ChineseWeb 13

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光刻机领域国内接近世界先进水平,9nm线宽光刻实现突破河南ASML光刻机的技术封锁
真的吗? 中微半导体设备公司将在今年年底敲定5nm刻蚀机还什么5nm的线宽
光刻机领域中国接近世界先进水平,9nm线宽光刻实现突破河南的那家公司现在跑来中国合作已经晚了
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P**C
发帖数: 4333
41
实验室出来的机器和真正工业用机器还是有差别的,最主要是稳定性和精度。实验室可
以用手慢慢调精度,工业用一张硅片要曝光一百多次,25张就是几千次,再加上多次曝
光...
D*****i
发帖数: 8922
42
技术路径不一样,荷兰人虽然波长短,但不能直接用天朝的这个技术。
天朝这个是用光去激发等离子体,让离子体去曝光。
荷兰人是用193nm光,加上硅片浸泡在水里,让波长变更短。如果荷兰人去激发等离子
体,那浸泡法就不能用了,否则水先变成蒸汽了。

【在 K******r 的大作中提到】
: 衍射极限跟波长有关
: 现在理论上是超过别人了
: 但是人家光源波长短
: 潜力更大
:
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K******r
发帖数: 4052
43
为什么不找水的替代品
高折射率同时散热

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【在 D*****i 的大作中提到】
: 技术路径不一样,荷兰人虽然波长短,但不能直接用天朝的这个技术。
: 天朝这个是用光去激发等离子体,让离子体去曝光。
: 荷兰人是用193nm光,加上硅片浸泡在水里,让波长变更短。如果荷兰人去激发等离子
: 体,那浸泡法就不能用了,否则水先变成蒸汽了。

K******r
发帖数: 4052
44
首先通俗点10和5还有数量级上的差别
再有低于5现有理论不合适自然会有新理论
以前没有那是没有需求

★ 发自iPhone App: ChineseWeb 13

【在 f**o 的大作中提到】
: 一般认为,当器件尺寸小到5nm时,器件中的载流子的行为将要用量子力学的理论进行
: 解释,现今的半导体元件物理的知识几乎失效。

D*****i
发帖数: 8922
45
能激发出等离子体,那温度肯定很高,哪有这种液体受得了?

【在 K******r 的大作中提到】
: 为什么不找水的替代品
: 高折射率同时散热
:
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K******r
发帖数: 4052
46
找水的替代品自然不考虑等离子法了
高折射率液体让波长变的更短
水的折射率太低了

★ 发自iPhone App: ChineseWeb 13

【在 D*****i 的大作中提到】
: 能激发出等离子体,那温度肯定很高,哪有这种液体受得了?
D*****i
发帖数: 8922
47
代替水的液体必须和工艺兼容,也就是不能和光刻胶、金属、硅、SiO2、氮化硅等等材
料发生反应,还要容易清洗,条件太多了,不好找。

【在 K******r 的大作中提到】
: 找水的替代品自然不考虑等离子法了
: 高折射率液体让波长变的更短
: 水的折射率太低了
:
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a***e
发帖数: 27968
48
九成九扯淡

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【在 f**o 的大作中提到】
: 这个弯道超车怎么样?
P****R
发帖数: 22479
49
老手法了:
大肆吹嘘搞出太行发动机了,以为毛子可以上当受骗卖给中国发动机了。毛子就是不上
当。
搞出10nm光刻机,那么就出intel,AMD芯片嘛,以为西方就会解禁出口中国10
nm光刻机了?
r******t
发帖数: 8967
50
semiconductor always needs to be explained by 量子力学.

【在 f**o 的大作中提到】
: 一般认为,当器件尺寸小到5nm时,器件中的载流子的行为将要用量子力学的理论进行
: 解释,现今的半导体元件物理的知识几乎失效。

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号外!号外!土鳖国重大突破!大陆警告荷兰卖不卖光刻机將成兩国关系风向标!
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K******r
发帖数: 4052
51
有需求投钱自然有人去搞

★ 发自iPhone App: ChineseWeb 13

【在 D*****i 的大作中提到】
: 代替水的液体必须和工艺兼容,也就是不能和光刻胶、金属、硅、SiO2、氮化硅等等材
: 料发生反应,还要容易清洗,条件太多了,不好找。

K******r
发帖数: 4052
52
al31一直卖

★ 发自iPhone App: ChineseWeb 13

【在 P****R 的大作中提到】
: 老手法了:
: 大肆吹嘘搞出太行发动机了,以为毛子可以上当受骗卖给中国发动机了。毛子就是不上
: 当。
: 搞出10nm光刻机,那么就出intel,AMD芯片嘛,以为西方就会解禁出口中国10
: nm光刻机了?

z****g
发帖数: 3509
53
明眼人。

【在 P****R 的大作中提到】
: 老手法了:
: 大肆吹嘘搞出太行发动机了,以为毛子可以上当受骗卖给中国发动机了。毛子就是不上
: 当。
: 搞出10nm光刻机,那么就出intel,AMD芯片嘛,以为西方就会解禁出口中国10
: nm光刻机了?

h***i
发帖数: 89031
54
买办手法
真想搞,去美国挖人
早搞出来了
但是搞出来贪官也捞不到好处
所以没人搞

【在 P****R 的大作中提到】
: 老手法了:
: 大肆吹嘘搞出太行发动机了,以为毛子可以上当受骗卖给中国发动机了。毛子就是不上
: 当。
: 搞出10nm光刻机,那么就出intel,AMD芯片嘛,以为西方就会解禁出口中国10
: nm光刻机了?

D*****i
发帖数: 8922
55
违反物理化学规律的事情,不是投钱就行的。

【在 K******r 的大作中提到】
: 有需求投钱自然有人去搞
:
: ★ 发自iPhone App: ChineseWeb 13

P****R
发帖数: 22479
56
这次苏-35上面的140发动机被焊死,不能拆开。

【在 K******r 的大作中提到】
: al31一直卖
:
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h******c
发帖数: 2111
57
想想成都那个遍地茶馆 麻将 苍蝇馆子 还有美女的地方 搞出了世界上最NB的工业光刻
机 是不是很喜感 哈哈


: 九成九扯淡

: ★ 发自iPhone App: ChineseWeb 13



【在 a***e 的大作中提到】
: 九成九扯淡
:
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D*****i
发帖数: 8922
58
扯淡,米油自己都是买别人的光刻机。

【在 h***i 的大作中提到】
: 买办手法
: 真想搞,去美国挖人
: 早搞出来了
: 但是搞出来贪官也捞不到好处
: 所以没人搞

K******r
发帖数: 4052
59
10nm现在独家

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【在 P****R 的大作中提到】
: 老手法了:
: 大肆吹嘘搞出太行发动机了,以为毛子可以上当受骗卖给中国发动机了。毛子就是不上
: 当。
: 搞出10nm光刻机,那么就出intel,AMD芯片嘛,以为西方就会解禁出口中国10
: nm光刻机了?

a***e
发帖数: 27968
60
别想当然,表面波等离子体就是个说法
没啥温度的
光刻胶可不是啥耐高温的东西

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【在 D*****i 的大作中提到】
: 能激发出等离子体,那温度肯定很高,哪有这种液体受得了?
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耗费巨资购买EUV光刻机 台积电有何打算?解禁!ASML的EUV光刻机终于要卖给中国了!
台积电(zz): 及其清楚明了光刻机除了ASML,就没有其它公司可以生产吗?
原来台积电是河南ASML公司的股东10纳米的光刻机国产了是假新闻
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a***e
发帖数: 27968
61
尼玛这你也能信?

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【在 P****R 的大作中提到】
: 这次苏-35上面的140发动机被焊死,不能拆开。
h***i
发帖数: 89031
62
那是样一帮人费钱
正是挖人的好时候

【在 D*****i 的大作中提到】
: 扯淡,米油自己都是买别人的光刻机。
a******9
发帖数: 20431
63
智商问题

【在 a***e 的大作中提到】
: 尼玛这你也能信?
:
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D*****i
发帖数: 8922
64
光刻胶不耐高温,所以产生等离子体的地方,光刻胶就被刻蚀了。人家不就是用等离子
体来刻蚀吗?

【在 a***e 的大作中提到】
: 别想当然,表面波等离子体就是个说法
: 没啥温度的
: 光刻胶可不是啥耐高温的东西
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S*********n
发帖数: 3939
65
很好,就该是这样

【在 M****H 的大作中提到】
: 已经在提了,反禁运法,就是一旦被禁运后,对方即使解禁,本国
: 投资的企业可以申请追加对本国自我禁运一段时间,否则谁愿意投资?
: 这是个好法律,支持的人很多

a***e
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66
你想多了
台积电10nm都快量产了,不就是4次曝光么
单次到20nm本质上玩的是近场光
这个技术天生问题是光通量不足达不到
速度的要求。现在的光刻机,4次曝光
一小时还要50片以上,一片基本要求爆几百次。一个机台每小时完成几万次移动,nm级
定位减震,图形修正,曝光
还得是24/7,98%时间工作

★ 发自iPhone App: ChineseWeb 13

【在 K******r 的大作中提到】
: 10nm现在独家
:
: ★ 发自iPhone App: ChineseWeb 13

P****R
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67
毛子派人来修。焊死的地方一次性使用,不能翻修。

【在 D*****i 的大作中提到】
: 光刻胶不耐高温,所以产生等离子体的地方,光刻胶就被刻蚀了。人家不就是用等离子
: 体来刻蚀吗?

h******c
发帖数: 2111
68
蚂蚁哥还在Fab做?还玩相机不?


: 你想多了

: 台积电10nm都快量产了,不就是4次曝光么

: 单次到20nm本质上玩的是近场光

: 这个技术天生问题是光通量不足达不到

: 速度的要求。现在的光刻机,4次曝光

: 一小时还要50片以上,一片基本要求爆几百次。一个机台每小时完成几万次移动
,nm级

: 定位减震,图形修正,曝光

: 还得是24/7,98%时间工作

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【在 a***e 的大作中提到】
: 你想多了
: 台积电10nm都快量产了,不就是4次曝光么
: 单次到20nm本质上玩的是近场光
: 这个技术天生问题是光通量不足达不到
: 速度的要求。现在的光刻机,4次曝光
: 一小时还要50片以上,一片基本要求爆几百次。一个机台每小时完成几万次移动,nm级
: 定位减震,图形修正,曝光
: 还得是24/7,98%时间工作
:
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l****y
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o****d
发帖数: 5454
70
金属表面室温下就有等离子体,激发等离子体根本不需要高温。


: 能激发出等离子体,那温度肯定很高,哪有这种液体受得了?



【在 D*****i 的大作中提到】
: 光刻胶不耐高温,所以产生等离子体的地方,光刻胶就被刻蚀了。人家不就是用等离子
: 体来刻蚀吗?

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10纳米的光刻机国产了是假新闻真的吗? 中微半导体设备公司将在今年年底敲定5nm刻蚀机
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光刻机领域国内接近世界先进水平,9nm线宽光刻实现突破河南ASML光刻机的技术封锁
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m**********e
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71
就是,这帮人智商堪忧
有low temperature plasma,只要plasma不处于平衡态就成,零下200度都能
形成Plasma,比如地球大气电离层,Van Allen辐射带,大量宇宙空间的冷星云。。。
再比如商店卖的许多闪电模型,也是low temperature plasma

【在 o****d 的大作中提到】
: 金属表面室温下就有等离子体,激发等离子体根本不需要高温。
:
:
: 能激发出等离子体,那温度肯定很高,哪有这种液体受得了?
:

c****g
发帖数: 37081
72
re
c****g
发帖数: 37081
73
re
w*****7
发帖数: 4847
74
得多SB才相信发动机被焊死啊?
发动机被焊死保养都做不了。

【在 P****R 的大作中提到】
: 这次苏-35上面的140发动机被焊死,不能拆开。
t****n
发帖数: 10724
75
为什么荷兰也对中国禁运

【在 f**o 的大作中提到】
: 成都电视台《成视新闻》栏目组来到中科院光电所微细加工光学技术国家重点实验室,
: 对实验室打造“大国重器”,同时带动产业、惠及民生等科技创新驱动发展情况进行详
: 细报道。
: 光电所微细加工光学技术国家重点实验室研制出来的SP光刻机是世界上第一台单次成像
: 达到22纳米的光刻机,结合多重曝光技术,可以用于制备10纳米以下的信息器件。这不
: 仅是世界上光学光刻的一次重大变革,也将加快推进工业4.0,实现中国制造2025的美
: 好愿景。
: 长期以来,我国的光刻技术落后于先进国家,成为我国工业现代化进程的一块短板。
: 2006年,科技部提出了光刻技术的中长期规划,希望中科院的国家重点实验室,能找到
: 一条绕开国外技术壁垒,具有自主知识产权的光刻路径。光电所SP光学光刻机就是绕开

P****R
发帖数: 22479
76
就是不让萎缩男保修。只能买整机。

【在 w*****7 的大作中提到】
: 得多SB才相信发动机被焊死啊?
: 发动机被焊死保养都做不了。

m**********e
发帖数: 12525
77
巴通会员国

【在 t****n 的大作中提到】
: 为什么荷兰也对中国禁运
w********r
发帖数: 8704
78
原来以为是立场问题,现在看来真是智商问题

【在 a***e 的大作中提到】
: 尼玛这你也能信?
:
: ★ 发自iPhone App: ChineseWeb 13

m*****n
发帖数: 4015
79
不是独创的 不见得就行。当年长虹引进等离子生产线。结果 很快lcd 取代等离子。长
虹投资打水漂。
w*********g
发帖数: 30882
80

这个说法比较靠谱
弯道超车太浮躁,顶多就是个别技术参数上超一下,要在企业研发上超越基本上不可能


【在 M****H 的大作中提到】
: 说得既对也不对
: 对的基本事实就是科学院的东西基本很难成功产业化的
: 但是在这个过程里培养的一些人,出来会是成功企业的种子
: 所以对八股文正确看待就行了,说弯道超车什么的不符合实际

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还什么5nm的线宽中国光刻机看见曙光
河南的那家公司现在跑来中国合作已经晚了号外!号外!土鳖国重大突破!
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w*********g
发帖数: 30882
81

为了提高集成度,晶体管越做越小,当小到只有一个电子时,量子效应就会出现。电子
将不再受欧姆定律管辖,由于它有隧道效应,本来无法穿过的壁垒也穿过去了,所以量
子效应会阻碍信息技术继续按照摩尔定律发展。
这两个限制就是物理学家们预言摩尔定律会终结的理由所在。
隧道效应:
由微观粒子波动性所确定的量子效应,又称势垒贯穿。本质上是量子跃迁,粒子迅
速穿越势垒。在势垒一边平动的粒子,当动能小于势垒高度时,按照经典力学,粒子是
不可能越过势垒的;而对于微观粒子,量子力学却证明它仍有一定的概率贯穿势垒,实
际也正是如此,这种现象称为隧道效应。
虽然这个预言在当时没有任何影响力,但“杞人忧天”的物理学家们并不“死心”
,继续研究,提出了第二个问题:
如果摩尔定律终结,在后摩尔时代,提高运算速度的途径是什么?
这就导致了量子计算概念的诞生。
量子计算所遵从的薛定谔方程是可逆的,不会出现非可逆操作,所以耗能很小;而
量子效应正是提高量子计算并行运算能力的物理基础。
甲之砒霜,乙之蜜糖。对于电子计算机来说是障碍的量子效应,对于量子计算机来
说,反而成为了资源。
量子计算的概念最早是1982年由美国物理学家费曼提出的。1985年,英国物理学家
又提出了“量子图灵机”的概念,之后许多物理学家将“量子图灵机”等效为量子的电
子线路模型,并开始付诸实践。

【在 f**o 的大作中提到】
: 一般认为,当器件尺寸小到5nm时,器件中的载流子的行为将要用量子力学的理论进行
: 解释,现今的半导体元件物理的知识几乎失效。

w*********g
发帖数: 30882
82

属实

【在 P****R 的大作中提到】
: 老手法了:
: 大肆吹嘘搞出太行发动机了,以为毛子可以上当受骗卖给中国发动机了。毛子就是不上
: 当。
: 搞出10nm光刻机,那么就出intel,AMD芯片嘛,以为西方就会解禁出口中国10
: nm光刻机了?

T*******x
发帖数: 8565
83
说的对。

【在 d******r 的大作中提到】
: 尼玛中国傻啊,叔早说了应该对中国禁运的产品
: 没有保护知识产权的问题,一旦中国造出来以后,
: 5年内不许进口同类产品 lol
: 2006年,科技部提出了光刻技术的中长期规划,希望中科院的国家重点实验室,能找到
: 一条绕开国外技术壁垒,具有自主知识产权的光刻路径。光电所SP光学光刻机就是绕开
: 了传统的193纳米曝光的技术路线,利用长波长光源也可以得到一个突破衍射极限的分
: 辨率的图形,所以在成本上安全性方面上都会有一个很大的提升,是完全具有知识产权
: 的原创性技术。

T*******x
发帖数: 8565
84
对。

【在 K******r 的大作中提到】
: 首先通俗点10和5还有数量级上的差别
: 再有低于5现有理论不合适自然会有新理论
: 以前没有那是没有需求
:
: ★ 发自iPhone App: ChineseWeb 13

T*******x
发帖数: 8565
85
这也有可能。

【在 P****R 的大作中提到】
: 老手法了:
: 大肆吹嘘搞出太行发动机了,以为毛子可以上当受骗卖给中国发动机了。毛子就是不上
: 当。
: 搞出10nm光刻机,那么就出intel,AMD芯片嘛,以为西方就会解禁出口中国10
: nm光刻机了?

T*******x
发帖数: 8565
86
我用激光刀切割。

【在 P****R 的大作中提到】
: 毛子派人来修。焊死的地方一次性使用,不能翻修。
T*******x
发帖数: 8565
87
可能是被焊死。

【在 D*****i 的大作中提到】
: 光刻胶不耐高温,所以产生等离子体的地方,光刻胶就被刻蚀了。人家不就是用等离子
: 体来刻蚀吗?

l*b
发帖数: 4369
88
22nm直出的话,要刻10nm大概是曝光四次,overlay是一大挑战。基本上要把同一片
wafer四次放在同一个位置上,精确度应该是亚纳米级的。这种精度要考虑极多的因素。
另外说是22nm直出,CDU是多少有报道没?

【在 f**o 的大作中提到】
: 成都电视台《成视新闻》栏目组来到中科院光电所微细加工光学技术国家重点实验室,
: 对实验室打造“大国重器”,同时带动产业、惠及民生等科技创新驱动发展情况进行详
: 细报道。
: 光电所微细加工光学技术国家重点实验室研制出来的SP光刻机是世界上第一台单次成像
: 达到22纳米的光刻机,结合多重曝光技术,可以用于制备10纳米以下的信息器件。这不
: 仅是世界上光学光刻的一次重大变革,也将加快推进工业4.0,实现中国制造2025的美
: 好愿景。
: 长期以来,我国的光刻技术落后于先进国家,成为我国工业现代化进程的一块短板。
: 2006年,科技部提出了光刻技术的中长期规划,希望中科院的国家重点实验室,能找到
: 一条绕开国外技术壁垒,具有自主知识产权的光刻路径。光电所SP光学光刻机就是绕开

l*b
发帖数: 4369
89
科普一下
各大厂14nm的芯片都是193mm单次直出的,典型产品包括Intel 2014年的Core-M,2015
年的三爽造的猎户座7880(S6用的)和Apple A9,2016年的高通820、821
10nm是第一个大规模采用multiple patterning的节点。Intel去年8月开始试产,三星
10月宣布投产,应该是triple patterning。高通的835单子也给了三星。
台积的动作慢一点。14 nm没赶上,导致高通810用20nm技术发热巨大,820赶紧转投三
星。也拿到了一点Apple A9的单,用16nm技术生产,但似乎比三星产的14nm版本还强。
10nm投产的消息还没有,不知道拿到单没有。
尼玛打完字发现这里是军版。。。

【在 K******r 的大作中提到】
: 单次成像22nm首次
: 封锁的光刻机用193nm单次成像达不到这个水平
: 棒子在搞14nm制成
: 搞到10nm工业化了就牛逼大发了
:
: ★ 发自iPhone App: ChineseWeb 13

D*****u
发帖数: 1090
90
[在 fwdo (长老) 的大作中提到:]
:哈哈,禁运名单就是我鳖未来的发展方向。
:<br>: 要解禁了。
:<br>
我鳖现在钞票多的是,现在基本都在向禁运的项目上砸。像航发基本就是以billion的
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科技日报:国产22纳米光刻机治不了咱们“芯”病zt台积电(zz): 及其清楚明了
大陆警告荷兰卖不卖光刻机將成兩国关系风向标!原来台积电是河南ASML公司的股东
耗费巨资购买EUV光刻机 台积电有何打算?解禁!ASML的EUV光刻机终于要卖给中国了!
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m**********e
发帖数: 12525
91
是trillion级,不是billion级
党妈按2025年建成发达国家的长期规划,往关键产业投巨资,每个关键产业投15000亿
人民币
目前已知有航空,航天,半导体三个,比如航天,据说要研究直径6米的同步轨道对地
观察望远镜,赶上美帝即将发射的james webb太空望远镜。
所以这才是美帝需要面对的最大威胁,与此相比,墨西哥人偷渡连个屁都不是,可惜
trump和红脖每天都在为墨西哥人high

【在 D*****u 的大作中提到】
: [在 fwdo (长老) 的大作中提到:]
: :哈哈,禁运名单就是我鳖未来的发展方向。
: :<br>: 要解禁了。
: :<br>
: 我鳖现在钞票多的是,现在基本都在向禁运的项目上砸。像航发基本就是以billion的
: 砸

h*******n
发帖数: 8906
92
土工什么都是下饺子 不过是骡子是马拉出来溜溜才知道 泡泡吹得太大容易破
a*****y
发帖数: 33185
93
surface plasmon resonance,是光由于电磁场和自由电子共振而在金属和介质表面形成
的局域化近场,跟你理解的等离子体不是一回事。

【在 D*****i 的大作中提到】
: 能激发出等离子体,那温度肯定很高,哪有这种液体受得了?
d******w
发帖数: 2213
94
科学院和高校搞得你也信。电子IT这块,科学院和高校就搞个毛出来了。这东西还不如
让民营企业搞
f***y
发帖数: 4447
95
re
F****y
发帖数: 145
96
这是他们就这技术去年写的文献综述:
Plasmonic Structures, Materials and Lenses for Optical Lithography beyond
the Diffraction Limit: A Review
http://www.mdpi.com/2072-666X/7/7/118/pdf

【在 d******w 的大作中提到】
: 科学院和高校搞得你也信。电子IT这块,科学院和高校就搞个毛出来了。这东西还不如
: 让民营企业搞

e***y
发帖数: 4307
97
美帝在这行80年代就完蛋了

【在 m*****u 的大作中提到】
: 得,国外琐男价值又贬了。懂行的说说这光刻机都谁强?美帝这技术怎么样?
d*****i
发帖数: 3905
98
美帝是不行,不过架不住人家盟友牛逼

【在 e***y 的大作中提到】
: 美帝在这行80年代就完蛋了
s*x
发帖数: 8041
99
这个绝对是要产业化的。核高基是最优先的方向,十三五的主攻方向。
s*******d
发帖数: 3991
100
TG已经认定电子芯片进口是超过石油的第一,
而且认为人均芯片量还要翻很多倍,
所以投资了非常多的钱在这一个方向,比保障石油安全还要多得多得钱

【在 m**********e 的大作中提到】
: 是trillion级,不是billion级
: 党妈按2025年建成发达国家的长期规划,往关键产业投巨资,每个关键产业投15000亿
: 人民币
: 目前已知有航空,航天,半导体三个,比如航天,据说要研究直径6米的同步轨道对地
: 观察望远镜,赶上美帝即将发射的james webb太空望远镜。
: 所以这才是美帝需要面对的最大威胁,与此相比,墨西哥人偷渡连个屁都不是,可惜
: trump和红脖每天都在为墨西哥人high

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摩尔定律还未死,EUV光刻工艺可用到15年后的1.5nm节点光刻机领域中国接近世界先进水平,9nm线宽光刻实现突破
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e***y
发帖数: 4307
101
同意。这是钱堆出来的玩意儿,土共认准了要把这个搞出来下面的人死也要弄出来的。
美帝不是不想重新掌握光刻机技术,而是实在是人才和金钱投入都没有了

【在 s*x 的大作中提到】
: 这个绝对是要产业化的。核高基是最优先的方向,十三五的主攻方向。
v***t
发帖数: 27100
102
什么首次,plasmonic lithography又不是什么新东西,Xiang Zhang之类的不是经常就
这些灌水的么。别跟我说什么产业化,这玩意儿问题多多

【在 f**o 的大作中提到】
: 成都电视台《成视新闻》栏目组来到中科院光电所微细加工光学技术国家重点实验室,
: 对实验室打造“大国重器”,同时带动产业、惠及民生等科技创新驱动发展情况进行详
: 细报道。
: 光电所微细加工光学技术国家重点实验室研制出来的SP光刻机是世界上第一台单次成像
: 达到22纳米的光刻机,结合多重曝光技术,可以用于制备10纳米以下的信息器件。这不
: 仅是世界上光学光刻的一次重大变革,也将加快推进工业4.0,实现中国制造2025的美
: 好愿景。
: 长期以来,我国的光刻技术落后于先进国家,成为我国工业现代化进程的一块短板。
: 2006年,科技部提出了光刻技术的中长期规划,希望中科院的国家重点实验室,能找到
: 一条绕开国外技术壁垒,具有自主知识产权的光刻路径。光电所SP光学光刻机就是绕开

F****y
发帖数: 145
103

My friend's comments on plasmonic lithography: It has been demonstrated by
Bruce Smith's group at RIT several years back. From the first day, people
don't believe it can be used in industry. It collects high frequency lights
in very near field. So high resolution is possible. Unfortunately, the
light decay exponentially. When you see 'exponential', you know immediately
it's not suitable for industry, the variation will kill us.

【在 v***t 的大作中提到】
: 什么首次,plasmonic lithography又不是什么新东西,Xiang Zhang之类的不是经常就
: 这些灌水的么。别跟我说什么产业化,这玩意儿问题多多

h*********n
发帖数: 11319
104
龙芯,神威,曙光,都快把top500占了一半了,你还在这儿逼逼

【在 z****g 的大作中提到】
: 肯定是骗人的。
: 中国的东西,有版给你看的就是龙芯CPU,麒麟OS,都是什么东西?

h*********n
发帖数: 11319
105
中国计算机学会一直在推动反禁运法立法,就是你这个思路

【在 d******r 的大作中提到】
: 尼玛中国傻啊,叔早说了应该对中国禁运的产品
: 没有保护知识产权的问题,一旦中国造出来以后,
: 5年内不许进口同类产品 lol
: 2006年,科技部提出了光刻技术的中长期规划,希望中科院的国家重点实验室,能找到
: 一条绕开国外技术壁垒,具有自主知识产权的光刻路径。光电所SP光学光刻机就是绕开
: 了传统的193纳米曝光的技术路线,利用长波长光源也可以得到一个突破衍射极限的分
: 辨率的图形,所以在成本上安全性方面上都会有一个很大的提升,是完全具有知识产权
: 的原创性技术。

f**o
发帖数: 12685
106
什么时候中帝制裁美帝禁运?

【在 h*********n 的大作中提到】
: 中国计算机学会一直在推动反禁运法立法,就是你这个思路
k**1
发帖数: 1955
107
中科院的东东只是为了开鉴定会, 鉴定会开完就扔

【在 f**o 的大作中提到】
: 成都电视台《成视新闻》栏目组来到中科院光电所微细加工光学技术国家重点实验室,
: 对实验室打造“大国重器”,同时带动产业、惠及民生等科技创新驱动发展情况进行详
: 细报道。
: 光电所微细加工光学技术国家重点实验室研制出来的SP光刻机是世界上第一台单次成像
: 达到22纳米的光刻机,结合多重曝光技术,可以用于制备10纳米以下的信息器件。这不
: 仅是世界上光学光刻的一次重大变革,也将加快推进工业4.0,实现中国制造2025的美
: 好愿景。
: 长期以来,我国的光刻技术落后于先进国家,成为我国工业现代化进程的一块短板。
: 2006年,科技部提出了光刻技术的中长期规划,希望中科院的国家重点实验室,能找到
: 一条绕开国外技术壁垒,具有自主知识产权的光刻路径。光电所SP光学光刻机就是绕开

d******w
发帖数: 2213
108
汉芯没有技术文献么?造了那么大假,居然还能混在大学里。。。。

【在 F****y 的大作中提到】
: 这是他们就这技术去年写的文献综述:
: Plasmonic Structures, Materials and Lenses for Optical Lithography beyond
: the Diffraction Limit: A Review
: http://www.mdpi.com/2072-666X/7/7/118/pdf

b******t
发帖数: 446
109
太牛了。保守的估计,两年后开始量产,五年后50%的市场占有率,年产值超千亿人民
币。

【在 f**o 的大作中提到】
: 成都电视台《成视新闻》栏目组来到中科院光电所微细加工光学技术国家重点实验室,
: 对实验室打造“大国重器”,同时带动产业、惠及民生等科技创新驱动发展情况进行详
: 细报道。
: 光电所微细加工光学技术国家重点实验室研制出来的SP光刻机是世界上第一台单次成像
: 达到22纳米的光刻机,结合多重曝光技术,可以用于制备10纳米以下的信息器件。这不
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: 一条绕开国外技术壁垒,具有自主知识产权的光刻路径。光电所SP光学光刻机就是绕开

j****c
发帖数: 19908
110
self alignment double/quadruple patterning

【在 l******t 的大作中提到】
: 这里也说22,然后怎么弄弄就可以10纳米了
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光刻机领域中国接近世界先进水平,9nm线宽光刻实现突破河南的那家公司现在跑来中国合作已经晚了
河南ASML光刻机的技术封锁中国芯片为何卡在光刻机上 日方:复杂的你们做不了
还什么5nm的线宽中国光刻机看见曙光
进入Military版参与讨论
f**o
发帖数: 12685
111
电动汽车才是未来
麻痹的邓产党贪官买办让美欧日韩汽车厂赚了多少钱!

【在 b******t 的大作中提到】
: 太牛了。保守的估计,两年后开始量产,五年后50%的市场占有率,年产值超千亿人民
: 币。

h*******n
发帖数: 8906
112
没有政府补贴电动汽车就是个joke。。。去年哪家电动大巴车公司骗补的事情还历历在目

【在 f**o 的大作中提到】
: 电动汽车才是未来
: 麻痹的邓产党贪官买办让美欧日韩汽车厂赚了多少钱!

f**o
发帖数: 12685
113
主要还是电池的寿命和成本还有安全性问题没解决

在目

【在 h*******n 的大作中提到】
: 没有政府补贴电动汽车就是个joke。。。去年哪家电动大巴车公司骗补的事情还历历在目
l******p
发帖数: 85
114
假消息吧。我查遍了各大网站和搜索服务器都没有。
甚至
中国科学院光电技术研究所  单位邮编:610209 备案号:蜀ICP备05022581号
单位地址:中国四川省成都市双流350信箱 电子邮件:d*****[email protected]
官网也没有。
x***2
发帖数: 117
115
做出来,和能工业应用,是两回事。。。
f**o
发帖数: 12685
116
http://www.ioe.ac.cn/xwdt/zhxw/201604/t20160407_4579957.html

【在 l******p 的大作中提到】
: 假消息吧。我查遍了各大网站和搜索服务器都没有。
: 甚至
: 中国科学院光电技术研究所  单位邮编:610209 备案号:蜀ICP备05022581号
: 单位地址:中国四川省成都市双流350信箱 电子邮件:d*****[email protected]
: 官网也没有。

f**o
发帖数: 12685
117
大刀王五这傻逼,忒给老将丢人了!
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10纳米的光刻机国产了是假新闻中国芯片为何卡在光刻机上 日方:复杂的你们做不了
摩尔定律还未死,EUV光刻工艺可用到15年后的1.5nm节点中国光刻机看见曙光
光刻机领域国内接近世界先进水平,9nm线宽光刻实现突破号外!号外!土鳖国重大突破!
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