f***y
发帖数: 4447 | 1 http://news.sciencenet.cn/htmlnews/2018/11/420549.shtm
新华社成都11月29日电（记者董瑞丰、吴晓颖）国家重大科研装备研制项目“超分辨光
刻装备研制”29日通过验收。该光刻机由中国科学院光电技术研究所研制，光刻分辨力
达到22纳米，结合双重曝光技术后，未来还可用于制造10纳米级别的芯片。
中科院理化技术研究所许祖彦院士等验收组专家一致表示，该光刻机在365纳米光源波
长下，单次曝光最高线宽分辨力达到22纳米。项目在原理上突破分辨力衍射极限，建立
了一条高分辨、大面积的纳米光刻装备研发新路线，绕过国外相关知识产权壁垒。
光刻机是制造芯片的核心装备，我国在这一领域长期落后。它采用类似照片冲印的技术
，把母版上的精细图形通过曝光转移至硅片上，一般来说，光刻分辨力越高，加工的芯
片集成度也就越高。但传统光刻技术由于受到光学衍射效应的影响，分辨力进一步提高
受到很大限制。
为获得更高分辨力，传统上采用缩短光波、增加成像系统数值孔径等技术路径来改进光
刻机，但技术难度极高，装备成本也极高。
项目副总设计师胡松介绍，中科院光电所此次通过验收的表面等离子体超分辨光刻装备
，打破了传统路线格局，形成一条全新的纳米光学光刻技术路线，具有完全自主知识产
权，为超材料/超表面、第三代光学器件、广义芯片等变革性领域的跨越式发展提供了
制造工具。
据了解，这种超分辨光刻装备制造的相关器件已在中国航天科技集团公司第八研究院、
电子科技大学、四川大学华西医院、中科院微系统所等多家科研院所和高校的重大研究
任务中得到应用。 |
z*m
发帖数: 3227 | 2 看到中科院就知道是骗科研经费的项目了，5年内不用看不到产业化的一点点希望。沌
沌沌
【在 f***y 的大作中提到】
: http://news.sciencenet.cn/htmlnews/2018/11/420549.shtm
: 新华社成都11月29日电（记者董瑞丰、吴晓颖）国家重大科研装备研制项目“超分辨光
: 刻装备研制”29日通过验收。该光刻机由中国科学院光电技术研究所研制，光刻分辨力
: 达到22纳米，结合双重曝光技术后，未来还可用于制造10纳米级别的芯片。
: 中科院理化技术研究所许祖彦院士等验收组专家一致表示，该光刻机在365纳米光源波
: 长下，单次曝光最高线宽分辨力达到22纳米。项目在原理上突破分辨力衍射极限，建立
: 了一条高分辨、大面积的纳米光刻装备研发新路线，绕过国外相关知识产权壁垒。
: 光刻机是制造芯片的核心装备，我国在这一领域长期落后。它采用类似照片冲印的技术
: ，把母版上的精细图形通过曝光转移至硅片上，一般来说，光刻分辨力越高，加工的芯
: 片集成度也就越高。但传统光刻技术由于受到光学衍射效应的影响，分辨力进一步提高
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q****5
发帖数: 1660 | |
k**1
发帖数: 1955 | 4 鉴定会，验收会毫无用处。比不上市场上的订单有用。 |
a*******g
发帖数: 3500 | 5 划重点
超材料/超表面、第三代光学器件、广义芯片
懂得自然懂 |
c*********d
发帖数: 9770 | |
t******e
发帖数: 2504 | 7 我靠，居然还有人相信荷兰不卖给大陆光刻机？
ASLM的TWINSCAN NXT 1980Di， 2015年出的，当时最先进的型号，2016年初就卖给了中
芯。
这几年来，什么武汉长江储存，上海的华力， 还有合肥和晋华的DRAM,都是在用荷兰光
刻机。武汉和上海这2家，还敲锣打鼓地搞仪式庆祝设备进厂，ASML1980Di是作为最亮
眼的照片登出来。
【在 q****5 的大作中提到】
: 这才明白为啥荷兰突然卖光刻机给中国的原因了吧
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c*********d
发帖数: 9770 | 8 一群不学无术、掩耳盗铃的小将，居然也想参加张局领导的战忽局？
吃大便去吧，热乎的！！ |
G****1
发帖数: 8414 | |
z*m
发帖数: 3227 | 10 尼玛以后这种忽悠型项目一律涉密，走定密流程，这样五毛才好安心发帖。沌沌沌
【在 c*********d 的大作中提到】
: http://www.xinhuanet.com/politics/2018-12/03/c_1123797129.htm
: 啪！
: 小将的脸蛋上，又一个五指血印。
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