清华与荷兰ASML合作研究光刻技术 - ZJU版

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ZJU版 - 清华与荷兰ASML合作研究光刻技术

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光明日报 2002年5月30日
记者　刘志达
本报讯　清华大学微电子学研究所与荷兰ASML公司最近在京签署协议，双方决定在光
刻技术领域开展合作研究。有关专家认为，这一项目的开展，不但有利于保持双方在相关
科技领域的领先地位，也有利于进一步提高清华大学微电子学科的教学与科研水平，还可
以通过合作引进我国急需的光刻设备制造技术，促进我国IT产业的发展。
荷兰ASML公司是国际上著名的集成电路关键制造设备——光刻机的开发制造商，拥有
生产最先进的光刻设备和推动集成电路工艺不断向更微小尺寸发展的先进技术，在世界20
多家顶级的半导体芯片制造厂中占有一半以上的市场份额。
本次签署的合作项目，内容包括清华微电子所引进一台ASML制造的价值200万欧元的
先进的光刻机，双方结合清华大学已有的集成电路工艺条件及研究力量，形成先进的电子
技术研究与开发能力，联合开展微机械制造、生物芯片、Ⅲ－Ⅴ族半导体与锗硅器件及SO
C系统集成等热点技术研究，并对ASML光刻机在特殊领域的应用进行适用性技术探索。
这一合作项目的总经费约700多万欧元（约合6000万元人民币），将通过申请荷兰政
府开设的专项资助ORE

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