老将喜讯：科技日报：中科院国产22纳米光刻机治不了咱们的“芯”病 - Military版 - 未名存档

本页内容为未名空间相应帖子的节选和存档，一周内的贴子最多显示50字，超过一周显示500字访问原贴

Military版 - 老将喜讯：科技日报：中科院国产22纳米光刻机治不了咱们的“芯”病

相关主题
● 科技日报：国产22纳米光刻机治不了咱们“芯”病zt	● 河南ASML光刻机的技术封锁
● 摩尔定律还未死，EUV光刻工艺可用到15年后的1.5nm节点	● 还什么５nm的线宽
● 中国科学家自主研制成功新型光刻机	● 河南的那家公司现在跑来中国合作已经晚了
● 10纳米的光刻机国产了!	● 中国芯片为何卡在光刻机上日方：复杂的你们做不了
● 10纳米的光刻机国产了是假新闻	● 中国光刻机看见曙光
● 光刻机领域国内接近世界先进水平，9nm线宽光刻实现突破	● 号外！号外！土鳖国重大突破！
● 真的吗？中微半导体设备公司将在今年年底敲定5nm刻蚀机	● 原来中芯国际的EUV光刻机还在纸面上
● 光刻机领域中国接近世界先进水平，9nm线宽光刻实现突破	● 大陆警告荷兰卖不卖光刻机將成兩国关系风向标！

相关话题的讨论汇总
话题: 光刻机话题: 纳米话题: 中科院话题: 光刻话题: 芯片

进入Military版参与讨论

1

(共1页)

g**1 发帖数: 10330	1 科技日报：中科院国产22纳米光刻机治不了咱们的“芯”病高博/科技日报 2018-12-03 07:39 字号 11月29日，中科院研制的“超分辨光刻装备”通过验收。消息传着传着，就成了谣言— —《国产光刻机伟大突破，国产芯片白菜化在即》《突破荷兰技术封锁，弯道超车》《厉害了我的国，新式光刻机将打破“芯片荒”》…… 笔者正好去中科院光电所旁听此次验收会，写了报道，还算熟悉，无法苟同一些漫无边际的瞎扯。中科院研制的这种光刻机不能（像一些网媒说的）用来光刻CPU。它的意义是用便宜光源实现较高的分辨率，用于一些特殊制造场景，很经济。先解释下：光刻机不光是制造芯片用。一张平面（不论硅片还是什么材料）想刻出繁复的图案，都可以用光刻——就像照相，图像投在感光底片上，蚀掉一部分。半个多世纪前，美国人用这个原理“印刷”电路，从而有了大规模集成电路——芯片。为了节能和省硅料，芯片越做越小，逼得光刻机越做越极端。线条细到一定程度，投影就模糊了。要清晰投影，线条粗细不能低于光波长的一半。顶尖光刻机用波长13.5纳米的极紫外光源，好刻10纳米以下的线条。但稳定的、大功率的极紫外光源很难造，一个得3000万元人民币。要求工作环境严苛，配合的光学和机械部件又极端精密，所以荷兰的ASML公司独家垄断极紫外光刻机，创造了“一台卖一亿美金”的神话。十几年前，国际上开始对表面等离子体（surface plasma，SP）光刻法感兴趣。中科院光电所从2003年开始研究，是较早出成果的一个团队。所谓SP，光电所的科学家杨勇向笔者解释：拿一块金属片和非金属片亲密接触，界面上有一些乱蹦的电子；光投影在金属上，这些电子就有序地震荡，产生波长几十纳米的电磁波，可用来光刻。但这种电磁波很弱，所以光刻胶得凑近了，才能刻出来。且加工精度与ASML的光刻机没法比。刻几十纳米级的芯片是没法用SP光刻机的，至少以现在的技术不能。验收会上也有记者问：该光刻设备能不能刻芯片，打破国外垄断？光电所专家回答说，用于芯片需要攻克一系列技术难题，距离还很遥远。总之，中科院的22纳米分辨率光刻机跟ASML垄断的光刻机不是一回事，说前者弯道超车，就好像说中国出了个竞走名将要超越博尔特。各家媒体第一时间报出的信息，就我看到的还算中规中矩。但后来网媒添枝加叶，搞到离谱。有些传播者为吸引眼球、赚钱，最爱制造“自嗨文”和“吓尿体”。听到国产科技成就先往大里吹，驴吹成马，马吹成骆驼，好卖个骆驼价。这种“科技报道”是满足虚荣心的伪新闻。行家听了眉头一紧，避之大吉。也难怪许多科学家怕上新闻。（原标题：国产22纳米光刻机治不了咱们的“芯”病！）
d******w 发帖数: 2213	2 说真的，中国学术界整得这些东西都是骗经费的，还不如把钱给工业界做
d******w 发帖数: 2213	3 说真的，中国学术界整得这些东西都是骗经费的，还不如把钱给工业界做
d******w 发帖数: 2213	4 说真的，中国学术界整得这些东西都是骗经费的，还不如把钱给工业界做

1

(共1页)

进入Military版参与讨论

相关主题
● 大陆警告荷兰卖不卖光刻机將成兩国关系风向标！	● 10纳米的光刻机国产了是假新闻
● 中国即将击败小日本精密产业的最后堡垒 ————光刻机！！！	● 光刻机领域国内接近世界先进水平，9nm线宽光刻实现突破
● 华人博士放弃硅谷高薪回国，研发5纳米芯片制造设备打破德美垄断	● 真的吗？中微半导体设备公司将在今年年底敲定5nm刻蚀机
● 规模大赚钱就是好公司？政府要推动最基础的大国重器	● 光刻机领域中国接近世界先进水平，9nm线宽光刻实现突破
● 科技日报：国产22纳米光刻机治不了咱们“芯”病zt	● 河南ASML光刻机的技术封锁
● 摩尔定律还未死，EUV光刻工艺可用到15年后的1.5nm节点	● 还什么５nm的线宽
● 中国科学家自主研制成功新型光刻机	● 河南的那家公司现在跑来中国合作已经晚了
● 10纳米的光刻机国产了!	● 中国芯片为何卡在光刻机上日方：复杂的你们做不了

相关话题的讨论汇总
话题: 光刻机话题: 纳米话题: 中科院话题: 光刻话题: 芯片

未名新帖统计// 7月16日

#	版面	帖数(主题数)
-	全站	4871 (796)
1	Military	3777 (569)
2	Stock	341 (51)
3	Joke	117 (17)
4	History	116 (3)
5	Automobile	100 (9)
6	USANews	55 (9)
7	Midlife	45 (1)
8	Headline	41 (41)
9	Dreamer	33 (13)
10	FleaMarket	32 (20)
11	Living	30 (7)

* 这里只显示发帖超过25的版面，努力灌水吧:-)