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EE版 - 菜鸟问题: 版图设计里process feature size, database unit (DBU), manufacturing grid, snapping grid 的区别?
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菜鸟求教EE大拿们:
180nm的工艺,process feature size应该是180nm, 也就是最小栅长(L),是吗?那
么database unit (DBU), manufacturing grid, 以及snapping grid 相应地应该怎么
设置?看GDSII文件里DBU设置在0.001um,为什么这么小?feature size是不是就是指
版图里允许画的最小的尺寸,小于这个就通不过DRC了?比如说,180nm的工艺,无论是
W还是连线长度都必须是180nm的整倍数,snapping grid必须是feature size的整倍数
?如果画个200nm的金属线实际做出来是200nm还是180nm?
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