J*******3
发帖数: 1651 | 1 Turbo pump能达到多高的真空度？
一个Turbo pump真空泵通过一个门阀直接接到测试腔室， 假设该腔室气密性非常好，
没有丝毫泄漏， 真空度最高能达到多少？
该测试腔室下面连着离子泵， 如果门阀很完美， 能保证不漏， 为什么关了离子泵
后测试腔室得压力会升高？
3X! |
s**********4
发帖数: 1453 | 2
第一次接触？
烘烤后，
5*10_10 mbar
关了离子泵，被吸附的离子释放出来，压强当然增加了。
问题太初级了点。
【在 J*******3 的大作中提到】
: Turbo pump能达到多高的真空度？
: 一个Turbo pump真空泵通过一个门阀直接接到测试腔室， 假设该腔室气密性非常好，
: 没有丝毫泄漏， 真空度最高能达到多少？
: 该测试腔室下面连着离子泵， 如果门阀很完美， 能保证不漏， 为什么关了离子泵
: 后测试腔室得压力会升高？
: 3X!
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x*****a
发帖数: 610 | 3 这么牛比？
我实验室里用的能达到10^-7 torr 我就谢天谢地了
【在 s**********4 的大作中提到】
:
: 第一次接触？
: 烘烤后，
: 5*10_10 mbar
: 关了离子泵，被吸附的离子释放出来，压强当然增加了。
: 问题太初级了点。
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p*****e
发帖数: 152 | 4 说10E-10 Torr 的是说ion pump开着的情况下吧？
只有turbo的话看情况，10E-8 ~ 10E-7 Torr 我觉得都算正常范围，做
characterization的chamber一般比较干净，base pressure也低一些
【在 x*****a 的大作中提到】
: 这么牛比？
: 我实验室里用的能达到10^-7 torr 我就谢天谢地了
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b******u
发帖数: 226 | 5 一要看腔体有多大，二要看pump要多大，还要看有没有烘烤，最后还要看有没有源
★ 发自iPhone App: ChineseWeb 8.7
【在 x*****a 的大作中提到】
: 这么牛比？
: 我实验室里用的能达到10^-7 torr 我就谢天谢地了
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s*****n
发帖数: 1279 | 6 跟用的flange有关，跟backing pump也有关，当然pump大小，chamber size，
outgassing都有关系。
就pump本身来说，5*10_10 mbar没问题。不需要ion pump. |
c***n
发帖数: 196 | 7 我实验室达到10^-9mbar无压力，烘烤好了就到-10。 |
