请教：XRD如何测量面积小些的thin film sample? - Physics版

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Physics版 - 请教：XRD如何测量面积小些的thin film sample?

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c******k
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Philips PANalytical X'Pert PRO x-ray diffraction system
Sample area:2cmx2cm
做校准时的配置：
Incident beam optics: Beam Attenuators & Filters Cu/Ni, divergence slits 1/
32
但是做Z scan时，找不到信号，
我做大点的wafer时就没问题，是不是光束太宽，要用个mask啥的？请高人执教。

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