100~150nm的金膜如何clean？ - NanoST版 - 未名存档

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NanoST版 - 100~150nm的金膜如何clean？

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话题: 金膜话题: 150nm话题: protocol话题: clean话题: rca

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f*****k 发帖数: 195	1 有什么protocol么？
c**s 发帖数: 80	2 Try RCA cleaning standard?
f*****k 发帖数: 195	3 RCA主要是用来clean glass或者silicon的吧？我的金膜这么薄，会不会被dissolve掉？【在 c**s 的大作中提到】 : Try RCA cleaning standard?
c**s 发帖数: 80	4 Possible. There are other cleaning protocols you can try. If the dirt is organic mataterial, oxygen plasma should work very well.

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