w*****8
发帖数: 154 | 1 ASML光刻机欠火候：三星/台积电/GF 7nm EUV异常难产
不久前，高通宣布未来集成5G基带的骁龙芯片将基于三星的7nm制造，具体来说是7nm
LPP，使用EUV（极紫外）技术。
紧接着，三星就在华诚破土动工了一座新的7nm EUV工艺制造工厂，2020年之前要投产。
看似风风火火，但其实7nm EUV依然面临着不少技术难题。
据EETimes披露，在最近的芯片制造商会议上，有厂商就做了犀利地说明。
比如，GlobalFoundries研究副总裁George Gomba就表示，唯一有能力做250瓦EUV光刻
机的ASML（阿斯麦）提供的现款产品NXE-3400仍不能满足标准，他们建议供应商好好检
查EUV光罩系统，以及改进光刻胶。
这里对光刻做一下简单科普。
光刻就是将构成芯片的图案蚀刻到硅晶圆上过程。晶圆上涂有称为光刻胶的光敏材料，
然后将该晶圆暴露在通过掩模照射的明亮光线下。掩模掩盖的区域将保留其光刻胶层，
而直接暴露于紫外线的那些会脱落。
接着使用等离子体或酸蚀刻晶片（浸式）。在蚀刻过程中，被光刻胶中覆盖的晶片部分
得到保护，可保留氧化硅; 其他被蚀刻掉。
显然，光线波长小的话可以创造更精细的细节，比如更窄的电路、更小的晶体管。不过
在当下14nm的制造中并没有使用，而是借助多重图案曝光技术（多个掩膜和曝光台）实
现。
可是步骤越多，制造时间就会越长，缺陷率也会随之提高。所以，更短的紫外线光不得
不被提升上技术日程。
芯片行业从20世纪90年代开始就考虑使用13.5nm的EUV光刻（紫外线波长范围是10~
400nm）用以取代现在的193nm。EUV本身也有局限，比如容易被空气和镜片材料吸收、
生成高强度的EUV也很困难。业内共识是，EUV商用的话光源功率至少250瓦，Intel还曾
说，他们需要的是至少1000瓦。
会上，三星/台积电的研究人员透露，在NXE-3400下光刻有两个棘手问题，或蚀刻掉的
区域不足造成短路，或时刻掉的区域过量，导致撕裂。
当下，EUV光刻机对20nm以上尺寸级别的工艺来说缺陷率是可接受的，往下的话还是难
度重重。 |
w*****8
发帖数: 154 | |
h******k
发帖数: 15372 | 3 弯道超车的可能性不大，趁敌人掉坑里遭到阻力的机会一块儿掉坑里的可能性比较大。
。。
【在 w*****8 的大作中提到】
: 土鳖国能否抓住机遇，跨代超越或者“弯道超车”？
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M****u
发帖数: 17708 | 4 可以用电子束刻。波长低多了
电镜就是因为光线波长太长，分辨率不行，而改用电子束的。
河南在电镜上的基础很强，应用到光刻机上是很容易的事儿
【在 w*****8 的大作中提到】
: 土鳖国能否抓住机遇，跨代超越或者“弯道超车”？
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d********f
发帖数: 43471 | 5 半导体工艺你就别指望了，那玩意不是靠ppt的
【在 w*****8 的大作中提到】
: 土鳖国能否抓住机遇，跨代超越或者“弯道超车”？
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l****e
发帖数: 25 | 6 据说太慢
成本高太多了。。。
电子束30年前就说要替代光。
我比较擅长干这个，连工作都没有。。
活该西方落后
: 可以用电子束刻。波长低多了
: 电镜就是因为光线波长太长，分辨率不行，而改用电子束的。
: 河南在电镜上的基础很强，应用到光刻机上是很容易的事儿
【在 M****u 的大作中提到】
: 可以用电子束刻。波长低多了
: 电镜就是因为光线波长太长，分辨率不行，而改用电子束的。
: 河南在电镜上的基础很强，应用到光刻机上是很容易的事儿
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w*****8
发帖数: 154 | 7 河南? r u kidding?
【在 M****u 的大作中提到】
: 可以用电子束刻。波长低多了
: 电镜就是因为光线波长太长，分辨率不行，而改用电子束的。
: 河南在电镜上的基础很强，应用到光刻机上是很容易的事儿
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M****u
发帖数: 17708 | 8 就是阿姆斯特丹那个河南
【在 w*****8 的大作中提到】
: 河南? r u kidding?
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M****u
发帖数: 17708 | 9 现在低温冷冻电镜那么火，你怎么会没有工作
【在 l****e 的大作中提到】
: 据说太慢
: 成本高太多了。。。
: 电子束30年前就说要替代光。
: 我比较擅长干这个，连工作都没有。。
: 活该西方落后
:
:
: 可以用电子束刻。波长低多了
:
: 电镜就是因为光线波长太长，分辨率不行，而改用电子束的。
:
: 河南在电镜上的基础很强，应用到光刻机上是很容易的事儿
:
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w*****8
发帖数: 154 | 10 没娶上能教授的缘故？
【在 M****u 的大作中提到】
: 现在低温冷冻电镜那么火，你怎么会没有工作
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l****e
发帖数: 25 | 11 冷冻电镜是电子显微镜吧
我是做光学的
按说冷冻后光学也能做很多事情。
我没有工作是因为没有人愿意雇我，觉得我水平差。
其实我水平很牛逼的。
已经开始试产的东西，我最擅长修修补补让它工作。
: 现在低温冷冻电镜那么火，你怎么会没有工作
【在 M****u 的大作中提到】
: 现在低温冷冻电镜那么火，你怎么会没有工作
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w*****8
发帖数: 154 | 12 去把能教授搞定了，你就有活了
【在 l****e 的大作中提到】
: 冷冻电镜是电子显微镜吧
: 我是做光学的
: 按说冷冻后光学也能做很多事情。
: 我没有工作是因为没有人愿意雇我，觉得我水平差。
: 其实我水平很牛逼的。
: 已经开始试产的东西，我最擅长修修补补让它工作。
:
:
: 现在低温冷冻电镜那么火，你怎么会没有工作
:
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h******k
发帖数: 15372 | 13 能教授也不喜欢碰瓷的吧。。。
【在 w*****8 的大作中提到】
: 去把能教授搞定了，你就有活了
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T*R
发帖数: 36302 | 14 工艺发展遇到瓶颈，后来的慢慢就赶上了。
就像传统的钢铁机械化工，土鳖慢慢地赶上了。
【在 d********f 的大作中提到】
: 半导体工艺你就别指望了，那玩意不是靠ppt的
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l****e
发帖数: 25 | 15 我有家啊。
离开家最好的结果是天天被训话。
在家我可以训孩子们，至少。。。
: 没娶上能教授的缘故？
【在 w*****8 的大作中提到】
: 去把能教授搞定了，你就有活了
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w*****8
发帖数: 154 | 16 要有特长。。。特长，你懂的。
【在 h******k 的大作中提到】
: 能教授也不喜欢碰瓷的吧。。。
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M****u
发帖数: 17708 | 17 土鳖赶上了吗？
李克强总理杯粪的说，泱泱大国，连个圆珠笔尖都造不了
【在 T*R 的大作中提到】
: 工艺发展遇到瓶颈，后来的慢慢就赶上了。
: 就像传统的钢铁机械化工，土鳖慢慢地赶上了。
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U***r
发帖数: 565 | 18 可怜你俩娃
【在 l****e 的大作中提到】
: 我有家啊。
: 离开家最好的结果是天天被训话。
: 在家我可以训孩子们，至少。。。
:
:
: 没娶上能教授的缘故？
:
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l****e
发帖数: 25 | 19 土鳖人才还是很多的。赶这个应该最难的是材料吧。
化工差些。
其他土共不缺人才，
: 土鳖赶上了吗？
: 李克强总理杯粪的说，泱泱大国，连个圆珠笔尖都造不了
【在 M****u 的大作中提到】
: 土鳖赶上了吗？
: 李克强总理杯粪的说，泱泱大国，连个圆珠笔尖都造不了
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l****e
发帖数: 25 | 20 我四个娃，
孩子需要陪才脾气慢慢好起来
: 可怜你俩娃
【在 U***r 的大作中提到】
: 可怜你俩娃
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w*****8
发帖数: 154 | 21 后来圆珠笔尖不是马上能造了么？
本来这个活也不怎么赚钱，全球出货量就那么一点，你偏偏要砸瑞士的碗。。。
【在 M****u 的大作中提到】
: 土鳖赶上了吗？
: 李克强总理杯粪的说，泱泱大国，连个圆珠笔尖都造不了
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W*****d
发帖数: 4196 | 22 骑自行车的怎么弯道超车开汽车的？
【在 w*****8 的大作中提到】
: 土鳖国能否抓住机遇，跨代超越或者“弯道超车”？
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x*******6
发帖数: 994 | 23 不是你水平差，是你没有工业界工作经历，雇主不要你。这是一个死循环，没有工业界
经历，就不雇佣你，不雇佣你，你就没有工业界经历。
【在 l****e 的大作中提到】
: 冷冻电镜是电子显微镜吧
: 我是做光学的
: 按说冷冻后光学也能做很多事情。
: 我没有工作是因为没有人愿意雇我，觉得我水平差。
: 其实我水平很牛逼的。
: 已经开始试产的东西，我最擅长修修补补让它工作。
:
:
: 现在低温冷冻电镜那么火，你怎么会没有工作
:
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w*****8
发帖数: 154 | 24 独木桥，骑自行车的技术高超一点或许能过。汽车就过不了独木桥了。
【在 W*****d 的大作中提到】
: 骑自行车的怎么弯道超车开汽车的？
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f****e
发帖数: 24964 | 25 扯逼，瑞士卖的是最关键的高精度成套加工设备
太钢是搞出了球座体用钢，但是能不能达到取代日本钢材还未可知
【在 w*****8 的大作中提到】
: 后来圆珠笔尖不是马上能造了么？
: 本来这个活也不怎么赚钱，全球出货量就那么一点，你偏偏要砸瑞士的碗。。。
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l****e
发帖数: 25 | 26 谁说我没有工业界经历。
第一份工作做的就是半导体检测
当时日立领先，先出的设备
我干了一年多，东西运到英特尔
立马打得日立满地找牙。。
我们field engineer回来就激动地说日立完蛋了
: 不是你水平差，是你没有工业界工作经历，雇主不要你。这是一个死循环
，没有
工业界
: 经历，就不雇佣你，不雇佣你，你就没有工业界经历。
【在 x*******6 的大作中提到】
: 不是你水平差，是你没有工业界工作经历，雇主不要你。这是一个死循环，没有工业界
: 经历，就不雇佣你，不雇佣你，你就没有工业界经历。
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t*******o
发帖数: 1 | 27 这是好事，大家一直心知肚明，那里是个坎，
但Intel一类的搞的像真的一样，只好跟进，呵呵，那是套路啊，
再往小里去，只能x光或电子了，那个还早
紫外么，早就超过放大门大极限了，
现在是靠打光斑补丁，让光斑在局部有相对集中，看上去像个小光斑
难点就是补丁不干净，造成腐蚀不均
这就是马工啊，呵呵，Intel俄勒冈那里一大堆，当然是读过一点书的马工
小蒙古那样的再clever也进不去的 |
t*******o
发帖数: 1 | 28 文章抱怨的是光源不单色，这个更是大毛病，长波长会混进去 |
c****h
发帖数: 4968 | 29 土鳖要是能攻克光刻机，哪怕接近荷兰的水平，湾湾、棒子和米犹会的芯片产业基本就
白菜化了。 |
f****e
发帖数: 24964 | 30 硬件白菜化本来就是靠台巴组织大陆民工代工，不是靠土鳖技术
【在 c****h 的大作中提到】
: 土鳖要是能攻克光刻机，哪怕接近荷兰的水平，湾湾、棒子和米犹会的芯片产业基本就
: 白菜化了。
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e***y
发帖数: 4307 | 31 该不会是FEI吧。
半导体设备未来也就是个半死不活的状态了。已经在行业里的人会比较稳定，但不会有
给新人的机会了。看来你不工作也说得过去，毕竟想找也不好找了。
【在 l****e 的大作中提到】
: 谁说我没有工业界经历。
: 第一份工作做的就是半导体检测
: 当时日立领先，先出的设备
: 我干了一年多，东西运到英特尔
: 立马打得日立满地找牙。。
: 我们field engineer回来就激动地说日立完蛋了
:
:
: 不是你水平差，是你没有工业界工作经历，雇主不要你。这是一个死循环
: ，没有
: 工业界
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w*****8
发帖数: 154 | 32 生产CPU需要个P的民工干苦力！
【在 f****e 的大作中提到】
: 硬件白菜化本来就是靠台巴组织大陆民工代工，不是靠土鳖技术
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f****e
发帖数: 24964 | 33 所以CPU白菜花更和鳖没关系
就是手机CPU白菜化也靠的是英国
【在 w*****8 的大作中提到】
: 生产CPU需要个P的民工干苦力！
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e***y
发帖数: 4307 | 34 其实荷兰有公司搞多光电子束光刻机想跟euv竞争的，叫mapper，美国曾经也有，但是
被ASML打压的厉害。euv是个大忽悠从客户圈了那么多钱，再不量产就忽悠不下去了，
所以现在号称2018要hvm，谨慎不看好。
【在 M****u 的大作中提到】
: 可以用电子束刻。波长低多了
: 电镜就是因为光线波长太长，分辨率不行，而改用电子束的。
: 河南在电镜上的基础很强，应用到光刻机上是很容易的事儿
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w*****8
发帖数: 154 | 35 日本，好伐
ARM是日本的。
【在 f****e 的大作中提到】
: 所以CPU白菜花更和鳖没关系
: 就是手机CPU白菜化也靠的是英国
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T*U
发帖数: 22634 | 36 kao,牛人来了，几亿个晶体管，用电子束刻。
【在 M****u 的大作中提到】
: 可以用电子束刻。波长低多了
: 电镜就是因为光线波长太长，分辨率不行，而改用电子束的。
: 河南在电镜上的基础很强，应用到光刻机上是很容易的事儿
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t******e
发帖数: 2504 | 37 扯淡！
台积电的7nm不是EUV，还是用immersion， LZ连这都不知道，就替人家哭晕了，真TM可
笑！
看过一篇行内评论文章，台积电应该是最有希望首家7nm量产的，预计就是本年度开始
risk production, 年底或明年初量产。 三星和intel都是用EUV， 分别计划是2019和
2020年量产，但目前在工艺上遇到问题，可能要延迟。 |
l****e
发帖数: 25 | 38 这道不是问题，
干别的也行。
美国垃圾在是笨蛋经理人制度。搞得这个行业科班的很多都悲催，干不下去，，，而混
日子的只要听话还好，所以米帝不完蛋肯定是物理规律不工作。
比如F35不断打补丁，说明就是一个垃圾早该下马
其他类似，PPT，吹牛拿bonus走人。。。
正经能干活的很多都过不下去。。
美国硬件彻底完蛋。
昨天有个雷声的发邮件是否考虑，
其实考虑个屁，连电话面试也过不去，因为里面的人太傻逼，根本就不会面试硬件工程
师。只是问你做过没有，而不是具体情况怎么算或处理。。
曾经面试微软一个垃圾一个劲问三个lens,还是4个好。。。当然一般越少越好，，，别
的条件不说，搞一堆弱智问题。。。
: 该不会是FEI吧。
: 半导体设备未来也就是个半死不活的状态了。已经在行业里的人会比较稳
定，但
不会有
: 给新人的机会了。看来你不工作也说得过去，毕竟想找也不好找了。
【在 e***y 的大作中提到】
: 其实荷兰有公司搞多光电子束光刻机想跟euv竞争的，叫mapper，美国曾经也有，但是
: 被ASML打压的厉害。euv是个大忽悠从客户圈了那么多钱，再不量产就忽悠不下去了，
: 所以现在号称2018要hvm，谨慎不看好。
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m********5
发帖数: 17667 | 39 20年前发文章就老喜欢用e-beam,但是e-beam扫描速度即使是现在仍然很慢，仍然只能
用来发文章。e-beam几乎不可能用来在足够的面积上进行蚀刻，稍大一点的普通单个IC
都没法搞定，最终其精度/速度取决于机械载物台的精度/速度... 就别说做那么大的量
产晶圆了。
因此e-beam基本是没啥用的。而且扫描很容易受到外界电磁干扰。不过e-beam用来做器
件的prototype的确很快啦，还可以很方便地种离子，大家都喜欢。
现在批量生产的最高端的技术基本都不使用带电粒子，有个技术估计十年内可以投产，
不过不能在这里扯啦。
【在 M****u 的大作中提到】
: 可以用电子束刻。波长低多了
: 电镜就是因为光线波长太长，分辨率不行，而改用电子束的。
: 河南在电镜上的基础很强，应用到光刻机上是很容易的事儿
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m********5
发帖数: 17667 | 40 未来必然是靠自组织分子电路，坏了还能自我修复。靠投影复刻加工做到3D就非常困难
了，用钻石等类似基底解决散热之后，如何做体积集成？我认为只能依靠分子进行自组
织搭建，外界用光和化学pattern进行诱导。
【在 t*******o 的大作中提到】
: 这是好事，大家一直心知肚明，那里是个坎，
: 但Intel一类的搞的像真的一样，只好跟进，呵呵，那是套路啊，
: 再往小里去，只能x光或电子了，那个还早
: 紫外么，早就超过放大门大极限了，
: 现在是靠打光斑补丁，让光斑在局部有相对集中，看上去像个小光斑
: 难点就是补丁不干净，造成腐蚀不均
: 这就是马工啊，呵呵，Intel俄勒冈那里一大堆，当然是读过一点书的马工
: 小蒙古那样的再clever也进不去的
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w*****8
发帖数: 154 | 41 得等生物计算机了
没准得靠能教授开天眼。。。
【在 m********5 的大作中提到】
: 未来必然是靠自组织分子电路，坏了还能自我修复。靠投影复刻加工做到3D就非常困难
: 了，用钻石等类似基底解决散热之后，如何做体积集成？我认为只能依靠分子进行自组
: 织搭建，外界用光和化学pattern进行诱导。
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D*****0
发帖数: 1143 | |
l****e
发帖数: 25 | 43 根本不值得投资了吧。
干些有意义的事情。
: 得等生物计算机了
: 没准得靠能教授开天眼。。。
【在 w*****8 的大作中提到】
: 得等生物计算机了
: 没准得靠能教授开天眼。。。
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h******k
发帖数: 15372 | 44 所以最终还是要人肉电池的
【在 m********5 的大作中提到】
: 未来必然是靠自组织分子电路，坏了还能自我修复。靠投影复刻加工做到3D就非常困难
: 了，用钻石等类似基底解决散热之后，如何做体积集成？我认为只能依靠分子进行自组
: 织搭建，外界用光和化学pattern进行诱导。
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m******g
发帖数: 621 | 45 同意，EUV现在是TOO BIG TO FAIL。不行的话这个行业彻底就完蛋了，现在还有个奔头。
你没看INTEL 10NM已经SADP GATE PITCH了么。就说明INTEL对EUV迟到早有准备了。
其实问题根本不止EUV，你的GATE LENGTH小于20NM，WORKFUNCTION METAL很难填进去的。
【在 e***y 的大作中提到】
: 其实荷兰有公司搞多光电子束光刻机想跟euv竞争的，叫mapper，美国曾经也有，但是
: 被ASML打压的厉害。euv是个大忽悠从客户圈了那么多钱，再不量产就忽悠不下去了，
: 所以现在号称2018要hvm，谨慎不看好。
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M****u
发帖数: 17708 | 46 我是外行，提个建议而已。
【在 T*U 的大作中提到】
: kao,牛人来了，几亿个晶体管，用电子束刻。
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w**********g
发帖数: 5486 | 47 你不是球系的吗？
[在 llcare (剑华) 的大作中提到：]
:据说太慢
:成本高太多了。。。
:电子束30年前就说要替代光。
:我比较擅长干这个，连工作都没有。。
:活该西方落后
:
: 可以用电子束刻。波长低多了
:
: 电镜就是因为光线波长太长，分辨率不行，而改用电子束的。
:
: 河南在电镜上的基础很强，应用到光刻机上是很容易的事儿
:
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w*****8
发帖数: 154 | 48 人肉电池也是要吃饭的。。。
【在 h******k 的大作中提到】
: 所以最终还是要人肉电池的
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l****e
发帖数: 25 | 49 球系的数学太难了
所以都跑去学简单的
比如
物理，计算机，金融
或直接做销售
可见你不懂球系。
: 你不是球系的吗？
: [在 llcare (剑华) 的大作中提到：]
: :据说太慢
: :成本高太多了。。。
: :电子束30年前就说要替代光。
: :我比较擅长干这个，连工作都没有。。
: :活该西方落后
: :
【在 w**********g 的大作中提到】
: 你不是球系的吗？
: [在 llcare (剑华) 的大作中提到：]
: :据说太慢
: :成本高太多了。。。
: :电子束30年前就说要替代光。
: :我比较擅长干这个，连工作都没有。。
: :活该西方落后
: :
: 可以用电子束刻。波长低多了
: :
: 电镜就是因为光线波长太长，分辨率不行，而改用电子束的。
: :
: 河南在电镜上的基础很强，应用到光刻机上是很容易的事儿
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