国产12英寸14纳米FinFET等离子硅刻蚀机 - Military版 - 未名存档

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Military版 - 国产12英寸14纳米FinFET等离子硅刻蚀机

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b****a 发帖数: 4465	1 北方微电子NMC 612D 14nm FinFET刻蚀机以全新的设计理念来实现14nm FinFET刻蚀工艺的要求。设备采用了新开发的同步脉冲等离子技术，通过对等离子体的实时控制和诊断来实现低损伤和高选择比，采用多区ESC以获得更高的CD均匀性，增加高温上电极的设计来降低缺陷，增大Throughput，设备多项关键指标达到国际先进水平。 NMC 612D 14纳米等离子硅刻蚀机Move in上海集成电路研发中心是北方微电子通过技术创新取得又一重要成绩。凭借机台优异的性能和28nm的成功经验，我们期待NMC 612D14 纳米等离子硅刻蚀机创造更多的优异成绩! 北方微电子愿通过持续的技术创新，与产业协同发展，共同迎来14纳米技术时代！
s*i 发帖数: 344	2 牛！
c****g 发帖数: 37081	3 re
O*********c 发帖数: 2309	4 94
c****g 发帖数: 37081	5 夕阳产业。老将倭杂
l*****i 发帖数: 20533	6 这个是刻蚀机，还差光刻机。有了光刻机，还差光源。有了光源，还差相应的胶。。。。总之‘夕阳产业’论者不必惊慌。

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