进步神速：中微半导体45奈米蚀刻机台卖到台积电 - Military版

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进步神速：中微半导体45奈米蚀刻机台卖到台积电
g_xiaobo 发表于: 2009-3-03 13:11 来源: 半导体技术天地
大陆本土半导体设备业者中微半导体尽管在与国际大厂应用材料(Applied Materials)
及科林研发(Lam Research)官司缠讼之中，但开拓市场脚步未停歇，目前45纳米蚀刻机
台已经打入台积电12寸厂，正在进行设备验证，同时也与韩国存储器业者合作当中。中
微亚太区总经理朱新武表示，中微完全是走自主研发路线，目前不仅65/45纳米机台已
打入一线半导体业者供应商行列，也已着手下1世代32纳米制程技术研发。
中微是目前大陆最具潜力的本土半导体设备业者，其设备已获得中芯国际12寸厂采
用，主要投资者包括知名创投业者华登(Walden)、 LightSpeed、Redpoint，以及投资
银行高盛(Goldman Sachs)、半导体业者高通(Qualcomm)及科磊(KLA-Tencor)等。
中微表示，2008年10月完成C系列(Series C)集资动作后，所筹集资金1.69亿美元
可因应到2011年营运所需不成问题。中微除投资者大有来头，最

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