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EE版 - 如何在玻璃片上制作一些200nm左右的小孔? (转载)
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s*****e
发帖数: 172
1
【 以下文字转载自 Biology 讨论区 】
发信人: suntree (小明), 信区: Biology
标 题: 如何在玻璃片上制作一些200nm左右的小孔? (转载)
发信站: BBS 未名空间站 (Wed Apr 25 02:36:57 2012, 美东)
发信人: suntree (小明), 信区: Chemistry
标 题: 如何在玻璃片上制作一些200nm左右的小孔?
发信站: BBS 未名空间站 (Wed Apr 25 02:34:51 2012, 美东)
请问各位大侠,
如何才能够在玻璃片上制作一些200nm左右的小孔阿?
有啥好的重复率高的技术吗?
多谢!
r******o
发帖数: 1851
2
200nm好小啊,玻璃多厚?看来只能是Ebeam 光刻再刻了,或者不知道有没有直径这么
小的激光?
B*G
发帖数: 13438
3
FIB
r******o
发帖数: 1851
4
恩,对,这个好,就是比较贵

【在 B*G 的大作中提到】
: FIB
r******t
发帖数: 8967
5
多深?
F********g
发帖数: 475
6
Do you have access to a clean room? Or mask fabrication facility?
If you have access to a synchrotron facility, you can try x-ray, easy to go
sub 30nm.Mask making is costly though.
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