d*****t
发帖数: 77 | |
c*****2
发帖数: 225 | 2 写photomask还是写wafer? 两者很不一样...
【在 d*****t 的大作中提到】
: att
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g******e
发帖数: 760 | |
H*****l
发帖数: 702 | 4 母板都是ebeam的
【在 g******e 的大作中提到】
: 有人用ebeam写photomask么？
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g******e
发帖数: 760 | 5 pattern generator都是laser writing的吧。难道我已经out了？
【在 H*****l 的大作中提到】
: 母板都是ebeam的
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H*****l
发帖数: 702 | 6 我 out 了
我一直分不清ebeam 和 laser
【在 g******e 的大作中提到】
: pattern generator都是laser writing的吧。难道我已经out了？
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g******e
发帖数: 760 | 7 UV laser的minimum size不如ebeam，不过现在都是stepper 4x或者5x，可能也够用了
。不知道
EUV的litho的mask是怎么做的。
【在 H*****l 的大作中提到】
: 我 out 了
: 我一直分不清ebeam 和 laser
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g******s
发帖数: 733 | 8 哪个就业前景好？
【在 c*****2 的大作中提到】
: 写photomask还是写wafer? 两者很不一样...
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i*****t
发帖数: 24265 | 9 请教e-beam是不是电子那种，laser是激光那种啊？据说电子的精度高？对么？
【在 H*****l 的大作中提到】
: 我 out 了
: 我一直分不清ebeam 和 laser
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g******e
发帖数: 760 | 10 基本对。e-beam的resolution高，但是large area accuracy比较差。
【在 i*****t 的大作中提到】
: 请教e-beam是不是电子那种，laser是激光那种啊？据说电子的精度高？对么？
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