w****j
发帖数: 5581 | 1 10年前？俺十一年前都开始用EBeam了，你继续扯。FIB现在除了做research，也就
Testing house里用，生产线上不用这个。至于一般用来干什么，估计你也没概念。
EBeam在制造流程中通常干什么用的，一看就知道你根本也不清楚。你加不加引号都没
用，你根本就不知道EBeam是怎么用，用在哪里的。实话说，随便看过一本工艺的教科
书的，都比你清楚半导体工艺过程是怎么回事。 |
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e****d
发帖数: 333 | 2 另外一个限制是，其实这些要被排序的东东都在一个结构体的元素里：
struct ebeam{
int ID;
double s;
};
ebeam* eV=new ebeam[1000];
对eV[i].s排序，同时还要保留ID 的信息。
这个是一个仪器的模拟设计。 |
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x****y
发帖数: 1853 | 3 这都tm快成月经贴了。老光刻机光刻机的烦不烦啊？
除了光刻机外，中国不会做，或者做出来满足不了最近两代节点工艺的设备有：MeV
ion implanters, ebeam litho tools, ebeam inspection/review tools... |
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u*l
发帖数: 523 | 4 用手机发帖，不容易编辑，请忽略格式、排版错误。
Supplier Chain Engineer
Introduction
The Supply Chain Engineer develops and maintains the relation with the
supplier, at an operational level, with the purpose to create optimal
engineering and/or manufacturing collaboration between supplier and HMI. He/
she will work closely with supplier and development teams to optimize the
effectiveness and efficiency of new product development. The Supply Chain
Engineer will have the responsibility to assure supplier quality through
... 阅读全帖 |
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D**********s
发帖数: 3139 | 5 怎么可能是cvd。。。更别说ebeam或者thermal evap了。这就是普通的sol-gel。怀疑
对不同波长和入射角的增透能力，哪个N家献身说法一下？还有涂层硬度，用手按按会
不会改变涂层厚度。。。
难怪追求完美的leica及早地步入ebeam lithography的行列 |
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O*A
发帖数: 78 | 6 在硅上蒸发沉积铝做电极，2个分离的pad，没有退火，焊接Pt wire之后测IV曲线，是
线性，但是电阻比预期的大，有几个问题问问，谢谢。
（1）用5% HF 泡过之后, 又用去离子水冲洗过，到放进chamber，起码有半个小时暴露
在空气中(所有过程都不在clean room)，不知道native oxide有多少影响？
(2) HF 之后水洗是否必要，另外， 用HF 与 用NH4F+HF有没有本质区别？
(3) 铝膜的质量。SEM 观察，上面的铝颗粒很大，直接200－500nm不等，不连续。底下
的颗粒小一些。不知道是否正常。用的是ebeam source (not ebeam gun), 比较老的机
器。速率0.2nm/s, 时间2小时以上，不知样品温度(蒸发源通过辐射对样品加热)。
(4) 用磁控溅射沉积电极是否会破坏样品表面(表面有~300 nm的扩散层)，跟蒸发比，
哪个膜比较均匀、连续？ |
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e****e
发帖数: 9 | 7 是用4针法测的吗？如果是2针，需要考虑contact 如果是wire bonding需要比较厚的
电极 可以考虑用probe测测看
native oxide一般几个nm hf洗过之后一般能坚持5-10分钟吧，我也不是很sure 一
般在用hf洗之前会用acetone meth ipa 清洗 为什么不直接在clean room洗呢
ebeam 2A/s 的速度应该是正常的 2个小时有点长 建议提高点速度 样品温度要看
substrate的cooling water是否正常 如果正常的话温度应该不是问题 grain size没
有经验 没有看过sem
sputter不会破坏样品表面 个人认为ebeam长的膜好 但这个要看你的仪器如果 |
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O*A
发帖数: 78 | 8 【 以下文字转载自 EE 讨论区 】
发信人: OSA (Opt Soc Am), 信区: EE
标 题: 请问硅上面做电极
发信站: BBS 未名空间站 (Mon Aug 16 08:03:39 2010, 美东)
在硅上蒸发沉积铝做电极，2个分离的pad，没有退火，焊接Pt wire之后测IV曲线，是
线性，但是电阻比预期的大，有几个问题问问，谢谢。
（1）用5% HF 泡过之后, 又用去离子水冲洗过，到放进chamber，起码有半个小时暴露
在空气中(所有过程都不在clean room)，不知道native oxide有多少影响？
(2) HF 之后水洗是否必要，另外， 用HF 与 用NH4F+HF有没有本质区别？
(3) 铝膜的质量。SEM 观察，上面的铝颗粒很大，直接200－500nm不等，不连续。底下
的颗粒小一些。不知道是否正常。用的是ebeam source (not ebeam gun), 比较老的机
器。速率0.2nm/s, 时间2小时以上，不知样品温度(蒸发源通过辐射对样品加热)。
(4) 用磁控溅射沉积电极是否会破坏样品表面(表面有~300 nm的扩散层)，跟 |
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w****j
发帖数: 5581 | 9 FIB，EBEAM用来焊元件？你还在半导体这个圈子里呆过？扯谎有个限度啊。
Deposition |
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a***e
发帖数: 27968 | 10 193nm+水+相衬，可以到65~45nm的分辨能力，
几百nm是你学校里用的15年前的老古董不要拿出来丢人
32nm和22nm都是double patterning出来的
设备关系不大？ASML的机器可以在50cm/s的运动速度
下达到1nm以下的定位精度和稳像,每小时曝光10K量级的die
tsmc,3*,intel花1台/30M刀的价位你当他们傻？
1小时ebeam不知道能不能写完一个die |
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x****y
发帖数: 1853 | 11 鬼子的ebeam产品不错 , tel的implanter除了varian也就是它了。继续做老二呗。在半
导体行业里第一阵型是肯定的。其他
pvd 啊cvd这些layering tools的利润反正也不高。 |
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x****y
发帖数: 1853 | 13 哪怕patterning这一部可以用ebeam解决(不知道要写多少年才能写完一个wafer)，其他
工艺也没到位哦。 |
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i********c
发帖数: 11 | 15 小弟PhD candidate 今年12月毕业，现在开始投简历，希望得到各位业界前辈的内推！
PhD research包括LED and TFT fabrication:mask design, process flow(PECVD,PLD,
photolithography, RIE, ebeam, FIB), device characterization(AFM, SEM,
parameter analyzer, probe station). 也会应用Synopsys TCAD 做Simulation, 包括
Process Simulation, Device Simulation, Structure Editor.
上学期间还修了VLSI课程, 包括ASIC Design和Physical Design, 虽然对Device的工作
没有太大帮助，还是列出来，万一哪家公司需要......
编程语言包括C++, Python, Tcl, Make, Verilog, Matlab
需要详情或者简历请联系[email protected]
(function(){try{var... 阅读全帖 |
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b********d
发帖数: 720 | 16 夏天毕业的phd，女（参见头像）
skills:photolithography, dry/wet etch, sputter/e-beam evaporator deposition,
FET
conductivity measurement, AFM, electrochemistry, ellipsometry,UV-VIS,
surface profiler，thin film coating, Gaussian Computation,CAD,Python,MOSFET
做过的project主要涉及三方面：
1.photolithography,ebeam evaporator,dry/wet etch in cleanroom to fabricate
microelectrodes(channel of 3um). Also, I designed my mask with CAD.I did
everthing from designing mask, fabrication in cleanroom to dicing in the end.
2.grow thin ... 阅读全帖 |
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x*******6
发帖数: 994 | 17 Please contact recruiter directly.
#1) One of my longest-standing clients has just received a $31 million
round of Venture Capital funding and is aggressively expanding, hiring
multiple positions for world-class CMOS semiconductor engineers. The
company is a leader in the field of next-generation nonvolatile memory and
is now working with a number of major customers, Their innovative memory has
the potential to replace both flash and DRAM. This is a chance to work on
leading-edge, advanced no... 阅读全帖 |
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j******j
发帖数: 50 | 18 The post-doctoral scholar will be responsible for designing, fabricating and
characteristizing nanophonotic circuirs and devices, for use in
applications such as optical communications and sensing.
Qualified candidates should have experience in some or all of the following:
Clean room fabrication and metrology (ebeam lithography, thin film
deposition, etching, SEM, AFM, etc.)
Characterization of photonics structures;
Semicondcutor materials and optical physics;
Finite difference and finite eleme... 阅读全帖 |
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j******j
发帖数: 50 | 19 The post-doctoral scholar will be responsible for designing, fabricating and
characteristizing nanophonotic circuirs and devices, for use in
applications such as optical communications and sensing.
Qualified candidates should have experience in some or all of the following:
Clean room fabrication and metrology (ebeam lithography, thin film
deposition, etching, SEM, AFM, etc.)
Characterization of photonics structures;
Semicondcutor materials and optical physics;
Finite difference and finite eleme... 阅读全帖 |
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y*m
发帖数: 1401 | 20 审了9篇，还希望能多审几篇，我的专业领域 optoelectronics integration，HFET/
HMET, infrared detector, Ebeam lithography, semiconductor process。有机会的
话请站内联系，我会发CV过去，多谢。 |
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s**********2
发帖数: 305 | 21 你好，我在积攒审稿，麻烦帮忙推荐。
我是材料物理，做的半导体纳米材料制备，比较符合我的背景。
谢谢了。
Interested in serving as a reviewer
1. My background
2. Keywords
3. Published journals and paper I have reviewed.
4. Thanks.
Dear Editor,
I graduated from Nanoelectronics Lab at University of Wyoming in 2014 and
hold a Ph.D. degree in Physics (Materials and Electronics). I got my
bachelor degree in Jilin University in 2009, one of the top 10 universities
in China. My name is Liyou Lu and I am currently a product/test engineer at
Fre... 阅读全帖 |
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s*n
发帖数: 2603 | 22 比较适合大规模生产的应该是 ebeam evaporator吧 |
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B*G
发帖数: 13438 | 23 machine shop有啥吓人的？说说看？学校里training最贵的经历是EBeam，假如MBE也让
train的话可能更贵... |
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b****r
发帖数: 2555 | 25 caltech几乎是每个组有单独的cleanroom，日本是一个博后一台ebeam慢慢玩。
硬件比不过的话是玩不起的。刚好周边也没有什么公司可以合作搞搞的。
以上文本借助www.InputKing.com在线中文输入法输入 |
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发帖数: 1 | 26 小弟我四字班的，本校MS，西部挫校phd，做光学plasmonics的，预计2016年底或
2017年初毕业， 跪求内推。。。
Cleanroom: Photolitho, RIE, HF etching, Ebeam Lithography, FIB, SEM
Other: FTIR, Spectrometer |
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y****9
发帖数: 22 | 27 Dear Tianjin University Alumni and Friends,
You are cordially invited to a dinner reception for Tianjin University
Alumnus Qing (Evan) Xu, General Manager, Sterigenics Shanghai EBeam, Co. Ltd
. Before Sterigenics, Mr. Xu worked in management positions at Motorola
Tianjin and Molex Shanghai. Mr. Xu will give us a general talk about
sterilization industry, economic development in Shanghai and China.
Date and Time: Friday May 23, 2008, 6:30 pm – 9:00 pm
Location:
Triple Crown Seafood (Da San Yuan) |
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e****u
发帖数: 3 | 28 PhD Position Available ECE at GWU US DC Area
The Nanophotonics and Microfluidics Laboratory in the Department of
Electrical and Computer Engineering at the George Washington University
invites applications for a PhD research assistant position in the field of
nano/biotechnololgy with focus on the integration of nanophotonics and
microfluidics (Optofluidics) for biomedical applications. Current on-going
projects include single cell molecular analysis for stem cell and cancer
research, and portabl... 阅读全帖 |
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e******g
发帖数: 461 | 29 Raytheon? Leica?
ebeam 都快要被nano imprint的搞掉了
虽然两个商业前景都很不乐观
即使是EUV,很多厂家也在观望之中,成本太大了 |
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H*****l
发帖数: 702 | 32 我 out 了
我一直分不清ebeam 和 laser |
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g******e
发帖数: 760 | 33 UV laser的minimum size不如ebeam，不过现在都是stepper 4x或者5x，可能也够用了
。不知道
EUV的litho的mask是怎么做的。 |
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e****u
发帖数: 3 | 34 PhD Position Available ECE at GWU US DC Area
The Nanophotonics and Microfluidics Laboratory in the Department of
Electrical and Computer Engineering at the George Washington University
invites applications for a PhD research assistant position in the field of
nano/biotechnololgy with focus on the integration of nanophotonics and
microfluidics (Optofluidics) for biomedical applications. Current on-going
projects include single cell molecular analysis for stem cell and cancer
research, and portabl... 阅读全帖 |
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r******o
发帖数: 1851 | 35 200nm好小啊，玻璃多厚？看来只能是Ebeam 光刻再刻了，或者不知道有没有直径这么
小的激光？ |
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b********d
发帖数: 720 | 36 【 以下文字转载自 JobMarket 讨论区 】
发信人: brightmood (开心，努力，尽人事听天命), 信区: JobMarket
标 题: 材料，cleanroom,script level programming背景，求内推
发信站: BBS 未名空间站 (Sun Apr 28 17:14:07 2013, 美东)
夏天毕业的phd，女（参见头像）
skills:photolithography, dry/wet etch, sputter/e-beam evaporator deposition,
FET
conductivity measurement, AFM, electrochemistry, ellipsometry,UV-VIS,
surface profiler，thin film coating, Gaussian Computation,CAD,Python,MOSFET
做过的project主要涉及三方面：
1.photolithography,ebeam evaporator,dry/wet etch in cleanroom to fabri... 阅读全帖 |
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b****a
发帖数: 460 | 37 之前我给quartz wafer 镀金或者铝的时候也是使用Ti(5nm)作为adhesion layer，没有
遇到什么问题,当然我没有做特别tape off测试。用的是Ebeam evaporation
不过镀金属之前建议用piranha solution彻底清理下glass，看看是不是会好点。 |
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发帖数: 1 | 38 各位好，
小弟六月份phd毕业，nano-optics方向，求PE或者FAE内推。
没有工业界实习经历，有个reserach实习。
有cleanroom经验。
对Ebeam Litho和FIB尤其熟悉。
感谢！ |
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s*n
发帖数: 2603 | 39 不是大牛，PMMA比较常用，high resolution, good adhesion, not sensitive to
room light, not good etching
resistivity though. u can use 495k or 950k PMMA and using the dedicate PMMA
developer. There are
many other types of ebeam resist and you can just simple google or search
the literature. |
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s*****t
发帖数: 1 | 40 ebeam: MMA, PMMA, ZEP etc.
PL: 1805, 1818, SU8 etc. |
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w********g
发帖数: 17 | 41 请问哪里可以查到国内哪些学校或科研单位有 电子束刻蚀 ebeam lithgraphy 的？
多谢 |
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e****u
发帖数: 3 | 42 PhD Position Available ECE at GWU US DC Area
The Nanophotonics and Microfluidics Laboratory in the Department of
Electrical and Computer Engineering at the George Washington University
invites applications for a PhD research assistant position in the field of
nano/biotechnololgy with focus on the integration of nanophotonics and
microfluidics (Optofluidics) for biomedical applications. Current on-going
projects include single cell molecular analysis for stem cell and cancer
research, and portabl... 阅读全帖 |
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I****e
发帖数: 7742 | 43 scale 多大的
精度要求多高
精度要求不高用photolithography,精度要求高用ebeam lithography
弄完之后RIE就可以了
或者找个带GIS module 的 EBL machine, 一次也就搞定了
不过这个活儿一般价格都挺贵的 |
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