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EE版 - 有做无电镍沉积的么?
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话题: 无电话题: 沉积话题: ni
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O*A
发帖数: 78
1
在硅片上无电沉积镍,N2下退火后出现颜色(紫,黄,红),分布不均匀,不知道什么缘
故。一般也没有文章提及这个问题。
Ni-P, 80-90度,碱性
thx
w********o
发帖数: 10088
2
thickness uniformity?

【在 O*A 的大作中提到】
: 在硅片上无电沉积镍,N2下退火后出现颜色(紫,黄,红),分布不均匀,不知道什么缘
: 故。一般也没有文章提及这个问题。
: Ni-P, 80-90度,碱性
: thx

O*A
发帖数: 78
3
这个不知道。刚拿出来的片子,看起来颜色不均匀,有的地方亮些,有的灰蒙蒙。退火
后彩色则是大片面积,比退火前灰蒙蒙的区域大
不知wokaowokao有没见过退火后变彩色的情形?

【在 w********o 的大作中提到】
: thickness uniformity?
w********o
发帖数: 10088
4
我没在silicon上退火过Ni,你的片子有多大

【在 O*A 的大作中提到】
: 这个不知道。刚拿出来的片子,看起来颜色不均匀,有的地方亮些,有的灰蒙蒙。退火
: 后彩色则是大片面积,比退火前灰蒙蒙的区域大
: 不知wokaowokao有没见过退火后变彩色的情形?

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