有人知道semiconductor ion implant的projected range的表在哪里有吗？ - EE版 - 未名存档

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EE版 - 有人知道semiconductor ion implant的projected range的表在哪里有吗？

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话题: implant话题: 表在话题: projected

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T******u 发帖数: 119	1 电子版的，就是一般的B，BF2，As， P之类的，在Si里多少energy，能打到多深的那个，表，图，都可以。。。以前看人用过一个小软件，模拟implant的，还能给profile，可惜没记下来是个什么咚咚，google了半天也没找到，有人知道吗？谢了先。。。
e******g 发帖数: 461	2 google srim 【在 T******u 的大作中提到】 : 电子版的，就是一般的B，BF2，As， P之类的，在Si里多少energy，能打到多深的那个 : ，表，图，都可以。。。以前看人用过一个小软件，模拟implant的，还能给profile， : 可惜没记下来是个什么咚咚，google了半天也没找到，有人知道吗？谢了先。。。
T******u 发帖数: 119	3 wa，就他，多谢多谢。。。【在 e******g 的大作中提到】 : google srim

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