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EE版 - 工艺一问:
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s******p
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1
有没有wet etch TaN的etchant?
s*******r
发帖数: 921
2
It has to be etched by wet etchant if it is used as metal gate. Just google
it.

【在 s******p 的大作中提到】
: 有没有wet etch TaN的etchant?
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fabrication的实验课程有用吗?Cleave + SEM Re: 请教:激光检测thin film 厚度?
版上有人做GaAs的工艺吗?请教个很基础的问题求助,寻找MIT XeF2 etching machine
[Job opening] Compound Semiconductor Process TechnicianPCB Allegro DRC Error!
Job: Processing Engineer for GaAs based HBT and Transistors问一个micro fabrication 的问题!bow!!
再问个关于GaAs工艺的问题who is familiar with RIE to etch Cu and Ag? help!!!
Re: poly etch rate 的问题熟悉半导体激光的请进
求教两个process engineer问题有做fabrication的兄弟嘛
请问刻蚀出来的沟槽宽度比预期的窄,是什么原因?有没有前辈介绍下III-V的工作情况
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