m*z
发帖数: 2356 | 1 谁能谈谈这两个的FA.
TA上我更看好FSII,近一年来成交量不断放大, 感觉越来越多的机构在吸货. | y***q
发帖数: 4147 | | e*n
发帖数: 1511 | 3 我是完全不懂行，只能google一些新闻来看看。
FSI International 為全球性IC製造的表面清洗設備技術與支援服務供應商，擁有一系
列完整的清洗設備產品，可針對單晶片與批次生產平台，為客戶提供包括浸泡式、旋轉
噴霧式，以及氣相與過冷動力等清洗方式，以協助客戶達到卓越製程表現、彈性與生產
目標。FSI更於日前宣佈該公司ORION單晶圓清洗系統已接獲一家主要半導體製造商的訂
單；該系統於2008年5月即送交此一客戶做為其 32nm後端製程開發計畫之用，因此這份
訂單也代表客戶對這項產品的肯定。此一具備獨特密閉式處理腔設計的新產品可解決許
多關鍵潔淨技術問題，包含了金屬包覆層銅導線及無金屬包覆層銅導線的材料損失與電
流腐蝕控制，可協助IC製造商建置零缺陷的下一代銅導線結構。
FSI總裁暨執行長 Don Mitchell表示，無論就哪一個層面而言，此一訂單都對FSI具有
非凡的意義，不僅可證明ORION系統在32nm製程應用上的能力，同時也展現客戶對這些
能力所提供充分價值的信心，即使在此波產業景氣循環深落谷底之際，製造商仍願意投
資於創新技術，除了可為未來預做準備之外，同時也可實現當前的獲利。
ORION系統立體堆疊模組的架構可提供高產能、高彈性及最佳無塵室容積使用效率。此
一系統融合多項FSI成熟的核心技術以提供卓越的製程效益，這些核心技術包括即時化
學藥液配方混合與控制、動能化學氣霧與水的運送、以及彈性且配方全程式控制的處理
程序等。除此之外，其模組化設計還能提供多種處理腔類型，可透過模組擴充來提高機
台最大產能。
此外，ORION系統密閉式處理腔設計也可解決多項前段製程的關鍵淨潔問題；它可以使
用各種易揮發、高反應的化學作用，以單一工序、全溼法去除在32nm元件製造產生的高
劑量離子佈植光阻，而藉由免除灰化製程，不僅可減少基材耗損量，更可降低製程週期
、製程複雜性以及製程設備與工序。
【在 m*z 的大作中提到】
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: TA上我更看好FSII,近一年来成交量不断放大, 感觉越来越多的机构在吸货.
| e*n
发帖数: 1511 | 4 2007年的文章：
目前，国际上掌握超凝态过冷动力学清洗技术并应用该技术生产的清洗设备基本上被
FSI公司所垄断。
3.2 超凝态过冷动力学清洗
运用氩和氮的悬浮来清洗，是一种干法气相无感光系统，不会损坏薄膜层，环境的影响
小，除了无毒、无污染性，不易燃等优点外，还具有廉价并易于操作的特点。气雾与晶
圆表面污染粒子相撞将动能传递到污染粒子上，当该能量大于污染粒子与晶圆表面的附
着能时，污染粒子便脱离晶圆表面，携带被排走。清洗方法使用的是惰性气体，可以安
全的置于IC生产线的任何地方。此类清洗设备以超凝态过冷动力学为技术核心，可用于
清洗集成电路关键尺寸在90nm以下、片径φ200－300mm的晶圆，单片清洗，具有很高自
动化程度。该清洗工艺的典型插入点为淀积前后清洗、CMP后清洗、刻蚀后清洗以及在
线电子质量测量后清洗，应对各种与扩散前清洗相关的挑战、前段制造光刻胶剥离和去
胶灰化后清洗、后段制造去胶灰化后清洗和尘埃去除等，目前，国际上掌握超凝态过冷
动力学清洗技术并应用该技术生产的清洗设备基本上被FSI公司所垄断。
【在 m*z 的大作中提到】
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| N***i
发帖数: 2063 | |
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