国家科技重大专项专家调研清华重大专项进展情况 - THU版

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国家科技重大专项专家调研清华重大专项进展情况
【新闻中心讯】3月29日上午，国家科技重大专项02专项咨询专家委委员会、总体
专家组责任专家一行15人来到清华大学，就02重大专项清华大学主持的项目实施进展情
况进行现场调研。清华大学副校长康克军介绍了清华大学承担重大专项的情况以及学校
所采取的体制机制改革的举措。
02重大专项清华大学项目负责人、精仪系朱煜教授代表项目组向咨询委汇报了项目
总体进展、核心单元技术的突破、原理样机与工程样机的研发成果、整体研发规划、项
目管理与风险控制、人才培养与平台建设等情况。并陪同专项咨询委员与责任专家来到
精仪系 IC装备研究室，参观使用中的100平米以及在建中500平米净化工作间、常温实
验室、精密研磨车间等实验环境，实地考察了单元验证样机、试验系统，观看系统控制
的演示，并详尽回答了咨询委关于技术与管理方面的问题。
专项咨询委主任马俊如代表02专项咨询委肯定了清华大学对专项的重视与管理，积
极评价了项目进度、已取得的突出成果、突破的核心技术，认为通过现场实地考察，看
到了项目实施卓有成效，关键装置验证结果达到了既定指标，对技术风险的分析和对策
切合

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