p***e
发帖数: 402 | 1 飞秒激光微加工的精度拒我所知,也就一两百纳米,用阿秒激光的话,是不是能达到一二
十个甚至一两纳米的精度? 那么,成像,
光束聚焦这些问题该怎么解决?貌似我见过的最高放大倍数的物镜也就一百倍而已,现在
还有更高倍数的物镜吗?例如一千倍
以上的物镜? | s****t
发帖数: 1049 | 2 阿秒脉冲的频率在紫外，透射光学组件吸收很厉害，聚焦都是用镀金膜的凹面镜，不用
透射元件聚焦，光束损失很大。而且从产生机制上讲，通过hhg产生的阿秒脉冲强度非
常弱，测量一次就没了，没法用到后续加工。
另外飞秒因为飞秒作用时间段，热效应小，加工精度高，但如果作用时间太短，可能起
不到加工的作用，所以不是脉冲越短精度越高能无限的推理下去。
加工精度还跟光学分辨率有关，受到衍射极限的限制，一般都从光束设计入手解决更高
精度的加工问题，比如用双色激光，类似STED的方案做加工 |
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