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l**T
发帖数: 19
1
【 以下文字转载自 ME 讨论区 】
发信人: lowT (lowT), 信区: ME
标 题: 请教个FIB的问题.
发信站: BBS 未名空间站 (Mon Mar 14 23:19:14 2011, 美东)
我在用FIB做contact,发现用FIB沉积的线电阻很大,远大于样品的电阻,导致测量非常困
难.
有用过FIB的前辈,给点建议吧..
a*******n
发帖数: 41
2
你测量的是什么样品呢,其电阻很小把?
l**T
发帖数: 19
3
是nanowire

【在 a*******n 的大作中提到】
: 你测量的是什么样品呢,其电阻很小把?
R***n
发帖数: 733
4
试一试EBID呢?
1 (共1页)
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