c**y
发帖数: 99 | 1 退火条件是750 C,氮气气氛，时间3分钟。退火后整个电极表面出现了许多鼓包。
是什么原因，如何解决该问题？ |
x*******2
发帖数: 5333 | 2 应该是thermal expansion和里面的材料不一致吧，我想你应该是镀的金的薄膜？ |
s******x
发帖数: 15232 | 3 是帮你PATTERN电极的人没有把LITHOGRAPHY的RESIST的RESIDUE清除。 |
b******o
发帖数: 110 | 4 thermal expansion的效应不会这么明显，应该是develop那步没有弄干净 |
s******x
发帖数: 15232 | 5 DEVELOP得再好，有的RESIST也一定会有RESIDUE的
【在 b******o 的大作中提到】
: thermal expansion的效应不会这么明显，应该是develop那步没有弄干净
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m****r
发帖数: 29 | 6 请问有什么方法把resist的residue除去，而不破坏pattern |
e******g
发帖数: 461 | 7 de-scum, O2
【在 m****r 的大作中提到】
: 请问有什么方法把resist的residue除去，而不破坏pattern
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