请教大牛：怎样刻蚀 hi-K 介质（Hafnium Oxide) - NanoST版 - 未名存档

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NanoST版 - 请教大牛：怎样刻蚀 hi-K 介质（Hafnium Oxide)

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m****o 发帖数: 264	1 保护层是PMMA 或者 Photoresist 多谢!
v*****m 发帖数: 66	2 you need to use hard mask like Cr. then use ICP. 【在 m****o 的大作中提到】 : 保护层是PMMA 或者 Photoresist : 多谢!

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