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m****o
发帖数: 264
1
保护层是PMMA 或者 Photoresist
多谢!
v*****m
发帖数: 66
2
you need to use hard mask like Cr. then use ICP.
【在 m****o 的大作中提到】
: 保护层是PMMA 或者 Photoresist
: 多谢!
1
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* 这里只显示发帖超过25的版面,努力灌水吧:-)
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