j*******8
发帖数: 4 | 1 想要wet etch 在玻璃上的ITO，etchant 应该是HCl, 但不知道具体与H2O的比率是多少
？etching rate 是多少？温度有没有限制？是否也etch玻璃.
如果大侠有更好的recipe就更好了．
谢谢 | j********1
发帖数: 628 | 2 My experience is that it takes about 15-20 minutes to etch away (determined
by conductivity) 150 nm ITO (sputtered) film at room temperature with
diluted HCl (10%). HCl does not etch glass.
【在 j*******8 的大作中提到】
: 想要wet etch 在玻璃上的ITO，etchant 应该是HCl, 但不知道具体与H2O的比率是多少
: ？etching rate 是多少？温度有没有限制？是否也etch玻璃.
: 如果大侠有更好的recipe就更好了．
: 谢谢
| c********2
发帖数: 361 | 3 50% HCl plus Zn powder, etch off ITO in minutes |
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