21世纪的硅微电子学 - NanoST版

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NanoST版 - 21世纪的硅微电子学

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m******i
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作者简介王阳元，1935年生，微电子学家。浙江宁波人。1958年北京大学物理系毕业
。北京大学微电子学研究所教授。中国科学院院士。
摘　要　本文展望了21世纪微电子技术的发展趋势。认为： 21世纪初的微电子技
术仍将以硅基CMOS电路为主流工艺，但将突破目前所谓的物理“限制”，继续快速发展
；集成电路将逐步发展成为集成系统；微电子技术将与其它技术结合形成一系列新的增
长点，例如微机电系统（MEMS）、DNA芯片等。具体地讲，SOC设计技术、超微细光刻技
术、虚拟工厂技术、铜互连及低K互连绝缘介质、高K栅绝缘介质和栅工程技术、SOI技
术等将在近几年内得到快速发展。21世纪将是我国微电子产业的黄金时代。
关键词　微电子技术　集成系统　微机电系统　DNA芯片
1 引　言
综观人类社会发展的文明史，一切生产方式和生活方式的重大变革都是由于新的科
学发现和新技术的产生而引发的，科学技术作为革命的力量，推动着人类社会向前发展
。从50多年前晶体管的发明到目前微电子技术成为整个信息社会的基础和核心的发展历
史充分证明了“科学技术是第一生产力”。信息是客观事物状态和运动特征的一种普遍
形式，与材料

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