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- 河南ASML光刻机对大陆其它省份的技术封锁
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P****R
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每台售价超过1亿欧元的EUV光刻机,ASML卖了18台
每每提到半导体行业发展,免不了要说下中国最近两年发展集成电路的决心之强、投资
之大,国内公司对人才也求贤若渴,不惜高薪挖人,但在关键技术上,我们落后欧美公
司还是挺多的,特别是在半导体制造装备上,先进的光刻机还被欧美封锁,有钱也买不
到。
进入10nm工艺节点之后,EUV光刻机越来越重要,全球能产EUV光刻机的就是荷兰ASML公
司了,他们总共卖出18台EUV光刻机,总价值超过20亿欧元,折合每套系统售价超过1亿
欧元,可谓价值连城。
纳米(符号 nm,英式英文:nanometre、美式英文:nanometer,字首 nano 在希腊文
中的原意是“侏儒”的意思),是一个长度单位,指1米的十亿分之一(10-9m)。
现时很多材料的微观尺度多以纳米为单位,如半导体制程标准在2000年代以后大多是以
纳米表示。
光刻工艺需要光刻机,全球有能力生产光刻机的公司不多,日本尼康、佳能也有这方面
的技术,但目前只能混迹低端市场,能玩转高端市场、特别是EUV光刻机的只有荷兰
ASML公司了,这也是Intel、TSMC、三星等晶圆厂都在争取的新一代生产装备。
该公司日前发布了2016年财报,全年营收67.95亿欧元,同比增长8%,毛利率44.8%,净
利润14.7亿欧元,同比增长6%。
2016年Q4季度新卖出6台EUV光刻机,如此一来ASML公司售出的EUV光刻机总量就达到了
18台,总价值超过20亿欧元,算下来平均每台设备超过1亿欧元,放在全球来看,单一
设备能达到这个价格的也没几个。
根据ASML公司所说,2017年他们预计交付12套EUV光刻机,芯片厂商大规模量产EUV光刻
工艺预计会在2018年底到2019年初,也就是在7nm节点及之后才会量产EUV工艺。
上海微电子装备提供覆盖前道IC制造90nm节点以上大规模生产所需,包含90nm、110nm
和280nm等不同分辨率节点要求的ArF、KrF及i-line步进扫描投影光刻机。该系列光刻
机可兼容200mm和300mm硅片。
P****R
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P****R
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原来中芯国际的光刻机也是从ASML进口的。
如同中国高铁的轮对,制动,轴承都是进口的一样。
P****R
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根据ASML公司所说,2017年他们预计交付12套EUV光刻机,芯片厂商大规模量产EUV光刻
工艺预计会在2018年底到2019年初,也就是在7nm节点及之后才会量产EUV工艺。
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