C*****4
发帖数: 8585 | 1 我打算以后让孩子去搞光刻机研究，怎么样。。。吨吨吨 |
G****1
发帖数: 8414 | |
h****e
发帖数: 1 | 3 昨天这人是不是你啊？
。。。。
【在 G****1 的大作中提到】
: 先跟医闹学推屁股，光刻机无师自通。
|
b******1
发帖数: 1 | |
C*****4
发帖数: 8585 | 5 你们就不能老老实实讨论一下正经问题吗？
: 先跟医闹学推屁股，光刻机无师自通。
【在 G****1 的大作中提到】
: 先跟医闹学推屁股，光刻机无师自通。
|
T********e
发帖数: 1 | |
C*****4
发帖数: 8585 | 7 光刻是什么原理？用透视光在一块半导体板子上刻东西？
: 当然有关系，起码得有光学透镜吧
【在 b******1 的大作中提到】
: 当然有关系，起码得有光学透镜吧
|
G******g
发帖数: 2275 | 8 我猜更多是机械电子，光源和透镜算光学，也是物理和材料的一部分
【在 C*****4 的大作中提到】
: 我打算以后让孩子去搞光刻机研究，怎么样。。。吨吨吨
|
C*****4
发帖数: 8585 | 9 那到底学哪个专业?物理，电子，材料?
: 我猜更多是机械电子，光源和透镜算光学，也是物理和材料的一部分
【在 G******g 的大作中提到】
: 我猜更多是机械电子，光源和透镜算光学，也是物理和材料的一部分
|
f****i
发帖数: 1 | 10 关系不大
光刻的主要困境在于光源物理，也就是说，如何产生100eV左右能量的纯净光子（相比
普通可见光能量2eV左右），目前用的是原子内层电子跃迁，本质上是中高能原子物理
，今后很可能用加速器驱动的光源，所以属于加速器物理
【在 C*****4 的大作中提到】
: 我打算以后让孩子去搞光刻机研究，怎么样。。。吨吨吨
|
f********h
发帖数: 1 | 11 有掩膜，就是mask，有的地方透光，有的地方不透光。
下面有光刻胶，透光就可以曝光。
和照相机一个原理。
曝光后的光刻胶被冲洗掉露出硅。可以对硅操作。
被留下来光刻胶挡住的硅不受影响。
这样就在硅片上刻出电路。
: 光刻是什么原理？用透视光在一块半导体板子上刻东西？
【在 C*****4 的大作中提到】
: 那到底学哪个专业?物理，电子，材料?
:
:
: 我猜更多是机械电子，光源和透镜算光学，也是物理和材料的一部分
:
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C*****4
发帖数: 8585 | 12 你真是大牛，中国也有高能物理所，怎么就搞不出几纳米的芯片呢，是加速器不行?还
是被刻的板子材料不行?
: 关系不大
: 光刻的主要困境在于光源物理，也就是说，如何产生100eV左右能量的纯净光子
（相比
: 普通可见光能量2eV左右），目前用的是原子内层电子跃迁，本质上是中高能原
子物理
: ，今后很可能用加速器驱动的光源，所以属于加速器物理
【在 f****i 的大作中提到】
: 关系不大
: 光刻的主要困境在于光源物理，也就是说，如何产生100eV左右能量的纯净光子（相比
: 普通可见光能量2eV左右），目前用的是原子内层电子跃迁，本质上是中高能原子物理
: ，今后很可能用加速器驱动的光源，所以属于加速器物理
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C*****4
发帖数: 8585 | 13 你们懂的人为啥不凑一起研究搞出光刻机来呢？那样就大发了
: 有掩膜，就是mask，有的地方透光，有的地方不透光。
: 下面有光刻胶，透光就可以曝光。
: 和照相机一个原理。
: 曝光后的光刻胶被冲洗掉露出硅。可以对硅操作。
: 被留下来光刻胶挡住的硅不受影响。
: 这样就在硅片上刻出电路。
【在 f********h 的大作中提到】
: 有掩膜，就是mask，有的地方透光，有的地方不透光。
: 下面有光刻胶，透光就可以曝光。
: 和照相机一个原理。
: 曝光后的光刻胶被冲洗掉露出硅。可以对硅操作。
: 被留下来光刻胶挡住的硅不受影响。
: 这样就在硅片上刻出电路。
:
:
: 光刻是什么原理？用透视光在一块半导体板子上刻东西？
:
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G****1
发帖数: 8414 | 14 就像原子弹一样，原理很简单，技术很复杂。光刻机比原子弹又复杂多了。
【在 C*****4 的大作中提到】
: 你们懂的人为啥不凑一起研究搞出光刻机来呢？那样就大发了
:
:
: 有掩膜，就是mask，有的地方透光，有的地方不透光。
:
: 下面有光刻胶，透光就可以曝光。
:
: 和照相机一个原理。
:
: 曝光后的光刻胶被冲洗掉露出硅。可以对硅操作。
:
: 被留下来光刻胶挡住的硅不受影响。
:
: 这样就在硅片上刻出电路。
:
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I****e
发帖数: 7742 | 15 光刻机是唯一的没办法用dual vendor stragey的半导体设备
赢者通吃
【在 C*****4 的大作中提到】
: 你们懂的人为啥不凑一起研究搞出光刻机来呢？那样就大发了
:
:
: 有掩膜，就是mask，有的地方透光，有的地方不透光。
:
: 下面有光刻胶，透光就可以曝光。
:
: 和照相机一个原理。
:
: 曝光后的光刻胶被冲洗掉露出硅。可以对硅操作。
:
: 被留下来光刻胶挡住的硅不受影响。
:
: 这样就在硅片上刻出电路。
:
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h****e
发帖数: 1 | 16 关键不是光源
是精度
最核心的也不是光源
还是镜头。。
: 你们懂的人为啥不凑一起研究搞出光刻机来呢？那样就大发了
【在 C*****4 的大作中提到】
: 你们懂的人为啥不凑一起研究搞出光刻机来呢？那样就大发了
:
:
: 有掩膜，就是mask，有的地方透光，有的地方不透光。
:
: 下面有光刻胶，透光就可以曝光。
:
: 和照相机一个原理。
:
: 曝光后的光刻胶被冲洗掉露出硅。可以对硅操作。
:
: 被留下来光刻胶挡住的硅不受影响。
:
: 这样就在硅片上刻出电路。
:
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C*****4
发帖数: 8585 | 17 班上你是唯一宣称自己能造光刻机的吧，你咋不给科普科普一点皮毛
: 昨天这人是不是你啊？
: 。。。。
【在 h****e 的大作中提到】
: 关键不是光源
: 是精度
: 最核心的也不是光源
: 还是镜头。。
:
:
: 你们懂的人为啥不凑一起研究搞出光刻机来呢？那样就大发了
:
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f****i
发帖数: 1 | 18 党妈不给钱，弄个屁啊
【在 C*****4 的大作中提到】
: 你真是大牛，中国也有高能物理所，怎么就搞不出几纳米的芯片呢，是加速器不行?还
: 是被刻的板子材料不行?
:
:
: 关系不大
:
: 光刻的主要困境在于光源物理，也就是说，如何产生100eV左右能量的纯净光子
: （相比
:
: 普通可见光能量2eV左右），目前用的是原子内层电子跃迁，本质上是中高能原
: 子物理
:
: ，今后很可能用加速器驱动的光源，所以属于加速器物理
:
|
h****e
发帖数: 1 | 19 原理很简单stepper
就个缩放，四比一。
其他都是控制 精度 超净
: 班上你是唯一宣称自己能造光刻机的吧，你咋不给科普科普一点皮毛
:
【在 C*****4 的大作中提到】
: 班上你是唯一宣称自己能造光刻机的吧，你咋不给科普科普一点皮毛
:
:
: 昨天这人是不是你啊？
:
: 。。。。
:
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C*****4
发帖数: 8585 | 20 你也是，你可以召集一帮黄人在美国成立个公司把光刻机研究出来，不光美帝大把捞钱
，中国也会求着你回去了，你现在啥也没干，天天逼叨逼叨中国不要你，中国凭什么要
你，这楼里懂光刻机的也不止你一个
: 关键不是光源
: 是精度
: 最核心的也不是光源
: 还是镜头。。
【在 h****e 的大作中提到】
: 原理很简单stepper
: 就个缩放，四比一。
: 其他都是控制 精度 超净
:
:
: 班上你是唯一宣称自己能造光刻机的吧，你咋不给科普科普一点皮毛
:
:
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f********h
发帖数: 1 | 21 弃婴同学是书本知识。
书是在半导体工厂端过一盒子硅片。
书不能确定弃婴关于光源说得对不对。
但是起码掩膜，光刻胶，精密的机械是绝对少不了。
中国在10nm级别的以上目前肯定没戏。 |
C*****4
发帖数: 8585 | 22 搞风投啊，中国也有不少公司拿光刻机名头骗钱
: 党妈不给钱，弄个屁啊
【在 f****i 的大作中提到】
: 党妈不给钱，弄个屁啊
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n********t
发帖数: 21 | 23 为啥蔡司的镜头能磨得这么好？
【在 h****e 的大作中提到】
: 关键不是光源
: 是精度
: 最核心的也不是光源
: 还是镜头。。
:
:
: 你们懂的人为啥不凑一起研究搞出光刻机来呢？那样就大发了
:
|
C*****4
发帖数: 8585 | 24 就因为中国目前没戏，你们这帮笨蛋不抓住机会赶紧开公司
: 弃婴同学是书本知识。
: 书是在半导体工厂端过一盒子硅片。
: 书不能确定弃婴关于光源说得对不对。
: 但是起码掩膜，光刻胶，精密的机械是绝对少不了。
: 中国在10nm级别的以上目前肯定没戏。
【在 f********h 的大作中提到】
: 弃婴同学是书本知识。
: 书是在半导体工厂端过一盒子硅片。
: 书不能确定弃婴关于光源说得对不对。
: 但是起码掩膜，光刻胶，精密的机械是绝对少不了。
: 中国在10nm级别的以上目前肯定没戏。
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p**********e
发帖数: 64 | 25 这是一个长期技术积累的过程。
【在 n********t 的大作中提到】
: 为啥蔡司的镜头能磨得这么好？
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h****e
发帖数: 1 | 26 多年的经验积累吧
就是个屋子里各种测量磨呗。。
这种事情美国一般也不会让老中干
长春光机所干这个
关键东西还得靠主席留下来的
: 为啥蔡司的镜头能磨得这么好？
【在 n********t 的大作中提到】
: 为啥蔡司的镜头能磨得这么好？
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f****i
发帖数: 1 | 27 搞笑
中国光刻的所有困境都来自光源物理
28nm的做不了ArF准分子激光器
euv的就更别提了
机械部分光学部分有多年研究，问题倒不大
光源物理这方面中国一片空白
【在 f********h 的大作中提到】
: 弃婴同学是书本知识。
: 书是在半导体工厂端过一盒子硅片。
: 书不能确定弃婴关于光源说得对不对。
: 但是起码掩膜，光刻胶，精密的机械是绝对少不了。
: 中国在10nm级别的以上目前肯定没戏。
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h****e
发帖数: 1 | 28 有回去的
还不要我
估计不是光源问题。
: 搞笑
: 中国光刻的所有困境都来自光源物理
: 28nm的做不了ArF准分子激光器
: euv的就更别提了
: 机械部分光学部分有多年研究，问题倒不大
: 光源物理这方面中国一片空白
【在 f****i 的大作中提到】
: 搞笑
: 中国光刻的所有困境都来自光源物理
: 28nm的做不了ArF准分子激光器
: euv的就更别提了
: 机械部分光学部分有多年研究，问题倒不大
: 光源物理这方面中国一片空白
|
I****e
发帖数: 7742 | 29 镜头成像畸变校准就没几个中国人会做
【在 h****e 的大作中提到】
: 原理很简单stepper
: 就个缩放，四比一。
: 其他都是控制 精度 超净
:
:
: 班上你是唯一宣称自己能造光刻机的吧，你咋不给科普科普一点皮毛
:
:
|
f****i
发帖数: 1 | 30 中国人都是一窝风学CS，以前是一窝凤学管理，
基本上没人学hard core的基础科学
你妈，都是私人老板了，人自己不会管理，要请你管？太搞笑了 |
a*******g
发帖数: 3500 | 31 功利主义
而且是那种特别傻叉一眼被人看出来的功利主义
: 中国人都是一窝风学CS，以前是一窝凤学管理，
: 基本上没人学hard core的基础科学
: 你妈，都是私人老板了，人自己不会管理，要请你管？太搞笑了
【在 f****i 的大作中提到】
: 中国人都是一窝风学CS，以前是一窝凤学管理，
: 基本上没人学hard core的基础科学
: 你妈，都是私人老板了，人自己不会管理，要请你管？太搞笑了
|
f****i
发帖数: 1 | 32 中国不差
比如平场望远镜，你妈奥地利丝袜佬夫死机全球第一，中国一堆乡镇企业全球第二梯队
什么大日本帝国的Nikon Fuji,德国的zeiss leica，屁都没吃到
【在 I****e 的大作中提到】
: 镜头成像畸变校准就没几个中国人会做
|
G******g
发帖数: 2275 | 33 如果准分子激光器的介质是ArF，那跃迁的电子状态可以确定了，剩下的就是大量实验
了？温度密度电压掺杂，跟找催化剂一样来回炒菜
【在 f****i 的大作中提到】
: 搞笑
: 中国光刻的所有困境都来自光源物理
: 28nm的做不了ArF准分子激光器
: euv的就更别提了
: 机械部分光学部分有多年研究，问题倒不大
: 光源物理这方面中国一片空白
|
d*******p
发帖数: 1559 | 34 中国搞什么10nm以下，这不是天方夜谈吗？为什么不好好的把90nm技术吃透？用90nm技
术的芯片也不耽误上网看片吧。
【在 f********h 的大作中提到】
: 弃婴同学是书本知识。
: 书是在半导体工厂端过一盒子硅片。
: 书不能确定弃婴关于光源说得对不对。
: 但是起码掩膜，光刻胶，精密的机械是绝对少不了。
: 中国在10nm级别的以上目前肯定没戏。
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C*****4
发帖数: 8585 | 35 那现在学这个光源物理还来得及不，不算一窝风吧
: 中国人都是一窝风学CS，以前是一窝凤学管理，
: 基本上没人学hard core的基础科学
: 你妈，都是私人老板了，人自己不会管理，要请你管？太搞笑了
【在 f****i 的大作中提到】
: 中国不差
: 比如平场望远镜，你妈奥地利丝袜佬夫死机全球第一，中国一堆乡镇企业全球第二梯队
: 什么大日本帝国的Nikon Fuji,德国的zeiss leica，屁都没吃到
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I****e
发帖数: 7742 | 36 可以搞出来50pm rms的镜片了？
【在 f****i 的大作中提到】
: 中国不差
: 比如平场望远镜，你妈奥地利丝袜佬夫死机全球第一，中国一堆乡镇企业全球第二梯队
: 什么大日本帝国的Nikon Fuji,德国的zeiss leica，屁都没吃到
|
I****e
发帖数: 7742 | 37 老老实实学物理就好
现在就一头扎进细分里面 到最后十有八九被费掉
【在 C*****4 的大作中提到】
: 那现在学这个光源物理还来得及不，不算一窝风吧
:
:
: 中国人都是一窝风学CS，以前是一窝凤学管理，
:
: 基本上没人学hard core的基础科学
:
: 你妈，都是私人老板了，人自己不会管理，要请你管？太搞笑了
:
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C*****4
发帖数: 8585 | 38 不是都28纳米了吗，咋还没吃透90纳米?
: 中国搞什么10nm以下，这不是天方夜谈吗？为什么不好好的把90nm技术吃透？用
90nm技
: 术的芯片也不耽误上网看片吧。
【在 d*******p 的大作中提到】
: 中国搞什么10nm以下，这不是天方夜谈吗？为什么不好好的把90nm技术吃透？用90nm技
: 术的芯片也不耽误上网看片吧。
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I****e
发帖数: 7742 | 39 你去上微官网去找找看 能不能找到28纳米光刻机卖货广告
【在 C*****4 的大作中提到】
: 不是都28纳米了吗，咋还没吃透90纳米?
:
:
: 中国搞什么10nm以下，这不是天方夜谈吗？为什么不好好的把90nm技术吃透？用
: 90nm技
:
: 术的芯片也不耽误上网看片吧。
:
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C*****4
发帖数: 8585 | 40 细分肯定要博士阶段去搞吧，现在先知道个大方向，你们说物理我就心里有谱了，反正
不是搞化学，哈哈哈
: 老老实实学物理就好
: 现在就一头扎进细分里面 到最后十有八九被费掉
【在 I****e 的大作中提到】
: 你去上微官网去找找看 能不能找到28纳米光刻机卖货广告
|
C*****4
发帖数: 8585 | 41 我啥都不懂，只是大概听说28这个数字
: 你去上微官网去找找看 能不能找到28纳米光刻机卖货广告
【在 I****e 的大作中提到】
: 你去上微官网去找找看 能不能找到28纳米光刻机卖货广告
|
f****i
发帖数: 1 | 42 你妈
涉及很多细节，别人不说你根本不知道
比如用离心机浓缩铀235,伊朗人吭哧吭哧搞了几十年，屁都没浓缩出来
现在盛传离心机的cascading理论有问题，很可能根本就是理论上不能实现，而不是工
艺问题工程问题
你妈，你不从事研究，你懂个屁，最多象伊朗搞离心机那样
【在 G******g 的大作中提到】
: 如果准分子激光器的介质是ArF，那跃迁的电子状态可以确定了，剩下的就是大量实验
: 了？温度密度电压掺杂，跟找催化剂一样来回炒菜
|
I****e
发帖数: 7742 | 43 化学涉及的也很多 现在euv光刻胶只有日本能造出来。
再者现在高端光刻机都是要跟光刻材料一起做co-optimization. 不同化学机理的光刻
胶曝光 对光刻机曝光需求都不一样
【在 C*****4 的大作中提到】
: 细分肯定要博士阶段去搞吧，现在先知道个大方向，你们说物理我就心里有谱了，反正
: 不是搞化学，哈哈哈
:
:
: 老老实实学物理就好
:
: 现在就一头扎进细分里面 到最后十有八九被费掉
:
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f****i
发帖数: 1 | 44 28nm这设备党妈就是卡死在光源物理上
当年大日本帝国也是卡死在光源物理上
你别看ArF好像很简单，其实关键细节人家不说，你按公开版本就是达不到所需的功率，
得自己研究
【在 I****e 的大作中提到】
: 你去上微官网去找找看 能不能找到28纳米光刻机卖货广告
|
l****g
发帖数: 5080 | 45 为啥北朝鲜，巴基斯坦，印度都搞出来了？伊朗人挺聪明的啊，不明所以。
【在 f****i 的大作中提到】
: 你妈
: 涉及很多细节，别人不说你根本不知道
: 比如用离心机浓缩铀235,伊朗人吭哧吭哧搞了几十年，屁都没浓缩出来
: 现在盛传离心机的cascading理论有问题，很可能根本就是理论上不能实现，而不是工
: 艺问题工程问题
: 你妈，你不从事研究，你懂个屁，最多象伊朗搞离心机那样
|
f****i
发帖数: 1 | 46 北朝鲜有亲爹，巴基有干爹，印度也有干爹
能一样吗
【在 l****g 的大作中提到】
: 为啥北朝鲜，巴基斯坦，印度都搞出来了？伊朗人挺聪明的啊，不明所以。
|
l****g
发帖数: 5080 | 47 就是要不停的做，不停地试。人家在不断的挣钱，就是在不断的研发。任何人也不可能
从无到有两年做出来。不夸张的说，光刻机及其产业链是50年以上不断积累的结果，其
中一些先驱甚至早已倒闭解散了，剩下的都是大浪淘沙的存活精英。
【在 f****i 的大作中提到】
: 你妈
: 涉及很多细节，别人不说你根本不知道
: 比如用离心机浓缩铀235,伊朗人吭哧吭哧搞了几十年，屁都没浓缩出来
: 现在盛传离心机的cascading理论有问题，很可能根本就是理论上不能实现，而不是工
: 艺问题工程问题
: 你妈，你不从事研究，你懂个屁，最多象伊朗搞离心机那样
|
l****g
发帖数: 5080 | 48 所以也得赶紧认个爹。别说，好像认过。后来革命了，把爹抛弃了。
【在 f****i 的大作中提到】
: 北朝鲜有亲爹，巴基有干爹，印度也有干爹
: 能一样吗
|
G******g
发帖数: 2275 | 49 这时候就该Think out of the box，反其道而行之，实验室每个千老沿着一个维度做实
验，生生给做出来
率，
【在 f****i 的大作中提到】
: 28nm这设备党妈就是卡死在光源物理上
: 当年大日本帝国也是卡死在光源物理上
: 你别看ArF好像很简单，其实关键细节人家不说，你按公开版本就是达不到所需的功率，
: 得自己研究
|
t*********u
发帖数: 26311 | 50 居然没有弯道超车？
是工
【在 l****g 的大作中提到】
: 就是要不停的做，不停地试。人家在不断的挣钱，就是在不断的研发。任何人也不可能
: 从无到有两年做出来。不夸张的说，光刻机及其产业链是50年以上不断积累的结果，其
: 中一些先驱甚至早已倒闭解散了，剩下的都是大浪淘沙的存活精英。
|
l****g
发帖数: 5080 | 51 弯道超车都是瞎扯淡。没有近路，就得扎扎实实地研发，最好不停地卖货挣钱，以战养
战才行。靠国家投钱不靠谱，因为不赚钱的最后还得死掉，也是为啥民航飞机反倒费力
。因为做不到最好就死了，好像奥运冠军一样，亚军一样是loser.
【在 t*********u 的大作中提到】
: 居然没有弯道超车？
:
: 是工
|
n********g
发帖数: 6504 | 52 不差钱，娃又有兴趣，Why not。
总比吸毒、啪体、打麻将要好。
【在 C*****4 的大作中提到】
: 我打算以后让孩子去搞光刻机研究，怎么样。。。吨吨吨
|
C*****4
发帖数: 8585 | 53 华为的芯片又是什么概念，几个纳米?我不明白那个荷兰AMD(是这个名字吧)，跟台积电
什么关系，现在大部分新手机用的几个纳米的芯片，都是台积电生产?
: 28nm这设备党妈就是卡死在光源物理上
: 当年大日本帝国也是卡死在光源物理上
: 你别看ArF好像很简单，其实关键细节人家不说，你按公开版本就是达不到所需
的功率，
: 得自己研究
【在 f****i 的大作中提到】
: 北朝鲜有亲爹，巴基有干爹，印度也有干爹
: 能一样吗
|
C*****4
发帖数: 8585 | 54 就是因为差钱啊，想赚个好收入啊，听说CS太卷了，换个方向呗
: 不差钱，娃又有兴趣，Why not。
: 总比吸毒、啪体、打麻将要好。
【在 n********g 的大作中提到】
: 不差钱，娃又有兴趣，Why not。
: 总比吸毒、啪体、打麻将要好。
|
G******g
发帖数: 2275 | 55 听起来您是个推娃的文科大妈
【在 C*****4 的大作中提到】
: 华为的芯片又是什么概念，几个纳米?我不明白那个荷兰AMD(是这个名字吧)，跟台积电
: 什么关系，现在大部分新手机用的几个纳米的芯片，都是台积电生产?
:
:
: 28nm这设备党妈就是卡死在光源物理上
:
: 当年大日本帝国也是卡死在光源物理上
:
: 你别看ArF好像很简单，其实关键细节人家不说，你按公开版本就是达不到所需
: 的功率，
:
: 得自己研究
:
|
e***d
发帖数: 8248 | |
l****g
发帖数: 5080 | 57 最高级的是3nm/4nm的.但最高级的是有风险的。万一厂家良品率不够高，时间就浪费了
。芯片研发得一年时间以上，从开始到最后，在高端的技术节点大概率不能更换，良品
率不高就只能等厂家解决问题。更换技术节点搞不好要用一样多的时间。华为以前就
7nm，比3nm差两代。
【在 C*****4 的大作中提到】
: 华为的芯片又是什么概念，几个纳米?我不明白那个荷兰AMD(是这个名字吧)，跟台积电
: 什么关系，现在大部分新手机用的几个纳米的芯片，都是台积电生产?
:
:
: 28nm这设备党妈就是卡死在光源物理上
:
: 当年大日本帝国也是卡死在光源物理上
:
: 你别看ArF好像很简单，其实关键细节人家不说，你按公开版本就是达不到所需
: 的功率，
:
: 得自己研究
:
|
w**t
发帖数: 592 | 58 最核心的不是透镜，而是一个能慧眼识谢博士的党委书记
【在 h****e 的大作中提到】
: 关键不是光源
: 是精度
: 最核心的也不是光源
: 还是镜头。。
:
:
: 你们懂的人为啥不凑一起研究搞出光刻机来呢？那样就大发了
:
|
I****e
发帖数: 7742 | 59 锡融化成小球掉下来 > CO2激光打靶小球 > 小球离子化产生13.5nm euv光 > euv被光
罩聚焦采集 > 曝光
简单吧
【在 e***d 的大作中提到】
: 谁能科普一下ASML的极紫外光的生成机理？
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l****g
发帖数: 5080 | 60 没有什么搞芯片的专业。这个就是EE专业。EE里面有光学，有通讯，电路设计。想设计
芯片，大概率需要Ph.D， 需要很长的时间才能工作。挣钱比不上CS，同样的程度，去
CS大厂大概率拿EE大厂两倍的包裹。
【在 C*****4 的大作中提到】
: 就是因为差钱啊，想赚个好收入啊，听说CS太卷了，换个方向呗
:
:
: 不差钱，娃又有兴趣，Why not。
:
: 总比吸毒、啪体、打麻将要好。
:
|
n********g
发帖数: 6504 | 61 差钱还是CS好。生化环材是四大天坑。
【在 C*****4 的大作中提到】
: 就是因为差钱啊，想赚个好收入啊，听说CS太卷了，换个方向呗
:
:
: 不差钱，娃又有兴趣，Why not。
:
: 总比吸毒、啪体、打麻将要好。
:
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l**m
发帖数: 1 | 62 其实航天/航空/军工也挺好的，卷的人少。
SpaceX/JPL/NASA/Boeing/Lockheed/Honeywell/Raytheon等等等等
可惜人家不带你小黄人玩啊。
【在 C*****4 的大作中提到】
: 就是因为差钱啊，想赚个好收入啊，听说CS太卷了，换个方向呗
:
:
: 不差钱，娃又有兴趣，Why not。
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: 总比吸毒、啪体、打麻将要好。
:
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f****i
发帖数: 1 | 63 很简单，就是原子内层电子跃迁
普通光源（laser）都是采用原子最外层电子跃迁，但是最外层电子能量有限，比如氢
原子，最外层电子能量13.6eV，所以跃迁最多产生13.6eV能量的光子，没啥用
原子内层电子就不一样了，可以有100多eV甚至200多eV，但是原子内层电子跃迁非常复
杂，电子可以剥离到无穷远，也可以跃迁到外层，所以无法产生纯净光谱
典型原子内层电子跃迁的案例就是日光灯，高压汞灯，高压钠灯，汽车用的HID灯，这
些用热激发内层电子跃迁产生紫外线，再用紫外线激发荧光粉产生2eV左右的可见光。
EUV就是先用高温（激光）电离锡，剥离外层电子，再让内层电子激发产生100eV左右的
紫外线。
但是EUV肯定不是完美结局，因为内层电子跃迁很脏，光谱不纯净，最佳的方案是用加
速器激发固定能量的电子产生辐射光源，这样得到的光子是纯净，完全相干的。
【在 e***d 的大作中提到】
: 谁能科普一下ASML的极紫外光的生成机理？
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C*****4
发帖数: 8585 | 64 我从来不推娃，除了教孩子中文(娃不会中文觉得丢脸)，其他都是睁只眼闭只眼。多了
解点东西让娃能成为中国需要的人才不好吗？
: 听起来您是个推娃的文科大妈
【在 G******g 的大作中提到】
: 听起来您是个推娃的文科大妈
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e***d
发帖数: 8248 | 65 1. 锡小球离子化时，是发生了内层电子的能级跃迁么？
2. 13.5nm euv光是怎么刻出10nm，7nm的？
【在 I****e 的大作中提到】
: 锡融化成小球掉下来 > CO2激光打靶小球 > 小球离子化产生13.5nm euv光 > euv被光
: 罩聚焦采集 > 曝光
: 简单吧
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C*****4
发帖数: 8585 | 66 这也是我考虑的，眼下就是觉得中国芯片技术很急需人才，搞芯片其实也是搞军工一样
，战略地位很重要吧，哈哈哈，不知道咋表达
: 其实航天/航空/军工也挺好的，卷的人少。
: SpaceX/JPL/NASA/Boeing/Lockheed/Honeywell/Raytheon等等等等
: 可惜人家不带你小黄人玩啊。
【在 l**m 的大作中提到】
: 其实航天/航空/军工也挺好的，卷的人少。
: SpaceX/JPL/NASA/Boeing/Lockheed/Honeywell/Raytheon等等等等
: 可惜人家不带你小黄人玩啊。
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a*******g
发帖数: 3500 | 67 离子化应该是剥夺了外层电子 给内层电子跃迁空出轨道。
而且剥夺出的外层电子 应该是会被激光的光子连续激发到更高能量， 这个高能电子去
激发内层电子跃迁。
我是这么理解的 ，因为激光光子的能级不到直接激发内层电子的那个能级。
内层电子往外跃迁不管是 直接跳到对应能级也好 还是楼梯一样一级一级的跳， co2激
光没有那个能级去激发。
所以中间应该有个能级转换步骤。
: 1. 锡小球离子化时，是发生了内层电子的能级跃迁么？
: 2. 13.5nm euv光是怎么刻出10nm，7nm的？
【在 e***d 的大作中提到】
: 1. 锡小球离子化时，是发生了内层电子的能级跃迁么？
: 2. 13.5nm euv光是怎么刻出10nm，7nm的？
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e***d
发帖数: 8248 | 68 哦，原来还有个剥离外层电子的过程
选锡，是因为锡的内层电子跃迁的波长正好符合需求么？
【在 f****i 的大作中提到】
: 很简单，就是原子内层电子跃迁
: 普通光源（laser）都是采用原子最外层电子跃迁，但是最外层电子能量有限，比如氢
: 原子，最外层电子能量13.6eV，所以跃迁最多产生13.6eV能量的光子，没啥用
: 原子内层电子就不一样了，可以有100多eV甚至200多eV，但是原子内层电子跃迁非常复
: 杂，电子可以剥离到无穷远，也可以跃迁到外层，所以无法产生纯净光谱
: 典型原子内层电子跃迁的案例就是日光灯，高压汞灯，高压钠灯，汽车用的HID灯，这
: 些用热激发内层电子跃迁产生紫外线，再用紫外线激发荧光粉产生2eV左右的可见光。
: EUV就是先用高温（激光）电离锡，剥离外层电子，再让内层电子激发产生100eV左右的
: 紫外线。
: 但是EUV肯定不是完美结局，因为内层电子跃迁很脏，光谱不纯净，最佳的方案是用加
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C*****4
发帖数: 8585 | 69 我侄女就是搞材料，不觉得天坑，人家现在研究的是锂电池还是什么的，反正跟新能源
汽车有关，现在火的要命
: 差钱还是CS好。生化环材是四大天坑。
【在 n********g 的大作中提到】
: 差钱还是CS好。生化环材是四大天坑。
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I****e
发帖数: 7742 | 70 1. 对 就是靠CO2激光的能量打成等离子体 等离子体内发生内层电子能级跃迁。技术难
点：CO2能量>EUV 能量效率提高
2. 利用0阶和一阶散射光相干成像 可以得到比波长更低的尺寸 比如193nm 可以成像
76nm周期性图案
参考衍射光学
13.5nm euv光，工业届现在最高解析出来的尺寸是12nm线宽 还有改进空间
【在 e***d 的大作中提到】
: 1. 锡小球离子化时，是发生了内层电子的能级跃迁么？
: 2. 13.5nm euv光是怎么刻出10nm，7nm的？
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l****g
发帖数: 5080 | 71 没问题。我的同学就有去军工的。不过呢，去了自己小心点，回去中国最好不要，得自
觉些，国家安全无小事。那个F23的总设计师好像透露出想去中国的意思就被旅游死了
，凡事小心些就是。
【在 l**m 的大作中提到】
: 其实航天/航空/军工也挺好的，卷的人少。
: SpaceX/JPL/NASA/Boeing/Lockheed/Honeywell/Raytheon等等等等
: 可惜人家不带你小黄人玩啊。
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n********g
发帖数: 6504 | 72 火没啥用。能赚钱才行。
【在 C*****4 的大作中提到】
: 我侄女就是搞材料，不觉得天坑，人家现在研究的是锂电池还是什么的，反正跟新能源
: 汽车有关，现在火的要命
:
:
: 差钱还是CS好。生化环材是四大天坑。
:
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C*****4
发帖数: 8585 | 73 废话，当然赚钱了，cs不火你能赚钱?
: 火没啥用。能赚钱才行。
【在 n********g 的大作中提到】
: 火没啥用。能赚钱才行。
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f****i
发帖数: 1 | 74 不是，是photoionization的截面，也就是内层电子跃迁的可能性比较大
这方面的研究完全采用高能物理的方法，不是普通的原子物理
传统原子内层电子跃迁的主要研究对象是惰性气体，典型案例是氙，或者氪
所以你回顾下，高亮度电光源中用得最普遍的就是氙灯，就是这个道理
氙气先加热到等离子体，剥离外层电子，然后在电子束激发下很容易诱发内层电子跃迁
产生紫外线，再用紫外线激发荧光粉产生极高亮度的照明光源
典型案例就是汽车用的HID氙灯，不过现在被LED淘汰了
【在 e***d 的大作中提到】
: 哦，原来还有个剥离外层电子的过程
: 选锡，是因为锡的内层电子跃迁的波长正好符合需求么？
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f****i
发帖数: 1 | 75 你看汽车用的氙灯，里面很小一个氙气球，先通5000v高压击穿成等离子体，然后降低
到90v用电子激发击穿的氙气产生紫外线，氙气球外面是荧光粉，荧光粉产生可见光
为防止紫外线泄露，外面还有个大的石英罩，用来隔绝紫外线
所以氙灯不能用于室内照明，只能来做车灯路灯，因为紫外线会损伤视网膜。 |
e***d
发帖数: 8248 | 76 所以，InBLue所谓的锡小球，只是个形象化的说法，其实是锡蒸气
就像高压汞灯里的汞蒸气、高压钠灯里的钠蒸气一样，是吧
【在 f****i 的大作中提到】
: 你看汽车用的氙灯，里面很小一个氙气球，先通5000v高压击穿成等离子体，然后降低
: 到90v用电子激发击穿的氙气产生紫外线，氙气球外面是荧光粉，荧光粉产生可见光
: 为防止紫外线泄露，外面还有个大的石英罩，用来隔绝紫外线
: 所以氙灯不能用于室内照明，只能来做车灯路灯，因为紫外线会损伤视网膜。
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I****e
发帖数: 7742 | 77 当然是真的是小球啦
小球融化从针尖掉下来 跟泪珠一样
CO2激光脉冲就是校准打在这一个个锡小球上 把小球拍扁平成一个小disk 增加受能面
积 离子化 进而产生内层电子跃迁
这么说形象了吧， 中国人不骗中国人 lol
【在 e***d 的大作中提到】
: 所以，InBLue所谓的锡小球，只是个形象化的说法，其实是锡蒸气
: 就像高压汞灯里的汞蒸气、高压钠灯里的钠蒸气一样，是吧
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f****i
发帖数: 1 | 78 是的
丫屁都不懂
【在 e***d 的大作中提到】
: 所以，InBLue所谓的锡小球，只是个形象化的说法，其实是锡蒸气
: 就像高压汞灯里的汞蒸气、高压钠灯里的钠蒸气一样，是吧
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e***d
发帖数: 8248 | 79 可以了，LOL
为什么选锡而不是其它元素？
【在 I****e 的大作中提到】
: 当然是真的是小球啦
: 小球融化从针尖掉下来 跟泪珠一样
: CO2激光脉冲就是校准打在这一个个锡小球上 把小球拍扁平成一个小disk 增加受能面
: 积 离子化 进而产生内层电子跃迁
: 这么说形象了吧， 中国人不骗中国人 lol
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I****e
发帖数: 7742 | 80 你懂个屁的euv 看懂这是什么了吗
【在 f****i 的大作中提到】
: 是的
: 丫屁都不懂
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m*****e
发帖数: 1506 | 81 锂电池绝对大坑一个
都commoditized了
现在就是要降成本
生产一定要放到厉害国
【在 C*****4 的大作中提到】
: 我侄女就是搞材料，不觉得天坑，人家现在研究的是锂电池还是什么的，反正跟新能源
: 汽车有关，现在火的要命
:
:
: 差钱还是CS好。生化环材是四大天坑。
:
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f****i
发帖数: 1 | 82 为什么选锡而不是传统的惰性元素，比如最有前途的氙，或者氪，
羊大爷避而不谈，从来没有任何paper中讨论过这个理论基础
我非常了解这个行业的理论研究，从80年代开始都是集中在氪和氙上面，从来没人关注
过锡，
锡是突然冒出来的
【在 e***d 的大作中提到】
: 可以了，LOL
: 为什么选锡而不是其它元素？
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I****e
发帖数: 7742 | 83 能级 能量密度 还有 能量转换效率
主要是工业化生产经济性考虑
【在 e***d 的大作中提到】
: 可以了，LOL
: 为什么选锡而不是其它元素？
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f****i
发帖数: 1 | 84 所以我说你屁都不懂
你就能“形象”地说几句，你根本不知道背后的理论基础
其实羊大爷“公开”的玩意，跟真正的玩意，是不一样的
典型案例是离心机，你妈伊朗吭哧吭哧干了20年，屁都没干出来
羊大爷一面使劲制裁，一面估计笑得不行了
【在 I****e 的大作中提到】
: 能级 能量密度 还有 能量转换效率
: 主要是工业化生产经济性考虑
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C*****4
发帖数: 8585 | 85 本来就是在国内啊，在企业搞研发，每年股票分红很不少
: 锂电池绝对大坑一个
: 都commoditized了
: 现在就是要降成本
: 生产一定要放到厉害国
【在 m*****e 的大作中提到】
: 锂电池绝对大坑一个
: 都commoditized了
: 现在就是要降成本
: 生产一定要放到厉害国
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I****e
发帖数: 7742 | 86 被打脸了就转进 真tmd没意思
【在 f****i 的大作中提到】
: 所以我说你屁都不懂
: 你就能“形象”地说几句，你根本不知道背后的理论基础
: 其实羊大爷“公开”的玩意，跟真正的玩意，是不一样的
: 典型案例是离心机，你妈伊朗吭哧吭哧干了20年，屁都没干出来
: 羊大爷一面使劲制裁，一面估计笑得不行了
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W**********t
发帖数: 1764 | 87 锡容易气化？频谱特征刚好？
【在 f****i 的大作中提到】
: 为什么选锡而不是传统的惰性元素，比如最有前途的氙，或者氪，
: 羊大爷避而不谈，从来没有任何paper中讨论过这个理论基础
: 我非常了解这个行业的理论研究，从80年代开始都是集中在氪和氙上面，从来没人关注
: 过锡，
: 锡是突然冒出来的
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C*****4
发帖数: 8585 | 88 看来聊技术的帖子还是比较和谐的，老将小将们没吵起来 |
k**1
发帖数: 1955 | 89 EUV不用透镜， 用反光镜。 因为没有光学材料可以透12.5nm的光。
【在 b******1 的大作中提到】
: 当然有关系，起码得有光学透镜吧
|
A******u
发帖数: 100 | 90 他们凑在一起，除了扯D，只能撕B
【在 C*****4 的大作中提到】
: 你们懂的人为啥不凑一起研究搞出光刻机来呢？那样就大发了
:
:
: 有掩膜，就是mask，有的地方透光，有的地方不透光。
:
: 下面有光刻胶，透光就可以曝光。
:
: 和照相机一个原理。
:
: 曝光后的光刻胶被冲洗掉露出硅。可以对硅操作。
:
: 被留下来光刻胶挡住的硅不受影响。
:
: 这样就在硅片上刻出电路。
:
|
W**********t
发帖数: 1764 | 91 cymer怎么弄的光源，你到底搞清楚没？
【在 h****e 的大作中提到】
: 有回去的
: 还不要我
: 估计不是光源问题。
:
:
: 搞笑
:
: 中国光刻的所有困境都来自光源物理
:
: 28nm的做不了ArF准分子激光器
:
: euv的就更别提了
:
: 机械部分光学部分有多年研究，问题倒不大
:
: 光源物理这方面中国一片空白
|
W**********t
发帖数: 1764 | 92 或者说产生不了功率足够大的激光，要不然镜头是现成技术
【在 k**1 的大作中提到】
: EUV不用透镜， 用反光镜。 因为没有光学材料可以透12.5nm的光。
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C*****4
发帖数: 8585 | 93 搞这个比较有意义吧，反正饿不着的话慢慢搞，中国肯定要制造自己的光刻机制造自己
的芯片，可以当理想去追求，CS就没意思了，除了刷题追求大包裹，一不小心被PIP了
: 没有什么搞芯片的专业。这个就是EE专业。EE里面有光学，有通讯，电路设计。
想设计
: 芯片，大概率需要Ph.D， 需要很长的时间才能工作。挣钱比不上CS，同样的程
度，去
: CS大厂大概率拿EE大厂两倍的包裹。
【在 l****g 的大作中提到】
: 没问题。我的同学就有去军工的。不过呢，去了自己小心点，回去中国最好不要，得自
: 觉些，国家安全无小事。那个F23的总设计师好像透露出想去中国的意思就被旅游死了
: ，凡事小心些就是。
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e***d
发帖数: 8248 | 94 所以，InBlue讲的那个聚焦收集euv的光罩，就是个曲面反光镜？
【在 k**1 的大作中提到】
: EUV不用透镜， 用反光镜。 因为没有光学材料可以透12.5nm的光。
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h****e
发帖数: 1 | 95 当然了， 公开资料就有啊， youtube上一堆一堆资料。
【在 W**********t 的大作中提到】
: cymer怎么弄的光源，你到底搞清楚没？
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A******u
发帖数: 100 | 96 太可惜了
【在 f****i 的大作中提到】
: 很简单，就是原子内层电子跃迁
: 普通光源（laser）都是采用原子最外层电子跃迁，但是最外层电子能量有限，比如氢
: 原子，最外层电子能量13.6eV，所以跃迁最多产生13.6eV能量的光子，没啥用
: 原子内层电子就不一样了，可以有100多eV甚至200多eV，但是原子内层电子跃迁非常复
: 杂，电子可以剥离到无穷远，也可以跃迁到外层，所以无法产生纯净光谱
: 典型原子内层电子跃迁的案例就是日光灯，高压汞灯，高压钠灯，汽车用的HID灯，这
: 些用热激发内层电子跃迁产生紫外线，再用紫外线激发荧光粉产生2eV左右的可见光。
: EUV就是先用高温（激光）电离锡，剥离外层电子，再让内层电子激发产生100eV左右的
: 紫外线。
: 但是EUV肯定不是完美结局，因为内层电子跃迁很脏，光谱不纯净，最佳的方案是用加
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h****e
发帖数: 1 | 97 椭球面， 俩焦点啊。。
。。。。
【在 e***d 的大作中提到】
: 所以，InBlue讲的那个聚焦收集euv的光罩，就是个曲面反光镜？
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e***d
发帖数: 8248 | 98 好主意，没想到，还以为是抛物面
【在 h****e 的大作中提到】
: 椭球面， 俩焦点啊。。
: 。。。。
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l**m
发帖数: 1 | 99 6:45处，不过我同意弃大的黑暗想法，关键地方人家不会说，甚至故意说错。
http://m.youtube.com/watch?v=f0gMdGrVteI
【在 e***d 的大作中提到】
: 所以，InBLue所谓的锡小球，只是个形象化的说法，其实是锡蒸气
: 就像高压汞灯里的汞蒸气、高压钠灯里的钠蒸气一样，是吧
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e***d
发帖数: 8248 | 100 这个视频说的是人发半径大小的小锡滴
【在 l**m 的大作中提到】
: 6:45处，不过我同意弃大的黑暗想法，关键地方人家不会说，甚至故意说错。
: http://m.youtube.com/watch?v=f0gMdGrVteI
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I****e
发帖数: 7742 | 101 而且是速度很快的小锡球
锡每次splash之后 附着在collector上面 需要定期清理 要不然就会影响聚光效率。
如何快速清理掉这些锡污染 本身就是机器研发里面很重要的一部分
这些细节上的东西 不是真正做这个的根本不知道
【在 e***d 的大作中提到】
: 这个视频说的是人发半径大小的小锡滴
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e***d
发帖数: 8248 | 102 有没有动态的方法清理？随收随清
或者搞个类似吹风机的玩意，splashed的小锡球还没到达光罩表面
就被吹入专门的收集器里面，还能重复使用
【在 I****e 的大作中提到】
: 而且是速度很快的小锡球
: 锡每次splash之后 附着在collector上面 需要定期清理 要不然就会影响聚光效率。
: 如何快速清理掉这些锡污染 本身就是机器研发里面很重要的一部分
: 这些细节上的东西 不是真正做这个的根本不知道
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l**m
发帖数: 1 | 103 呵呵，你仔细听，是“小~于~人发直径”，另外发射速度他特意略过......
老谢给的资料说锡滴直径30微米。
【在 e***d 的大作中提到】
: 这个视频说的是人发半径大小的小锡滴
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A******u
发帖数: 1279 | 104 为什么会有速度？
【在 I****e 的大作中提到】
: 而且是速度很快的小锡球
: 锡每次splash之后 附着在collector上面 需要定期清理 要不然就会影响聚光效率。
: 如何快速清理掉这些锡污染 本身就是机器研发里面很重要的一部分
: 这些细节上的东西 不是真正做这个的根本不知道
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I****e
发帖数: 7742 | 105 是有物理吹风系统， 还有化学分解成volatile成分带走
所以吹什么气体都是有讲究的
【在 e***d 的大作中提到】
: 有没有动态的方法清理？随收随清
: 或者搞个类似吹风机的玩意，splashed的小锡球还没到达光罩表面
: 就被吹入专门的收集器里面，还能重复使用
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A******u
发帖数: 1279 | 106 锡应该跟焊锡的力学差不多，不好清理吧。说不定是强行加热挥发呢
。
【在 e***d 的大作中提到】
: 有没有动态的方法清理？随收随清
: 或者搞个类似吹风机的玩意，splashed的小锡球还没到达光罩表面
: 就被吹入专门的收集器里面，还能重复使用
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I****e
发帖数: 7742 | 107 液态之后被挤出去的
锡球必须足够快 才能做到准连续激发 提高euv功率
【在 A******u 的大作中提到】
: 为什么会有速度？
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h****e
发帖数: 1 | |
h****e
发帖数: 1 | 109 https://www.spiedigitallibrary.org/ebook/Download?urlId=10.1117%2F3.2305675.
ch3A&downloadType=presschapter&isFullBook=False&isResultClick=True&SSO=1 |
A******u
发帖数: 1279 | 110 哦，你是说要连续挤出液滴。连续辐照一块静止的锡有啥问题？
【在 I****e 的大作中提到】
: 液态之后被挤出去的
: 锡球必须足够快 才能做到准连续激发 提高euv功率
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h****e
发帖数: 1 | 111 http://www.nat.vu.nl/~wimu/PhD-Theses/Dmitry-Kurilovich-Thesis.pdf
感兴趣的看看吧。。 。。。 都是网上公开有的。
土鳖不找合适的人做， 总以为弄几个骗子就做光刻机。
活该浪费无穷经费啥都做不出来。 |
I****e
发帖数: 7742 | 112 等离子化效率太低
【在 A******u 的大作中提到】
: 哦，你是说要连续挤出液滴。连续辐照一块静止的锡有啥问题？
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I****e
发帖数: 7742 | 113 你以为国内看不到这些公开的？
【在 h****e 的大作中提到】
: http://www.nat.vu.nl/~wimu/PhD-Theses/Dmitry-Kurilovich-Thesis.pdf
: 感兴趣的看看吧。。 。。。 都是网上公开有的。
: 土鳖不找合适的人做， 总以为弄几个骗子就做光刻机。
: 活该浪费无穷经费啥都做不出来。
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h****e
发帖数: 1 | 114 看到又如何，
你不做就没有感觉。。懂不？！
钱都给骗子了， 打算一下子就追上去， 土鳖国死在这个弯道超车上。
【在 I****e 的大作中提到】
: 你以为国内看不到这些公开的？
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o****e
发帖数: 417 | 115 熟食。你会的这两块有回去的，至少理论方面有，这方面的人还不止几个
【在 h****e 的大作中提到】
: 有回去的
: 还不要我
: 估计不是光源问题。
:
:
: 搞笑
:
: 中国光刻的所有困境都来自光源物理
:
: 28nm的做不了ArF准分子激光器
:
: euv的就更别提了
:
: 机械部分光学部分有多年研究，问题倒不大
:
: 光源物理这方面中国一片空白
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A******u
发帖数: 1279 | 116 谢谢。听起来好像一个微流器件。
【在 I****e 的大作中提到】
: 等离子化效率太低
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w**********e
发帖数: 1 | 117 同步辐射实验室和光源工程被交给了上海市的南蛮应用物理所，那个鸟地方能做出来啥
？除了一分钱利润的袜子都是都是骗子
[在 Csk2014 (超时空) 的大作中提到：]
:你真是大牛，中国也有高能物理所，怎么就搞不出几纳米的芯片呢，是加速器不行?还
:是被刻的板子材料不行?
:<br>: 关系不大
:<br>: 光刻的主要困境在于光源物理，也就是说，如何产生100eV左右能量的
纯净光子
:（相比
:<br>: 普通可见光能量2eV左右），目前用的是原子内层电子跃迁，本质上是
中高能原
:子物理
:<br>: ，今后很可能用加速器驱动的光源，所以属于加速器物理
:<br> |
w**********e
发帖数: 1 | 118 好比你们南蛮只会做一分钱利润的袜子，连五分钱利润的内裤都不会做
[在 furoci (伊千枝) 的大作中提到：]
:中国人都是一窝风学CS，以前是一窝凤学管理，
:基本上没人学hard core的基础科学
:你妈，都是私人老板了，人自己不会管理，要请你管？太搞笑了 |
f****i
发帖数: 1 | 119 你妈，信羊大爷红口白牙说的，就傻逼了，伊朗就是一个典型的例子
目前来看，只有羊大爷牢牢掌握了光源物理
当年大日本帝国完蛋，也是死在光源物理上面，羊大爷不给大日本帝国ArF激光器，大
日本帝国一夜之间就崩了，到今天还没缓过来
中国10年前就用进口ArF激光器搞出了28nm的样机，美帝一听说立马禁运ArF激光器，你
妈到今天党妈都没搞定，卡死在跟大日本帝国当年一模一样的卡位上
你妈，党妈的EUV光源更是遥遥无期
党妈圈内人的观点，其实跟河北耗子一模一样，认为就是做实验，调个参数，钱扔足了
就一定能成
其实党妈犯了伊朗人一模一样的错误，伊朗折腾了20年，屁原子弹都没搞出来，自己反
倒被制裁了20年，输得裤衩都没了
【在 I****e 的大作中提到】
: 你以为国内看不到这些公开的？
|
f****i
发帖数: 1 | 120 你们北方中国人就像耗子那样，做屁的科研
看看耗子指导小耗子大学选专业就知道了，满脑子就知道钱和利益
从来没有半点奉献精神
【在 w**********e 的大作中提到】
: 同步辐射实验室和光源工程被交给了上海市的南蛮应用物理所，那个鸟地方能做出来啥
: ？除了一分钱利润的袜子都是都是骗子
: [在 Csk2014 (超时空) 的大作中提到：]
: :你真是大牛，中国也有高能物理所，怎么就搞不出几纳米的芯片呢，是加速器不行?还
: :是被刻的板子材料不行?
: :<br>: 关系不大
: :<br>: 光刻的主要困境在于光源物理，也就是说，如何产生100eV左右能量的
: 纯净光子
: :（相比
: :<br>: 普通可见光能量2eV左右），目前用的是原子内层电子跃迁，本质上是
|
I****e
发帖数: 7742 | 121 lol 你这么悲愤干嘛
【在 f****i 的大作中提到】
: 你妈，信羊大爷红口白牙说的，就傻逼了，伊朗就是一个典型的例子
: 目前来看，只有羊大爷牢牢掌握了光源物理
: 当年大日本帝国完蛋，也是死在光源物理上面，羊大爷不给大日本帝国ArF激光器，大
: 日本帝国一夜之间就崩了，到今天还没缓过来
: 中国10年前就用进口ArF激光器搞出了28nm的样机，美帝一听说立马禁运ArF激光器，你
: 妈到今天党妈都没搞定，卡死在跟大日本帝国当年一模一样的卡位上
: 你妈，党妈的EUV光源更是遥遥无期
: 党妈圈内人的观点，其实跟河北耗子一模一样，认为就是做实验，调个参数，钱扔足了
: 就一定能成
: 其实党妈犯了伊朗人一模一样的错误，伊朗折腾了20年，屁原子弹都没搞出来，自己反
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w**********e
发帖数: 1 | 122 耗子女儿早晚嫁人扛不起重任，我相信他儿子到时候上学肯定不会去学计算机了，注定
要学hardcore
[在 furoci (伊千枝) 的大作中提到：]
:你们北方中国人就像耗子那样，做屁的科研
:看看耗子指导小耗子大学选专业就知道了，满脑子就知道钱和利益
:从来没有半点奉献精神 |
f****i
发帖数: 1 | 123 乐观的一般都是屁都不懂的，所以一直傻乐吧？
【在 I****e 的大作中提到】
: lol 你这么悲愤干嘛
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I****e
发帖数: 7742 | 124 那你一直追着耗子骂干啥
耗子不就是一直说国内屁都不懂吹牛逼做不出来
【在 f****i 的大作中提到】
: 乐观的一般都是屁都不懂的，所以一直傻乐吧？
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o****e
发帖数: 417 | 125 土工现在最大毛病是研发机制不行，还是老式的大学研究所的模式，最多搞一搞横向联
合，都是浮于表面，而且开会时候只有头头才敢说话。资金方面也是乱搞，院士钱多得
花不完，小博士想弄得钱干点事情非常难 |
a***e
发帖数: 27968 | 126 尼玛光刻机是个集大成的东西，哪是就光学一样
运动控制，运动速度m/s量级，停下后定位精度1nm，不能瞎抖
典型是一小时200-250片，每片像邮票一样盖几百次一片，
也就是每小时几万次的起停，全年95%时间是在运动的
光学，各种实时检测补偿矫正，定位也是光学的，
光源，高功率单色光，高密度等离子体物理
mask，百亿量级细微结构无缺陷。不说别的，为了纳米精度，你算算1厘米石英温度改
变1度会出现多少热膨胀？
控制算法补偿算法都是高通量的数据流
一台50千万美元的机器是开玩笑的？ |
a***e
发帖数: 27968 | 127 光源功率密度是产业化根本
: 关键不是光源
: 是精度
: 最核心的也不是光源
: 还是镜头。。
【在 h****e 的大作中提到】
: 看到又如何，
: 你不做就没有感觉。。懂不？！
: 钱都给骗子了， 打算一下子就追上去， 土鳖国死在这个弯道超车上。
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h****e
发帖数: 1 | 128 问题就在这里
理论上其实解决不了
需要的是不断做实验摸索
加上理论。
没有实验
理论屁用没有
有了实验
慢慢猜原因
优化
美国就是这么做的
土鳖不做等着偷
活该做不出来。
: 熟食。你会的这两块有回去的，至少理论方面有，这方面的人还不止几个
【在 o****e 的大作中提到】
: 土工现在最大毛病是研发机制不行，还是老式的大学研究所的模式，最多搞一搞横向联
: 合，都是浮于表面，而且开会时候只有头头才敢说话。资金方面也是乱搞，院士钱多得
: 花不完，小博士想弄得钱干点事情非常难
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A******u
发帖数: 1279 | 129 不能并行几个喷嘴提高功率吗？
【在 I****e 的大作中提到】
: 液态之后被挤出去的
: 锡球必须足够快 才能做到准连续激发 提高euv功率
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I****e
发帖数: 7742 | 130 必须在锡小球下落到光罩反射曲面焦点的瞬间用激光轰击小球 这样出来的euv光才能被
收集到光路里面 几个喷嘴很难做到
euv里面最大的问题之一就是要减少shot noise，降低一切可能带来噪音的来源。如果
你几个喷嘴不能做到射出来的频率大小形状完全一样，就会在euv光源里产生很大的
shot noise 根本没法用
【在 A******u 的大作中提到】
: 不能并行几个喷嘴提高功率吗？
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h****e
发帖数: 1 | 131 看来你露馅了。。。。。。。。
: 必须在锡小球下落到光罩反射曲面焦点的瞬间用激光轰击小球 这样出来的euv光
才能被
: 收集到光路里面 几个喷嘴很难做到
: euv里面最大的问题之一就是要减少shot noise，降低一切可能带来噪音的来源
。如果
: 你几个喷嘴不能做到射出来的频率大小形状完全一样，就会在euv光源里产生很
大的
: shot noise 根本没法用
【在 I****e 的大作中提到】
: 必须在锡小球下落到光罩反射曲面焦点的瞬间用激光轰击小球 这样出来的euv光才能被
: 收集到光路里面 几个喷嘴很难做到
: euv里面最大的问题之一就是要减少shot noise，降低一切可能带来噪音的来源。如果
: 你几个喷嘴不能做到射出来的频率大小形状完全一样，就会在euv光源里产生很大的
: shot noise 根本没法用
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I****e
发帖数: 7742 | 132 你看你不早点回去 现在坑都没了
我有个塞毛G8的小兄弟 几年前前回中科院下面的光刻机相关所 现在都已经是国内光刻
机准大佬级别的博导了，时不时就组织国内各种光刻机研讨会。 收获了一群小妹子。
走在路上别人都是尊称x老师
G8在塞毛啥地位你也知道 你看这就是做人的差距 吃那啥都赶不上热的 还一天到晚
jjww 抱怨怀才不遇 活该
【在 h****e 的大作中提到】
: 问题就在这里
: 理论上其实解决不了
: 需要的是不断做实验摸索
: 加上理论。
: 没有实验
: 理论屁用没有
: 有了实验
: 慢慢猜原因
: 优化
: 美国就是这么做的
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I****e
发帖数: 7742 | 133 难怪弃婴说你p都不懂
【在 h****e 的大作中提到】
: 看来你露馅了。。。。。。。。
:
:
: 必须在锡小球下落到光罩反射曲面焦点的瞬间用激光轰击小球 这样出来的euv光
: 才能被
:
: 收集到光路里面 几个喷嘴很难做到
:
: euv里面最大的问题之一就是要减少shot noise，降低一切可能带来噪音的来源
: 。如果
:
: 你几个喷嘴不能做到射出来的频率大小形状完全一样，就会在euv光源里产生很
: 大的
:
: shot noise 根本没法用
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h****e
发帖数: 1 | 134 你扯那么多shot noise 就是说明你不懂。
: 难怪弃婴说你p都不懂
【在 I****e 的大作中提到】
: 难怪弃婴说你p都不懂
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I****e
发帖数: 7742 | 135 嗯 1/SqrtN 我做这个做了几年 不如你在家带孩子的懂
【在 h****e 的大作中提到】
: 你扯那么多shot noise 就是说明你不懂。
:
:
: 难怪弃婴说你p都不懂
:
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h****e
发帖数: 1 | 136 所以说你理论功底不行。
肯定不是好大学毕业的。基本概念不清楚
做十年也没有用
: 嗯 我做这个做了几年 不如你在家带孩子的懂
【在 I****e 的大作中提到】
: 嗯 1/SqrtN 我做这个做了几年 不如你在家带孩子的懂
|
I****e
发帖数: 7742 | 137 lol
【在 h****e 的大作中提到】
: 所以说你理论功底不行。
: 肯定不是好大学毕业的。基本概念不清楚
: 做十年也没有用
:
:
: 嗯 我做这个做了几年 不如你在家带孩子的懂
:
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h****e
发帖数: 1 | 138 就算是没有这个噪音也不行。
这才是原因
: lol
【在 I****e 的大作中提到】
: lol
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I****e
发帖数: 7742 | 139 难怪国内不要你，原来中文也不行
【在 h****e 的大作中提到】
: 就算是没有这个噪音也不行。
: 这才是原因
:
:
: lol
:
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f*****4
发帖数: 1 | 140 做精度的，有往 computer vision上靠么？ 这个靠谱吗？
发现ASML招了些做这个方向的phd做算法。。
【在 h****e 的大作中提到】
: 就算是没有这个噪音也不行。
: 这才是原因
:
:
: lol
:
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f****i
发帖数: 1 | 141 你才看出来啊
耗子就知道哔哔哔，一遇到技术细节立马就不说话遁了
今天哔哔哔1/Sqrt(N)耗子算是失手了
【在 I****e 的大作中提到】
: 难怪弃婴说你p都不懂
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f*****4
发帖数: 1 | 142 那就可以反推出技术路线了。。
【在 f****i 的大作中提到】
: 你才看出来啊
: 耗子就知道哔哔哔，一遇到技术细节立马就不说话遁了
: 今天哔哔哔1/Sqrt(N)耗子算是失手了
|
h****e
发帖数: 1 | 143 唉， 提高光源亮度， euv
就是提高
spectral radiance
这个对非相干光靠拼合是不可能的，
跟你说的没有任何关系。 你别丢人了好不好。 好好把你的高深物理用在研究radiance
上去吧。。 你基本属于不入门水平。
【在 f****i 的大作中提到】
: 你才看出来啊
: 耗子就知道哔哔哔，一遇到技术细节立马就不说话遁了
: 今天哔哔哔1/Sqrt(N)耗子算是失手了
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e***d
发帖数: 8248 | 144 并行几个喷嘴，是不是就很难保证出来的euv的相干性了？
另外，那个科普视频里，euv在好几个反射镜之间来回反射
这么做的目的是什么？不会折损功率么？
【在 I****e 的大作中提到】
: 必须在锡小球下落到光罩反射曲面焦点的瞬间用激光轰击小球 这样出来的euv光才能被
: 收集到光路里面 几个喷嘴很难做到
: euv里面最大的问题之一就是要减少shot noise，降低一切可能带来噪音的来源。如果
: 你几个喷嘴不能做到射出来的频率大小形状完全一样，就会在euv光源里产生很大的
: shot noise 根本没法用
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I****e
发帖数: 7742 | 145 不是相干性问题 多喷嘴会导致出光强度有variation ， 这个对于euv本身的奇高无比
的shot noise要求是雪上加霜
多个反射镜组模是为了做光场相位畸变调整 术语是lens aberration correction. 在
DUV里面也需要十几个不同的lens来调整镜片的畸变效应。同一个道理
相位畸变在镜片各个部分不一样 就需要加各种镜片进一步调整
euv反射镜面材料必须要保证反射率达到几乎全反射 损耗在1%之内。 而最后相位控制
必须在百分之一波长的精度量级，要不然出来的光根本没法用
【在 e***d 的大作中提到】
: 并行几个喷嘴，是不是就很难保证出来的euv的相干性了？
: 另外，那个科普视频里，euv在好几个反射镜之间来回反射
: 这么做的目的是什么？不会折损功率么？
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e***d
发帖数: 8248 | 146 反射镜是金属材质么？合金？
镜面打磨精度要求相当高？
【在 I****e 的大作中提到】
: 不是相干性问题 多喷嘴会导致出光强度有variation ， 这个对于euv本身的奇高无比
: 的shot noise要求是雪上加霜
: 多个反射镜组模是为了做光场相位畸变调整 术语是lens aberration correction. 在
: DUV里面也需要十几个不同的lens来调整镜片的畸变效应。同一个道理
: 相位畸变在镜片各个部分不一样 就需要加各种镜片进一步调整
: euv反射镜面材料必须要保证反射率达到几乎全反射 损耗在1%之内。 而最后相位控制
: 必须在百分之一波长的精度量级，要不然出来的光根本没法用
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I****e
发帖数: 7742 | 147 多层材料组成的布拉格反射镜
光滑度要求在50pm rms 地球上最光滑的表面了
精度你按照1/4波长最差的精度要求 也不能超过3nm
【在 e***d 的大作中提到】
: 反射镜是金属材质么？合金？
: 镜面打磨精度要求相当高？
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o****e
发帖数: 417 | 148 感觉eNerd要是顺着inBlue说的往下做就完蛋了，二十年也出不来 |
e***d
发帖数: 8248 | 149 不懂布拉格
你前面提到的shot noise是近似于白噪的随机噪声吗？
用时间叠加的方式提高信噪比？所以你专注研究了好一阵1/sqrt(n) noise?
【在 I****e 的大作中提到】
: 多层材料组成的布拉格反射镜
: 光滑度要求在50pm rms 地球上最光滑的表面了
: 精度你按照1/4波长最差的精度要求 也不能超过3nm
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I****e
发帖数: 7742 | 150 切 上面这些东西我要是说错了 耗子和弃婴早就迫不及待跳出来打脸了 还轮得到你
品头论足
【在 o****e 的大作中提到】
: 感觉eNerd要是顺着inBlue说的往下做就完蛋了，二十年也出不来
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e***d
发帖数: 8248 | 151 哈哈，小白嘛，不懂就问，各位大牛与其吹牛打屁，不如科普一下小白
直觉哦，这个大系统里面，精密控制的部分相当多，适合光机所的人干
【在 o****e 的大作中提到】
: 感觉eNerd要是顺着inBlue说的往下做就完蛋了，二十年也出不来
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I****e
发帖数: 7742 | 152 差不多啊 这个是euv成像里面最火的研究领域了 现在还在做呢 没完全解决
这么说吧 比如说以前193nm波长 需要100个光子 能成像
现在euv光刻机 13.5nm波长 只需要7个光子 就能达到同样的能量
那现在euv光刻机产生的shot noise就是原来193的4 倍
every photon counts
【在 e***d 的大作中提到】
: 不懂布拉格
: 你前面提到的shot noise是近似于白噪的随机噪声吗？
: 用时间叠加的方式提高信噪比？所以你专注研究了好一阵1/sqrt(n) noise?
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o****e
发帖数: 417 | 153 你说的大方面没错，但是就做这个全反射多层材料透镜就十年都出不来。单单其中光学
像差矫正就需要蔡司的多年积累才能做到
【在 I****e 的大作中提到】
: 切 上面这些东西我要是说错了 耗子和弃婴早就迫不及待跳出来打脸了 还轮得到你
: 品头论足
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I****e
发帖数: 7742 | 154 那你弯道超车吧 …
【在 o****e 的大作中提到】
: 你说的大方面没错，但是就做这个全反射多层材料透镜就十年都出不来。单单其中光学
: 像差矫正就需要蔡司的多年积累才能做到
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o****e
发帖数: 417 | 155 你看你不动声色下了一个套，太坏了
【在 I****e 的大作中提到】
: 那你弯道超车吧 …
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e***d
发帖数: 8248 | 156 你的意思是说，布拉格反射镜表面的某些层是透射的？
【在 o****e 的大作中提到】
: 你说的大方面没错，但是就做这个全反射多层材料透镜就十年都出不来。单单其中光学
: 像差矫正就需要蔡司的多年积累才能做到
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I****e
发帖数: 7742 | 157 简单吧
【在 e***d 的大作中提到】
: 你的意思是说，布拉格反射镜表面的某些层是透射的？
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I****e
发帖数: 7742 | 158 嗯嗯 帝国主义亡我之心不死
【在 o****e 的大作中提到】
: 你看你不动声色下了一个套，太坏了
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Y********g
发帖数: 1 | 159 服
【在 f****i 的大作中提到】
: 关系不大
: 光刻的主要困境在于光源物理，也就是说，如何产生100eV左右能量的纯净光子（相比
: 普通可见光能量2eV左右），目前用的是原子内层电子跃迁，本质上是中高能原子物理
: ，今后很可能用加速器驱动的光源，所以属于加速器物理
|
e***d
发帖数: 8248 | 160 简单
单是把这两种材料制备好就要摸索好几年
拼接好、加工成形为需求曲面又要好几年
【在 I****e 的大作中提到】
: 简单吧
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p******g
发帖数: 8316 | 161 牛B！ 不明觉厉！ 虽然看不懂，但是还是觉得很专业，很爽！
【在 I****e 的大作中提到】
: 不是相干性问题 多喷嘴会导致出光强度有variation ， 这个对于euv本身的奇高无比
: 的shot noise要求是雪上加霜
: 多个反射镜组模是为了做光场相位畸变调整 术语是lens aberration correction. 在
: DUV里面也需要十几个不同的lens来调整镜片的畸变效应。同一个道理
: 相位畸变在镜片各个部分不一样 就需要加各种镜片进一步调整
: euv反射镜面材料必须要保证反射率达到几乎全反射 损耗在1%之内。 而最后相位控制
: 必须在百分之一波长的精度量级，要不然出来的光根本没法用
|
f****i
发帖数: 1 | 162 你妈，丫物理不行，没有直觉，说不明白
我给你简单地说清楚
就是100eV左右的光子这个时候已经不是波，而是particle，这种高能光子可以穿透很
多物体，只有很少部分反射出去，所以普通物体都没法作出反射镜
为了作出准对100eV光子的反射镜，就需要利用特定间距的晶格，让光子在晶格面产生
bragg效应，从而产生反射
这个特定晶格就需要镀膜的方式镀到反射面上面，而且几层晶格都有要求，工艺很复杂
【在 e***d 的大作中提到】
: 你的意思是说，布拉格反射镜表面的某些层是透射的？
|
M********n
发帖数: 4650 | 163 怕说了被旅游死？
【在 f****i 的大作中提到】
: 你才看出来啊
: 耗子就知道哔哔哔，一遇到技术细节立马就不说话遁了
: 今天哔哔哔1/Sqrt(N)耗子算是失手了
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h****e
发帖数: 1 | 164 短波不是波？
白马非马？
吸收不是穿透吧。。。
【在 f****i 的大作中提到】
: 你妈，丫物理不行，没有直觉，说不明白
: 我给你简单地说清楚
: 就是100eV左右的光子这个时候已经不是波，而是particle，这种高能光子可以穿透很
: 多物体，只有很少部分反射出去，所以普通物体都没法作出反射镜
: 为了作出准对100eV光子的反射镜，就需要利用特定间距的晶格，让光子在晶格面产生
: bragg效应，从而产生反射
: 这个特定晶格就需要镀膜的方式镀到反射面上面，而且几层晶格都有要求，工艺很复杂
|
f****i
发帖数: 1 | |
I****e
发帖数: 7742 | 166 即使是粒子性概率波也是可以用相位constructive和destructive来解释bragg
reflector对短波的反射原理的
弃婴个非波即粒子的19世纪老古董脑子 一下子就现行了
【在 h****e 的大作中提到】
: 短波不是波？
: 白马非马？
: 吸收不是穿透吧。。。
|
I****e
发帖数: 7742 | 167 吸收个P啊
吸收了就完蛋了
【在 h****e 的大作中提到】
: 短波不是波？
: 白马非马？
: 吸收不是穿透吧。。。
|
h****e
发帖数: 1 | 168 EUV radiation is absorbed strongly in nearly all materials, so optical
components are almost always reflective, not transmissive.
【在 I****e 的大作中提到】
: 吸收个P啊
: 吸收了就完蛋了
|
f****i
发帖数: 1 | 169 你水平不行，
不能用浅显的话把复杂的问题给外行交代清楚
你也无法理解外行理解中的困境和困惑
或许你自己也不明白
对外行交代的时候，重要的是突出物理图像
而不是纠结这种细节，
你如果纠结细节，外行就会陷入细节中没法形成big picture
【在 I****e 的大作中提到】
: 即使是粒子性概率波也是可以用相位constructive和destructive来解释bragg
: reflector对短波的反射原理的
: 弃婴个非波即粒子的19世纪老古董脑子 一下子就现行了
|
I****e
发帖数: 7742 | 170 鸡同鸭讲 说的都不是同一个东西
【在 h****e 的大作中提到】
: EUV radiation is absorbed strongly in nearly all materials, so optical
: components are almost always reflective, not transmissive.
|
h****e
发帖数: 1 | 171 光的吸收是n实部和虚部的相位差。。
而不是虚部大了就吸收大，
高吸收不一定就反射低。。 比如红外， 进了金属肯定被吸收， 但是金属就是好的反
射体。所以肯定不会穿过的。。
【在 I****e 的大作中提到】
: 鸡同鸭讲 说的都不是同一个东西
|
I****e
发帖数: 7742 | 172 你跟一个外行讲reciprocal space形象
还是我说的cons/destructive wave形象
【在 f****i 的大作中提到】
: 你水平不行，
: 不能用浅显的话把复杂的问题给外行交代清楚
: 你也无法理解外行理解中的困境和困惑
: 或许你自己也不明白
: 对外行交代的时候，重要的是突出物理图像
: 而不是纠结这种细节，
: 你如果纠结细节，外行就会陷入细节中没法形成big picture
|
e***d
发帖数: 8248 | 173 极紫外这个波段的光子，其行为是不是类似于alpha，beta，gamma这种重粒子流，或电
子束这种轻粒子流
与物质的相互作用，像这些粒子流
你说的几层晶格，可不可以直接在基座上生长出来？
【在 f****i 的大作中提到】
: 你妈，丫物理不行，没有直觉，说不明白
: 我给你简单地说清楚
: 就是100eV左右的光子这个时候已经不是波，而是particle，这种高能光子可以穿透很
: 多物体，只有很少部分反射出去，所以普通物体都没法作出反射镜
: 为了作出准对100eV光子的反射镜，就需要利用特定间距的晶格，让光子在晶格面产生
: bragg效应，从而产生反射
: 这个特定晶格就需要镀膜的方式镀到反射面上面，而且几层晶格都有要求，工艺很复杂
|
e***d
发帖数: 8248 | 174 今天最后一个问题：
锡原子的电子分布是2-8-18-18-4
小锡滴被二氧化碳脉冲激光轰击成等离子体时
剥离的只是最外层还是不止一层？
电子的能级跃迁发生在哪些层之间进而产生极紫外光？ |
h****e
发帖数: 1 | 175 肯定不止一层啊。
最外层的能量不够100ev吧。
【在 e***d 的大作中提到】
: 今天最后一个问题：
: 锡原子的电子分布是2-8-18-18-4
: 小锡滴被二氧化碳脉冲激光轰击成等离子体时
: 剥离的只是最外层还是不止一层？
: 电子的能级跃迁发生在哪些层之间进而产生极紫外光？
|
C*****4
发帖数: 8585 | 176 讨论的还挺热烈，文盲我插不上话，一边凉快去了 |
I****e
发帖数: 7742 | 177 Sn+8 到 Sn+14 都可以产生13.5nm波长
这就是为什么用Sn 而不用Li和Xe的原因
【在 e***d 的大作中提到】
: 今天最后一个问题：
: 锡原子的电子分布是2-8-18-18-4
: 小锡滴被二氧化碳脉冲激光轰击成等离子体时
: 剥离的只是最外层还是不止一层？
: 电子的能级跃迁发生在哪些层之间进而产生极紫外光？
|
e***d
发帖数: 8248 | 178 剥离外周几层电子通过什么来控制？
【在 h****e 的大作中提到】
: 肯定不止一层啊。
: 最外层的能量不够100ev吧。
|
f****i
发帖数: 1 | 179 3d--->εp跃迁
【在 e***d 的大作中提到】
: 今天最后一个问题：
: 锡原子的电子分布是2-8-18-18-4
: 小锡滴被二氧化碳脉冲激光轰击成等离子体时
: 剥离的只是最外层还是不止一层？
: 电子的能级跃迁发生在哪些层之间进而产生极紫外光？
|
I****e
发帖数: 7742 | 180 4p > 4d
+
4d > 4f
不止一个
【在 f****i 的大作中提到】
: 3d--->εp跃迁
|
f****i
发帖数: 1 | 181 这些跃迁的好处是，可以用量子力学精确计算
所以耗子说就是做实验，纯粹胡说八道
做实验前什么轨道到什么轨道跃迁的反应截面
都做了非常精确的计算
【在 I****e 的大作中提到】
: 4p > 4d
: +
: 4d > 4f
: 不止一个
|
e***d
发帖数: 8248 | 182 哦，好
这个跃迁通过激光的什么参数控制？
除此之外，今天没问题了
【在 f****i 的大作中提到】
: 3d--->εp跃迁
|
h****e
发帖数: 1 | 183 这个我不做。。激光嘛
你就试几个参数
第一个打成饼子形状，冲量大平平的最好
第二个表面温度也得合适，不能散开
第三个跃迁，波长，时间profile，等等很复杂需要很多实验。目前都在不断改进中。
。这方面国内已经有人回去了。
具体细节我也懒得看懒得管，很多也看不到。大体就这些。
就我看到的网上资料，asml 美国 荷兰 对土鳖也算仁至义尽了。做不出来总不能让人
家喂你吧。。。。
就我所知道的，如何提高效率是做出来的
不是计算出来的。
: 哦，好
: 这个跃迁通过激光的什么参数控制？
: 除此之外，今天没问题了
【在 e***d 的大作中提到】
: 哦，好
: 这个跃迁通过激光的什么参数控制？
: 除此之外，今天没问题了
|
I****e
发帖数: 7742 | 184 因为你理论层次太低了
不知道人家做实验之前已经算的差不多了
这也是为什么后来果断放弃Li Xe 专门搞Sn的原因 理论算出来的能量转换效率上限值
Sn最高
【在 h****e 的大作中提到】
: 这个我不做。。激光嘛
: 你就试几个参数
: 第一个打成饼子形状，冲量大平平的最好
: 第二个表面温度也得合适，不能散开
: 第三个跃迁，波长，时间profile，等等很复杂需要很多实验。目前都在不断改进中。
: 。这方面国内已经有人回去了。
: 具体细节我也懒得看懒得管，很多也看不到。大体就这些。
: 就我看到的网上资料，asml 美国 荷兰 对土鳖也算仁至义尽了。做不出来总不能让人
: 家喂你吧。。。。
: 就我所知道的，如何提高效率是做出来的
|
h****e
发帖数: 1 | 185 你不知道xe 的实验也一大堆。。。。。
。。理论的给自己贴金去吧。。
: 因为你理论层次太低了
: 不知道人家做实验之前已经算的差不多了
: 这也是为什么后来果断放弃Li Xe 专门搞Sn的原因 理论算出来的上限值 Sn最
高
【在 I****e 的大作中提到】
: 因为你理论层次太低了
: 不知道人家做实验之前已经算的差不多了
: 这也是为什么后来果断放弃Li Xe 专门搞Sn的原因 理论算出来的能量转换效率上限值
: Sn最高
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I****e
发帖数: 7742 | 186 土鳖找你回去做研发就抓瞎了
土鳖： 耗子，你要啥资源
耗子： 给我一个师，我保证给你试出来
土鳖： 滚
【在 h****e 的大作中提到】
: 你不知道xe 的实验也一大堆。。。。。
: 。。理论的给自己贴金去吧。。
:
:
: 因为你理论层次太低了
:
: 不知道人家做实验之前已经算的差不多了
:
: 这也是为什么后来果断放弃Li Xe 专门搞Sn的原因 理论算出来的上限值 Sn最
: 高
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h****e
发帖数: 1 | 187 人家成品光刻机很多东西都透露出来了。。
这时候实验你得自己做了吧。
很多参考文献
你总是较真那点模拟。。。这个我原来工作的组就能算。。不就是光和电子作用吗。。
能级啥的。。没有你们想那么难。。我都知道谁可以做。。
我自己都可以搭机子算
屁大点事
把几个搞物理的弄得神神叨叨的
: 土鳖找你回去做研发就抓瞎了
: 土鳖： 耗子，你要啥资源
: 耗子： 给我一个师，我保证给你试出来
: 土鳖： 滚
【在 I****e 的大作中提到】
: 土鳖找你回去做研发就抓瞎了
: 土鳖： 耗子，你要啥资源
: 耗子： 给我一个师，我保证给你试出来
: 土鳖： 滚
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h****e
发帖数: 1 | 188 我老板开组会的口头禅就是
这个世界上我们算不出来的东西
别指望别人能算出来
不就几个方程吗？！
: 土鳖找你回去做研发就抓瞎了
: 土鳖： 耗子，你要啥资源
: 耗子： 给我一个师，我保证给你试出来
: 土鳖： 滚
【在 I****e 的大作中提到】
: 土鳖找你回去做研发就抓瞎了
: 土鳖： 耗子，你要啥资源
: 耗子： 给我一个师，我保证给你试出来
: 土鳖： 滚
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f********h
发帖数: 1 | |
h****e
发帖数: 1 | 190 你根本没有看懂他基本概念就错了。。。。
因为你也就懂个shot noise而已。
: 看了一圈下来，inblue是真专家。
【在 f********h 的大作中提到】
: 看了一圈下来，inblue是真专家。
|
f********h
发帖数: 1 | 191 书连shot noise都不懂。哈哈。
: 你根本没有看懂他基本概念就错了。。。。
: 因为你也就懂个shot noise而已。
【在 h****e 的大作中提到】
: 你根本没有看懂他基本概念就错了。。。。
: 因为你也就懂个shot noise而已。
:
:
: 看了一圈下来，inblue是真专家。
:
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f****i
发帖数: 1 | 192 属实
耗子屁都不懂，
别说锡了，搞个简单的吧，
加热氢气激发最外层电子跃迁产生13.6eV光子
耗子咱就算这么一个最简单的，
算算单位体积单位密度氢气产生的辐射光子功率能有多大
你妈，耗子立马傻眼
耗子连量子力学都没学过，
耗子就知道做实验，
根本不知道做实验前人家早算过了
【在 I****e 的大作中提到】
: 因为你理论层次太低了
: 不知道人家做实验之前已经算的差不多了
: 这也是为什么后来果断放弃Li Xe 专门搞Sn的原因 理论算出来的能量转换效率上限值
: Sn最高
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s*****1
发帖数: 1 | 193 inblue老师以前学啥的？ ee还是物理
中。
让人
【在 I****e 的大作中提到】
: 因为你理论层次太低了
: 不知道人家做实验之前已经算的差不多了
: 这也是为什么后来果断放弃Li Xe 专门搞Sn的原因 理论算出来的能量转换效率上限值
: Sn最高
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W**********t
发帖数: 1764 | 194 耗子你想吃这碗饭，回cymer或者打进asml是正经。这玩意儿发展快，没几年
你的知识老本就不够吃了。尼玛俺们当年学的一堆optical resolution
enhancement techniques到EUV嘛用没有
【在 h****e 的大作中提到】
: 人家成品光刻机很多东西都透露出来了。。
: 这时候实验你得自己做了吧。
: 很多参考文献
: 你总是较真那点模拟。。。这个我原来工作的组就能算。。不就是光和电子作用吗。。
: 能级啥的。。没有你们想那么难。。我都知道谁可以做。。
: 我自己都可以搭机子算
: 屁大点事
: 把几个搞物理的弄得神神叨叨的
:
:
: 土鳖找你回去做研发就抓瞎了
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h****e
发帖数: 1 | 195 你这人没法说你了
人家做实验第一步也是产生euv
有了实验产生了
人家下一步算需要多少根本不需要理论。。
这个时候只需要光刻胶需要的dosage
这部分中学生都可以做。
: 属实
: 耗子屁都不懂，
: 别说锡了，搞个简单的吧，
: 加热氢气激发最外层电子跃迁产生13.6eV光子
: 耗子咱就算这么一个最简单的，
: 算算单位体积单位密度氢气产生的辐射光子功率能有多大
: 你妈，耗子立马傻眼
: 耗子连量子力学都没学过，
: 耗子就知道做实验，
: 根本不知道做实验前人家早算过了
【在 f****i 的大作中提到】
: 属实
: 耗子屁都不懂，
: 别说锡了，搞个简单的吧，
: 加热氢气激发最外层电子跃迁产生13.6eV光子
: 耗子咱就算这么一个最简单的，
: 算算单位体积单位密度氢气产生的辐射光子功率能有多大
: 你妈，耗子立马傻眼
: 耗子连量子力学都没学过，
: 耗子就知道做实验，
: 根本不知道做实验前人家早算过了
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h****e
发帖数: 1 | 196 怎么可能没有
这方面工作不少吧
我似乎还见到招这方面的人
: 耗子你想吃这碗饭，回cymer或者打进asml是正经。这玩意儿发展快，没几年
: 你的知识老本就不够吃了。尼玛俺们当年学的一堆optical resolution
: enhancement techniques到EUV嘛用没有
【在 W**********t 的大作中提到】
: 耗子你想吃这碗饭，回cymer或者打进asml是正经。这玩意儿发展快，没几年
: 你的知识老本就不够吃了。尼玛俺们当年学的一堆optical resolution
: enhancement techniques到EUV嘛用没有
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h****e
发帖数: 1 | 197 很明显学了物理
进了屎坑。。
估计转码了
还限于书本那点物理
【在 s*****1 的大作中提到】
: inblue老师以前学啥的？ ee还是物理
:
: 中。
: 让人
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W**********t
发帖数: 1764 | 198 那是生产人员，德仪养了一帮phd倒班
【在 h****e 的大作中提到】
: 怎么可能没有
: 这方面工作不少吧
: 我似乎还见到招这方面的人
:
:
: 耗子你想吃这碗饭，回cymer或者打进asml是正经。这玩意儿发展快，没几年
:
: 你的知识老本就不够吃了。尼玛俺们当年学的一堆optical resolution
:
: enhancement techniques到EUV嘛用没有
:
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I****e
发帖数: 7742 | 199 现在EUV SMO 工作太多了 要价也高
DUV时候工程师还能自己调调光源 EUV的难度大太多了
【在 W**********t 的大作中提到】
: 耗子你想吃这碗饭，回cymer或者打进asml是正经。这玩意儿发展快，没几年
: 你的知识老本就不够吃了。尼玛俺们当年学的一堆optical resolution
: enhancement techniques到EUV嘛用没有
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I****e
发帖数: 7742 | 200 尼玛个学地理的还看不起学物理的
弃婴看不起你也是有一定道理
【在 h****e 的大作中提到】
: 很明显学了物理
: 进了屎坑。。
: 估计转码了
: 还限于书本那点物理
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I****e
发帖数: 7742 | 201 老师… 尼玛感动哭了
【在 s*****1 的大作中提到】
: inblue老师以前学啥的？ ee还是物理
:
: 中。
: 让人
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h****e
发帖数: 1 | 202 我学的是地震
天生会给仪器减震。。。
: 尼玛个学地理的还看不起学物理的
: 弃婴看不起你也是有一定道理
【在 I****e 的大作中提到】
: 老师… 尼玛感动哭了
|
I****e
发帖数: 7742 | 203 张衡地动仪是不是你们这帮蛀虫造假的成果
你参与了没有 骗了多少经费？
【在 h****e 的大作中提到】
: 我学的是地震
: 天生会给仪器减震。。。
:
:
: 尼玛个学地理的还看不起学物理的
:
: 弃婴看不起你也是有一定道理
:
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s*****1
发帖数: 1 | 204 客气一下嘛，耗子老师，弃婴老师。
你们讲的这些我还真是一点不懂lol
【在 I****e 的大作中提到】
: 老师… 尼玛感动哭了
|
h****e
发帖数: 1 | 205 第一页那个照片你懂吧。。。
。。会不会相面。。
【在 s*****1 的大作中提到】
: 客气一下嘛，耗子老师，弃婴老师。
: 你们讲的这些我还真是一点不懂lol
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I****e
发帖数: 7742 | 206 都不超过本科物理水平…
耗子老师可能真的不懂 .. 他是学 地震 的 …
【在 s*****1 的大作中提到】
: 客气一下嘛，耗子老师，弃婴老师。
: 你们讲的这些我还真是一点不懂lol
|
W**********t
发帖数: 1764 | 207 做这个只能是物理PHD在那憋着，EE phd赚快钱的方向多多了
【在 s*****1 的大作中提到】
: 客气一下嘛，耗子老师，弃婴老师。
: 你们讲的这些我还真是一点不懂lol
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s*****1
发帖数: 1 | 208 不不，那些modern physics里的我当然懂，只是和光刻机的这些联系我是看你们吹牛才
知道的
【在 I****e 的大作中提到】
: 都不超过本科物理水平…
: 耗子老师可能真的不懂 .. 他是学 地震 的 …
|
h****e
发帖数: 1 | 209 完蛋了。。
这个太搞笑了
量子力学大牛一千只
被你否定得凉透了
【在 s*****1 的大作中提到】
: 不不，那些modern physics里的我当然懂，只是和光刻机的这些联系我是看你们吹牛才
: 知道的
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I****e
发帖数: 7742 | 210 耗子老师对弃婴老师有一种深深的恐惧 连名字都要避讳
【在 h****e 的大作中提到】
: 完蛋了。。
: 这个太搞笑了
: 量子力学大牛一千只
: 被你否定得凉透了
|
s*****1
发帖数: 1 | 211 我否定啥了？
【在 h****e 的大作中提到】
: 完蛋了。。
: 这个太搞笑了
: 量子力学大牛一千只
: 被你否定得凉透了
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s*****1
发帖数: 1 | 212 lol
【在 I****e 的大作中提到】
: 耗子老师对弃婴老师有一种深深的恐惧 连名字都要避讳
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h****e
发帖数: 1 | 213 modern physics里的我当然懂，只是和光刻机的这些联系我是看你们吹牛才知道的
你让量子大牛一千只自杀的心都有了
【在 s*****1 的大作中提到】
: lol
|
s*****1
发帖数: 1 | 214 擦。。 “吹牛”是聊天的意思，我用词不当
【在 h****e 的大作中提到】
: modern physics里的我当然懂，只是和光刻机的这些联系我是看你们吹牛才知道的
: 你让量子大牛一千只自杀的心都有了
|
I****e
发帖数: 7742 | 215 领教到耗子老师的深井冰了吧
这种逻辑和理解 真不是正常人能有的
【在 s*****1 的大作中提到】
: 擦。。 “吹牛”是聊天的意思，我用词不当
|
h****e
发帖数: 1 | 216 将来你就会知道。。。。。光刻机是怎么在美国死掉的了
死于搞物理的人太多了
做工程的人太少了
: 领教到耗子老师的深井冰了吧
: 这种逻辑和理解 真不是正常人能有的
【在 I****e 的大作中提到】
: 领教到耗子老师的深井冰了吧
: 这种逻辑和理解 真不是正常人能有的
|
A******u
发帖数: 1279 | 217 这种得分子束外延长？怎么出曲面呢？
【在 I****e 的大作中提到】
: 简单吧
|
I****e
发帖数: 7742 | 218 不用MBE
直接用的PVD就可以
【在 A******u 的大作中提到】
: 这种得分子束外延长？怎么出曲面呢？
|
F********k
发帖数: 27 | 219 一路看下来，觉得芯片相关的知识: 硬不撸 > 弃婴 >>> 耗子。
尼玛耗子有一阵子在菌版哭天抢地，怨华为不肯给他 offer。
彼时众小将纷纷抱不平。就差没举报华为 HR 是湾湾卧底。
现在看来，华为 HR 是恪尽职守，不让一粒老鼠屎，坏了一锅粥。 |
h****e
发帖数: 1 | 220 太坏了， 想套秘密。 。。
。。。。。。只提示一下， 光源要从spectral radiance来考虑。 。
其他都是扯淡， inblue和一千只都没有做过。
。。。。。。镀膜要考虑环境， pvd是最糟糕的选择， 这个inblue根本就没有在这种
实验室呆过。 我呆过。
至于光的吸收， 那俩都基本不入门， 一千只根本不懂得基本的电磁波理论。
唉。。。
这种水平的如果回国， 那是肯定做不出来的。 我的工作只是stray light, 和lens
design。。。 而已。
【在 F********k 的大作中提到】
: 一路看下来，觉得芯片相关的知识: 硬不撸 > 弃婴 >>> 耗子。
: 尼玛耗子有一阵子在菌版哭天抢地，怨华为不肯给他 offer。
: 彼时众小将纷纷抱不平。就差没举报华为 HR 是湾湾卧底。
: 现在看来，华为 HR 是恪尽职守，不让一粒老鼠屎，坏了一锅粥。
|
I****e
发帖数: 7742 | 221 尼玛个弱智
蔡司 赛毛 联合研发 用了20年才开发出来的DC magnetron sputtering 搞定了50pair
bragg reflector PVD dep 难题
你以为是你们学校里用的那种破烂6寸PVD？
你去查一下 12寸片子的 MRAM tunneling junction 十几层不同金属和MgO barrier，
都是几层原子层的厚度， sub nm rms 都是怎么做出来的？
都是PVD 懂了吗？
别不懂装懂 你对现代科技一无所知
【在 h****e 的大作中提到】
: 太坏了， 想套秘密。 。。
: 。。。。。。只提示一下， 光源要从spectral radiance来考虑。 。
: 其他都是扯淡， inblue和一千只都没有做过。
: 。。。。。。镀膜要考虑环境， pvd是最糟糕的选择， 这个inblue根本就没有在这种
: 实验室呆过。 我呆过。
: 至于光的吸收， 那俩都基本不入门， 一千只根本不懂得基本的电磁波理论。
: 唉。。。
: 这种水平的如果回国， 那是肯定做不出来的。 我的工作只是stray light, 和lens
: design。。。 而已。
|
h****e
发帖数: 1 | 222 我就不说了， 你这个是错误信息。
第一cymer就不做膜
第二你说的东西就不对。
别的我就不提了。
50pair
，
【在 I****e 的大作中提到】
: 尼玛个弱智
: 蔡司 赛毛 联合研发 用了20年才开发出来的DC magnetron sputtering 搞定了50pair
: bragg reflector PVD dep 难题
: 你以为是你们学校里用的那种破烂6寸PVD？
: 你去查一下 12寸片子的 MRAM tunneling junction 十几层不同金属和MgO barrier，
: 都是几层原子层的厚度， sub nm rms 都是怎么做出来的？
: 都是PVD 懂了吗？
: 别不懂装懂 你对现代科技一无所知
|
I****e
发帖数: 7742 | 223 第一 cymer不做膜 所以你不懂，
asml 跟 蔡司做 这个material engineering的学术圈和工业届都知道
第二 我说的哪儿不对 说出来
尼玛的无知者无畏
【在 h****e 的大作中提到】
: 我就不说了， 你这个是错误信息。
: 第一cymer就不做膜
: 第二你说的东西就不对。
: 别的我就不提了。
:
: 50pair
: ，
|
o****e
发帖数: 417 | 224 你那是看走眼了。他们3个各有所长，不撸知识比较全适合做应用工程师或者小系统的
架构师，弃婴适合做科学家，耗子有的方面糊涂但是他那两下子外面还是很难找的。
不要小看村里的绝活。就我所知，弯曲就有很多老马工写的产品代码十几年别人都不敢改
【在 F********k 的大作中提到】
: 一路看下来，觉得芯片相关的知识: 硬不撸 > 弃婴 >>> 耗子。
: 尼玛耗子有一阵子在菌版哭天抢地，怨华为不肯给他 offer。
: 彼时众小将纷纷抱不平。就差没举报华为 HR 是湾湾卧底。
: 现在看来，华为 HR 是恪尽职守，不让一粒老鼠屎，坏了一锅粥。
|
C*****4
发帖数: 8585 | 225 你是不是从来也没实际在行业内工作过，所以你懂的东西无非也就是看点书得来点纸面
的理论知识，所以国内懂行的人才不要你，人家知道什么样的人有用，你就别怪到我鳖
头上了，你最重要的还是真正的进企业去工作一段时间长点实践经验
: 我就不说了， 你这个是错误信息。
: 第一cymer就不做膜
: 第二你说的东西就不对。
: 别的我就不提了。
: 50pair
: ，
【在 h****e 的大作中提到】
: 我就不说了， 你这个是错误信息。
: 第一cymer就不做膜
: 第二你说的东西就不对。
: 别的我就不提了。
:
: 50pair
: ，
|
h****e
发帖数: 1 | 226 我骂华为有段时间了。。
这次骂大概不到两年，，， 因为招人的垃圾策略和态度我就骂。
而且这不是第一次骂
六年前我就骂过， 华为招人不对， 做不好硬件。。
其实东西都在那里， 到处都是资料。。 土鳖不做，总要弄人进来捧着才做， 结果就
是骗子不做，， 会做的也高高在上不做了。。 所以一事无成。。
土鳖基本研究和工程根本就不入门。。
得完全废除学霸， 比如院士，
还有唯论文。。。
研究最后还得靠公司。。
可以收出口税。。。 等等。。 |
A******u
发帖数: 1279 | 227 PVD还好。妈的国内似乎连好的MBE都造不出来。
【在 I****e 的大作中提到】
: 不用MBE
: 直接用的PVD就可以
|
C*****4
发帖数: 8585 | 228 不是啊，人家一看你一把年纪居然连实际的相关行业工作经验都没有，你说的那些人家
只能当夸夸其谈，谁相信你能干出啥
: 我骂华为有段时间了。。
: 这次骂大概不到两年，，， 因为招人的垃圾策略和态度我就骂。
: 而且这不是第一次骂
: 六年前我就骂过， 华为招人不对， 做不好硬件。。
: 其实东西都在那里， 到处都是资料。。 土鳖不做，总要弄人进来捧着才做，
结果就
: 是骗子不做，， 会做的也高高在上不做了。。 所以一事无成。。
: 土鳖基本研究和工程根本就不入门。。
: 得完全废除学霸， 比如院士，
: 还有唯论文。。。
: 研究最后还得靠公司。。
【在 h****e 的大作中提到】
: 我骂华为有段时间了。。
: 这次骂大概不到两年，，， 因为招人的垃圾策略和态度我就骂。
: 而且这不是第一次骂
: 六年前我就骂过， 华为招人不对， 做不好硬件。。
: 其实东西都在那里， 到处都是资料。。 土鳖不做，总要弄人进来捧着才做， 结果就
: 是骗子不做，， 会做的也高高在上不做了。。 所以一事无成。。
: 土鳖基本研究和工程根本就不入门。。
: 得完全废除学霸， 比如院士，
: 还有唯论文。。。
: 研究最后还得靠公司。。
|
I****e
发帖数: 7742 | 229 国内MBE我就不了解了
现在工业界金属薄膜基本上都是用PVD了 能做的很光滑
【在 A******u 的大作中提到】
: PVD还好。妈的国内似乎连好的MBE都造不出来。
|
h****e
发帖数: 1 | 230 二十年前我们的膜用的是ion assisted cvd 还是啥名字。。。
忘了
mbe就是单层膜， 很慢， 没啥用。
我自己没用过， 实验室有，
pvd我只做过一两次。。 pvd一般质量都很差， 应该尽量避免的
【在 I****e 的大作中提到】
: 国内MBE我就不了解了
: 现在工业界金属薄膜基本上都是用PVD了 能做的很光滑
|
A******u
发帖数: 1279 | 231 目测你跟叔一个水平。叔近代物理实验之后没有呆过一天实验室，对实验的了解都是从
合作者和报告里听的。
【在 h****e 的大作中提到】
: 太坏了， 想套秘密。 。。
: 。。。。。。只提示一下， 光源要从spectral radiance来考虑。 。
: 其他都是扯淡， inblue和一千只都没有做过。
: 。。。。。。镀膜要考虑环境， pvd是最糟糕的选择， 这个inblue根本就没有在这种
: 实验室呆过。 我呆过。
: 至于光的吸收， 那俩都基本不入门， 一千只根本不懂得基本的电磁波理论。
: 唉。。。
: 这种水平的如果回国， 那是肯定做不出来的。 我的工作只是stray light, 和lens
: design。。。 而已。
|
h****e
发帖数: 1 | 232 问题是我呆过啊。
inblue， 肯定没有镀过膜。。 咱们问问他。。
你到底镀过膜没有?
roughness怎么测？
【在 A******u 的大作中提到】
: 目测你跟叔一个水平。叔近代物理实验之后没有呆过一天实验室，对实验的了解都是从
: 合作者和报告里听的。
|
A******u
发帖数: 1279 | 233 粗的用个profilometer，精细的用AFM
【在 h****e 的大作中提到】
: 问题是我呆过啊。
: inblue， 肯定没有镀过膜。。 咱们问问他。。
: 你到底镀过膜没有?
: roughness怎么测？
|
I****e
发帖数: 7742 | 234 你妹的 我都跟你说了现代工业生产里面MRAM stack 就PVD做的。你自己查一下就知道
你那点学校实验室的破PVD机器 屁用没有。 还要我给你查参考文献？
【在 h****e 的大作中提到】
: 问题是我呆过啊。
: inblue， 肯定没有镀过膜。。 咱们问问他。。
: 你到底镀过膜没有?
: roughness怎么测？
|
h****e
发帖数: 1 | 235 你每层都要拿出来profiler 测吗？
。。。。。。
Inblue不是说五十层呢？
: 粗的用个profilometer，精细的用AFM
【在 A******u 的大作中提到】
: 粗的用个profilometer，精细的用AFM
|
h****e
发帖数: 1 | 236 你是不是从来没有做过镀膜
。。。。
: 你妹的 我都跟你说了现代工业生产里面MRAM stack 就PVD做的。你自己查一下
就知道
: 你那点学校实验室的破PVD机器 屁用没有。 还要我给你查参考文献？
【在 I****e 的大作中提到】
: 你妹的 我都跟你说了现代工业生产里面MRAM stack 就PVD做的。你自己查一下就知道
: 你那点学校实验室的破PVD机器 屁用没有。 还要我给你查参考文献？
|
h****e
发帖数: 1 | 237 你是不是从来没有做过镀膜
。。。。
: 你妹的 我都跟你说了现代工业生产里面MRAM stack 就PVD做的。你自己查一下
就知道
: 你那点学校实验室的破PVD机器 屁用没有。 还要我给你查参考文献？
【在 I****e 的大作中提到】
: 你妹的 我都跟你说了现代工业生产里面MRAM stack 就PVD做的。你自己查一下就知道
: 你那点学校实验室的破PVD机器 屁用没有。 还要我给你查参考文献？
|
A******u
发帖数: 1279 | 238 试探工艺的时候肯定每层都测测。工艺稳定了，就不要总是测了吧。这是叔理论家的直
觉。
【在 h****e 的大作中提到】
: 你每层都要拿出来profiler 测吗？
: 。。。。。。
: Inblue不是说五十层呢？
:
:
: 粗的用个profilometer，精细的用AFM
:
|
I****e
发帖数: 7742 | 239 看得懂英文吧？
【在 h****e 的大作中提到】
: 你是不是从来没有做过镀膜
: 。。。。
:
:
: 你妹的 我都跟你说了现代工业生产里面MRAM stack 就PVD做的。你自己查一下
: 就知道
:
: 你那点学校实验室的破PVD机器 屁用没有。 还要我给你查参考文献？
:
|
h****e
发帖数: 1 | 240 不做镀膜的肯定就不懂了。。。。
。。。。有很多办法
有镀膜的书
表面物理的书
真空的书
都专门讲这些。
王回去都可以做。国内麻痹只是等。。。
: 试探工艺的时候肯定每层都测测。工艺稳定了，就不要总是测了吧。这是叔理论
家的直
: 觉。
【在 A******u 的大作中提到】
: 试探工艺的时候肯定每层都测测。工艺稳定了，就不要总是测了吧。这是叔理论家的直
: 觉。
|
h****e
发帖数: 1 | 241 膜的recipe 我都见了
你说得不对
你让我说啥。。。
: 看得懂英文吧？
【在 I****e 的大作中提到】
: 看得懂英文吧？
|
I****e
发帖数: 7742 | 242 跟你说了 你在学校里面玩儿的那点chamber 根本不算正经玩意儿
PVD CVD MBE LaserMBE 实验室的我都玩儿过 太小儿科了。 你们实验室里是不是最大
就玩3寸片 估计平时顶多也就玩一寸片。真正能做出来12寸 subnm rms的 你见都没见
过 井蛙一个
【在 h****e 的大作中提到】
: 你是不是从来没有做过镀膜
: 。。。。
:
:
: 你妹的 我都跟你说了现代工业生产里面MRAM stack 就PVD做的。你自己查一下
: 就知道
:
: 你那点学校实验室的破PVD机器 屁用没有。 还要我给你查参考文献？
:
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I****e
发帖数: 7742 | 243 随便找了一个 自己看去
【在 h****e 的大作中提到】
: 膜的recipe 我都见了
: 你说得不对
: 你让我说啥。。。
:
:
: 看得懂英文吧？
:
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h****e
发帖数: 1 | 244 你看看你自己的帖子说得是啥材料去。。。
: 自己看去
【在 I****e 的大作中提到】
: 随便找了一个 自己看去
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A******u
发帖数: 1279 | 245 叔确实不镀膜。
不过我猜测厚度的控制更重要，那是个布拉格反射镜。
【在 h****e 的大作中提到】
: 不做镀膜的肯定就不懂了。。。。
: 。。。。有很多办法
: 有镀膜的书
: 表面物理的书
: 真空的书
: 都专门讲这些。
: 王回去都可以做。国内麻痹只是等。。。
:
:
: 试探工艺的时候肯定每层都测测。工艺稳定了，就不要总是测了吧。这是叔理论
: 家的直
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I****e
发帖数: 7742 | 246 不到黄河不死心
【在 h****e 的大作中提到】
: 你看看你自己的帖子说得是啥材料去。。。
:
:
: 自己看去
:
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A******u
发帖数: 1279 | 247 小黄人搞这个，第二天代谢病就发作了。
【在 C*****4 的大作中提到】
: 你也是，你可以召集一帮黄人在美国成立个公司把光刻机研究出来，不光美帝大把捞钱
: ，中国也会求着你回去了，你现在啥也没干，天天逼叨逼叨中国不要你，中国凭什么要
: 你，这楼里懂光刻机的也不止你一个
:
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: 关键不是光源
:
: 是精度
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: 最核心的也不是光源
:
: 还是镜头。。
:
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I****e
发帖数: 7742 | 248 amat 的 endura 系统总应该听说过了吧
尼玛就是个井蛙
【在 h****e 的大作中提到】
: 你看看你自己的帖子说得是啥材料去。。。
:
:
: 自己看去
:
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h****e
发帖数: 1 | 249 没有听说过。
不过我觉得asml 肯定不会用
会在德国有自己的东西。
你确认你说那个东西能放得下euv光学镜面？
: amat 的 endura 系统总应该听说过了吧
: 尼玛就是个井蛙
【在 I****e 的大作中提到】
: amat 的 endura 系统总应该听说过了吧
: 尼玛就是个井蛙
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I****e
发帖数: 7742 | 250 又tmd转进了
不要拿你们实验室的垃圾玩意儿来套工业界用的机器
【在 h****e 的大作中提到】
: 没有听说过。
: 不过我觉得asml 肯定不会用
: 会在德国有自己的东西。
: 你确认你说那个东西能放得下euv光学镜面？
:
:
: amat 的 endura 系统总应该听说过了吧
:
: 尼玛就是个井蛙
:
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h****e
发帖数: 1 | 251 你这人动辄12
说明你只是在fab 里做芯片工艺的
而不是做机器的
你是用光刻机的
不是造光刻机的
: 又tmd转进了
: 不要拿你们实验室的垃圾玩意儿来套工业界用的机器
【在 I****e 的大作中提到】
: 又tmd转进了
: 不要拿你们实验室的垃圾玩意儿来套工业界用的机器
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I****e
发帖数: 7742 | 252 现在工业界里面PVD都是in-situ 边长边量 sub A 级别的精度控制。 跟实验室里面那
些根本不是一路货
耗子只在实验室见过那些脏兮兮的chamber 真正的工业产品听都没听说过
【在 A******u 的大作中提到】
: 叔确实不镀膜。
: 不过我猜测厚度的控制更重要，那是个布拉格反射镜。
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I****e
发帖数: 7742 | 253 来 跟我说一下 3400的基台 是给几寸用的？ 研发的时候是不是只要曝光你们实验室一
寸小硅片就可以了呀？
尼玛个井蛙
12只是告诉你 不要用你那些实验室的烂机器 来套真正的研发科技
【在 h****e 的大作中提到】
: 你这人动辄12
: 说明你只是在fab 里做芯片工艺的
: 而不是做机器的
: 你是用光刻机的
: 不是造光刻机的
:
:
: 又tmd转进了
:
: 不要拿你们实验室的垃圾玩意儿来套工业界用的机器
:
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h****e
发帖数: 1 | 254 唉。。
你是物理背景
用光刻机
很多理论都是想象。。
到我们这里做研发吧。
最近工作机会特多
: 来 跟我说一下 3400的基台 是给几寸用的？ 研发的时候是不是只要曝光
你们实
验室一
: 寸小硅片就可以了呀？
: 尼玛个井蛙
【在 I****e 的大作中提到】
: 来 跟我说一下 3400的基台 是给几寸用的？ 研发的时候是不是只要曝光你们实验室一
: 寸小硅片就可以了呀？
: 尼玛个井蛙
: 12只是告诉你 不要用你那些实验室的烂机器 来套真正的研发科技
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A******u
发帖数: 1279 | 255 那应该是配个低能电子衍射之类的东西。报告听多了，这些事情大概都听过。
【在 I****e 的大作中提到】
: 现在工业界里面PVD都是in-situ 边长边量 sub A 级别的精度控制。 跟实验室里面那
: 些根本不是一路货
: 耗子只在实验室见过那些脏兮兮的chamber 真正的工业产品听都没听说过
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I****e
发帖数: 7742 | 256 弃婴问你euv光是那些能级跃迁产生的 你都回答不上来
一点理论都不懂 就一天到晚 做技工活儿
华为缺这样的技工吗？
【在 h****e 的大作中提到】
: 唉。。
: 你是物理背景
: 用光刻机
: 很多理论都是想象。。
: 到我们这里做研发吧。
: 最近工作机会特多
:
:
: 来 跟我说一下 3400的基台 是给几寸用的？ 研发的时候是不是只要曝光
: 你们实
: 验室一
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h****e
发帖数: 1 | 257 我对没有用的东西基本屏蔽。。。。
。。
: 弃婴问你euv光是那些能级跃迁产生的 你都回答不上来
: 一点理论都不懂 就一天到晚 做技工活儿
: 华为缺这样的技工吗？
【在 I****e 的大作中提到】
: 弃婴问你euv光是那些能级跃迁产生的 你都回答不上来
: 一点理论都不懂 就一天到晚 做技工活儿
: 华为缺这样的技工吗？
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a*****g
发帖数: 1320 | 258 偷取信息的间谍发各种伪装问题 索南们还屁颠屁颠地解释回答。
【在 C*****4 的大作中提到】
: 我打算以后让孩子去搞光刻机研究，怎么样。。。吨吨吨
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h****e
发帖数: 1 | 259 都是公开资料。。。。
没有啥
。。。
: 偷取信息的间谍发各种伪装问题 索南们还屁颠屁颠地解释回答。
【在 a*****g 的大作中提到】
: 偷取信息的间谍发各种伪装问题 索南们还屁颠屁颠地解释回答。
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C*****4
发帖数: 8585 | 260 你从锁南的回答里学到点啥屁了?
: 偷取信息的间谍发各种伪装问题 索南们还屁颠屁颠地解释回答。
【在 a*****g 的大作中提到】
: 偷取信息的间谍发各种伪装问题 索南们还屁颠屁颠地解释回答。
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n****4
发帖数: 12553 | 261 这个光刻机的“光”，是个副词。类似于“光吃饭不干活”里的光。你们明白了吗 |
s*i
发帖数: 344 | 262 光刻机，由生产工具被异化为政治工具和战略工具的时候，也就意味着它被攻克的日子
不远了，各种技术路径都会再被翻一遍的，也许还有更多的颠覆。
只盯在一条路上是非常肤浅滴 |
a***e
发帖数: 27968 | 263 怎么可能1%？EUV每个都是0.9-0.8的水平，靠的还是多层膜，掠射角
: 不是相干性问题 多喷嘴会导致出光强度有variation ， 这个对于euv本身的奇
高无比
: 的shot noise要求是雪上加霜
: 多个反射镜组模是为了做光场相位畸变调整 术语是lens aberration
correction. 在
: DUV里面也需要十几个不同的lens来调整镜片的畸变效应。同一个道理
: 相位畸变在镜片各个部分不一样 就需要加各种镜片进一步调整
: euv反射镜面材料必须要保证反射率达到几乎全反射 损耗在1%之内。 而最后相
位控制
: 必须在百分之一波长的精度量级，要不然出来的光根本没法用
【在 I****e 的大作中提到】
: 弃婴问你euv光是那些能级跃迁产生的 你都回答不上来
: 一点理论都不懂 就一天到晚 做技工活儿
: 华为缺这样的技工吗？
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a***e
发帖数: 27968 | 264 尼玛一个光子100eV，同样的能量光子数少了50倍，会出来一个统计噪声影响曝光控制
: 不懂布拉格
: 你前面提到的shot noise是近似于白噪的随机噪声吗？
: 用时间叠加的方式提高信噪比？所以你专注研究了好一阵1/sqrt(n) noise?
【在 e***d 的大作中提到】
: 哦，好
: 这个跃迁通过激光的什么参数控制？
: 除此之外，今天没问题了
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a***e
发帖数: 27968 | 265 尼玛13.6你还搞出nhigh nlow了？那鬼东西靠的是密度对比度，本质上是X Ray衍射的
原理，只不过X-ray能看到原子层这个靠超晶格
: 简单吧
【在 I****e 的大作中提到】
: 弃婴问你euv光是那些能级跃迁产生的 你都回答不上来
: 一点理论都不懂 就一天到晚 做技工活儿
: 华为缺这样的技工吗？
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a***e
发帖数: 27968 | 266 这个膜要外延就死定了
: PVD还好。妈的国内似乎连好的MBE都造不出来。
【在 A******u 的大作中提到】
: 那应该是配个低能电子衍射之类的东西。报告听多了，这些事情大概都听过。
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a***e
发帖数: 27968 | 267 你那个是老黄历了，现在的膜靠的就是PVD
: 二十年前我们的膜用的是ion assisted cvd 还是啥名字。。。
: 忘了
: mbe就是单层膜， 很慢， 没啥用。
: 我自己没用过， 实验室有，
: pvd我只做过一两次。。 pvd一般质量都很差， 应该尽量避免的
【在 h****e 的大作中提到】
: 都是公开资料。。。。
: 没有啥
: 。。。
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: 偷取信息的间谍发各种伪装问题 索南们还屁颠屁颠地解释回答。
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