n********t
发帖数: 21 | |
h****e
发帖数: 1 | 2 我觉得最难的还是光刻机wafer和reticle平台的稳定运行， overlay， 要达到nm量级
， 速度很快， 加速停下是重力加速度很多倍， 需要很好的控制， 重复。这里面速度
控制防震是关键吧。
再难的是镜头， 蔡司看得很严， 但是这个恰恰是国内追踪最容易的。 设计估计不是
太困难。难在制造。
然后就是光源了， 我做无关紧要的部分。 光源的难处是使用寿命， 否则划不来。 其
实出光没有多难， 就是效率如何，能用多久。 这个里面流体力学需要不少， 其实主
要还是摸索， 弄起来几个台子折腾， 就好了。 光源工作靠的是激光， 精密测量，和
控制。 按说华为应该是这方面的强项。
总体问题还是造价高， 应该起点低点热身， 原理清楚了改进很容易。 |
d**T
发帖数: 156 | 3 给人感觉菌斑大小将军都个个有志搞光刻机，一个比一个懂，说话口气不容质疑。但在
国内HR眼里看来，都是屁。
当然，国内目前拿房顶搞光刻机芯片的那些人，可能连屁都不是。所以将军们不服 |
T*******x
发帖数: 8565 | 4 说的挺不错的。弃婴正在赶来扁你。
【在 h****e 的大作中提到】
: 我觉得最难的还是光刻机wafer和reticle平台的稳定运行， overlay， 要达到nm量级
: ， 速度很快， 加速停下是重力加速度很多倍， 需要很好的控制， 重复。这里面速度
: 控制防震是关键吧。
: 再难的是镜头， 蔡司看得很严， 但是这个恰恰是国内追踪最容易的。 设计估计不是
: 太困难。难在制造。
: 然后就是光源了， 我做无关紧要的部分。 光源的难处是使用寿命， 否则划不来。 其
: 实出光没有多难， 就是效率如何，能用多久。 这个里面流体力学需要不少， 其实主
: 要还是摸索， 弄起来几个台子折腾， 就好了。 光源工作靠的是激光， 精密测量，和
: 控制。 按说华为应该是这方面的强项。
: 总体问题还是造价高， 应该起点低点热身， 原理清楚了改进很容易。
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a***n
发帖数: 1993 | 5 耗哥，激光轰击锡滴产生锡蒸气的问题算大问题还是小问题？
【在 h****e 的大作中提到】
: 我觉得最难的还是光刻机wafer和reticle平台的稳定运行， overlay， 要达到nm量级
: ， 速度很快， 加速停下是重力加速度很多倍， 需要很好的控制， 重复。这里面速度
: 控制防震是关键吧。
: 再难的是镜头， 蔡司看得很严， 但是这个恰恰是国内追踪最容易的。 设计估计不是
: 太困难。难在制造。
: 然后就是光源了， 我做无关紧要的部分。 光源的难处是使用寿命， 否则划不来。 其
: 实出光没有多难， 就是效率如何，能用多久。 这个里面流体力学需要不少， 其实主
: 要还是摸索， 弄起来几个台子折腾， 就好了。 光源工作靠的是激光， 精密测量，和
: 控制。 按说华为应该是这方面的强项。
: 总体问题还是造价高， 应该起点低点热身， 原理清楚了改进很容易。
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T*******x
发帖数: 8565 | 6 嗯，有人谈大问题有人谈小问题，这是对的。
【在 a***n 的大作中提到】
: 耗哥，激光轰击锡滴产生锡蒸气的问题算大问题还是小问题？
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f***a
发帖数: 68 | 7 难点都在机械材料相关的基础工艺上，不需要特别高的科技，但需要几十年的试错经验
积累 |
f***a
发帖数: 68 | 8 以前做过需要微米级别精度的生产设备，发现相关零部件很多是和半导体制造有关，而
且供应商都是美日欧里的，没台湾或韩国什么事
比如最基础的一个移动平台，要保持100mm移动距离上5um的精度，只有几家公司可以做
【在 f***a 的大作中提到】
: 难点都在机械材料相关的基础工艺上，不需要特别高的科技，但需要几十年的试错经验
: 积累
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h****e
发帖数: 1 | 9 这个不是大问题。
虽然可能最复杂
但是参数人们泄露出来的不少。。
: 耗哥，激光轰击锡滴产生锡蒸气的问题算大问题还是小问题？
【在 a***n 的大作中提到】
: 耗哥，激光轰击锡滴产生锡蒸气的问题算大问题还是小问题？
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I****e
发帖数: 7742 | 10 激光产生的锡靶材溅射就是很头疼的问题 现在要用巨量的氢气作为cleaning gas， 远
远超过之前的用量，上千倍的量级。
上个月氢气供应链紧张直接导致很多公司EUV机器停机
【在 a***n 的大作中提到】
: 耗哥，激光轰击锡滴产生锡蒸气的问题算大问题还是小问题？
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I****e
发帖数: 7742 | 11 pellicle也是难点做了十几年了 才刚刚有点眉目
还有现在的euv mask的3D effect 造成分辨率上不去 也是大问题 还没完全解决
这些不是业界的不知道难度在哪儿
【在 h****e 的大作中提到】
: 我觉得最难的还是光刻机wafer和reticle平台的稳定运行， overlay， 要达到nm量级
: ， 速度很快， 加速停下是重力加速度很多倍， 需要很好的控制， 重复。这里面速度
: 控制防震是关键吧。
: 再难的是镜头， 蔡司看得很严， 但是这个恰恰是国内追踪最容易的。 设计估计不是
: 太困难。难在制造。
: 然后就是光源了， 我做无关紧要的部分。 光源的难处是使用寿命， 否则划不来。 其
: 实出光没有多难， 就是效率如何，能用多久。 这个里面流体力学需要不少， 其实主
: 要还是摸索， 弄起来几个台子折腾， 就好了。 光源工作靠的是激光， 精密测量，和
: 控制。 按说华为应该是这方面的强项。
: 总体问题还是造价高， 应该起点低点热身， 原理清楚了改进很容易。
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G**********1
发帖数: 1 | 12 擦，华为HR眼里到底啥不是个屁
: 给人感觉菌斑大小将军都个个有志搞光刻机，一个比一个懂，说话口气不容质疑
。但在
: 国内HR眼里看来，都是屁。
: 当然，国内目前拿房顶搞光刻机芯片的那些人，可能连屁都不是。所以将军们不服
【在 d**T 的大作中提到】
: 给人感觉菌斑大小将军都个个有志搞光刻机，一个比一个懂，说话口气不容质疑。但在
: 国内HR眼里看来，都是屁。
: 当然，国内目前拿房顶搞光刻机芯片的那些人，可能连屁都不是。所以将军们不服
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w***b
发帖数: 535 | 13 没什么用，光刻机需要一个最完整最尖端的工业体系支持才能造出来，中美之间差一个
文明的距离，别说耗子，一万个爱因斯坦给中国也造不出。 |
T*******x
发帖数: 8565 | 14 傻b
【在 w***b 的大作中提到】
: 没什么用，光刻机需要一个最完整最尖端的工业体系支持才能造出来，中美之间差一个
: 文明的距离，别说耗子，一万个爱因斯坦给中国也造不出。
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w***b
发帖数: 535 | 15 你多次而且很好的诠释了你自己。
【在 T*******x 的大作中提到】
: 傻b
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T*******x
发帖数: 8565 | 16 这么说不为过吧？
【在 T*******x 的大作中提到】
: 傻b
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a***n
发帖数: 1993 | 17 光刻机是美国造的？
【在 w***b 的大作中提到】
: 没什么用，光刻机需要一个最完整最尖端的工业体系支持才能造出来，中美之间差一个
: 文明的距离，别说耗子，一万个爱因斯坦给中国也造不出。
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I****e
发帖数: 7742 | 18 小粉蛆玻璃心又碎了 lol
【在 T*******x 的大作中提到】
: 傻b
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t*****n
发帖数: 1589 | 19 武汉红心老板卖鱼的出身
将军们在人眼里就是民工
【在 d**T 的大作中提到】
: 给人感觉菌斑大小将军都个个有志搞光刻机，一个比一个懂，说话口气不容质疑。但在
: 国内HR眼里看来，都是屁。
: 当然，国内目前拿房顶搞光刻机芯片的那些人，可能连屁都不是。所以将军们不服
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m*******r
发帖数: 1 | 20 哪有那么大差距，真有半个爱因斯坦肯定搞定
问题是现在没有半个爱因斯坦
【在 w***b 的大作中提到】
: 没什么用，光刻机需要一个最完整最尖端的工业体系支持才能造出来，中美之间差一个
: 文明的距离，别说耗子，一万个爱因斯坦给中国也造不出。
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f****e
发帖数: 24964 | 21 精密光学机械，光学镜头，光源
鳖都搞不定
【在 h****e 的大作中提到】
: 我觉得最难的还是光刻机wafer和reticle平台的稳定运行， overlay， 要达到nm量级
: ， 速度很快， 加速停下是重力加速度很多倍， 需要很好的控制， 重复。这里面速度
: 控制防震是关键吧。
: 再难的是镜头， 蔡司看得很严， 但是这个恰恰是国内追踪最容易的。 设计估计不是
: 太困难。难在制造。
: 然后就是光源了， 我做无关紧要的部分。 光源的难处是使用寿命， 否则划不来。 其
: 实出光没有多难， 就是效率如何，能用多久。 这个里面流体力学需要不少， 其实主
: 要还是摸索， 弄起来几个台子折腾， 就好了。 光源工作靠的是激光， 精密测量，和
: 控制。 按说华为应该是这方面的强项。
: 总体问题还是造价高， 应该起点低点热身， 原理清楚了改进很容易。
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