f***y 发帖数: 4447 | 1 集微网消息,11月21日,上海集成电路研发中心有限公司(ICRD)和北方华创联合宣布,
ICRD采用北方华创NMC612D电感耦合等离子体(ICP)刻蚀机等国产设备完成了14nm鳍式
晶体管自对准双重图形(14nm FinFET SADP)相关工艺的自主开发,各项工艺指标均已达
到量产要求,在集成电路14nm核心工艺技术上取得了重大进展。
ICRD使用国产集成电路设备进行了核心工艺研发,北方华创NMC 612D ICP刻蚀机作为核
心刻蚀工艺设备,其工艺表现将直接影响鳍式晶体管器件的工艺性能和良率,凭借其优
良的刻蚀形貌控制、均匀性控制、较低刻蚀损伤、较高刻蚀选择比等方面的技术优势,
北方华创的NMC612D ICP刻蚀机为相关工艺的成功开发做出了重大贡献,并为5nm SAQP技
术的自主开发奠定了坚实的基础。
NMC612D 电感耦合等离子体刻蚀机在ICRD 14nm FinFET SADP工艺开发中的成功应用,
是ICRD和北方华创战略合作取得的阶段性重大成果,填补了国产高端集成电路设备在先
进集成电路工艺制程领域14nm FinFET SADP刻蚀工艺应用的空白,证明了国产机台的性
能已达到业界先进水平。(校对/图图) |
v**o 发帖数: 4956 | |
b*******t 发帖数: 4756 | 3 14nm足够了。intel 都14nm++++++++++多少年了。
凭现在的技术,干翻美国的半导体产业已经不是大问题了。 |
g**w 发帖数: 16 | 4 如果真的是全部自主知识产权,自己会了14nm,下一步就容易多了。
人家是在攻克5nm啊,希望是真的
【在 b*******t 的大作中提到】 : 14nm足够了。intel 都14nm++++++++++多少年了。 : 凭现在的技术,干翻美国的半导体产业已经不是大问题了。
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m****d 发帖数: 1 | 5 14nm已经很牛的光刻鸡了,美国日本都造不出来,只会从荷兰买现成的鸡,回家下蛋。
14nm的芯片虽然比不上5nm,但已经满足很多领域,可能比5nm的市场还大,便宜。
别到最后又是一个屁,一点渣都没留下,净被骗子骗去一大笔钱,骗子惯用的伎俩,已
经被骗多次 |
C***S 发帖数: 1159 | 6 这是蚀刻机,不是光刻机。蚀刻机本来就很强,台积电都买国内的。 |
f***y 发帖数: 4447 | 7 Intel在闭大招。无需euv一直干到3纳米。中芯的榜样。
【在 b*******t 的大作中提到】 : 14nm足够了。intel 都14nm++++++++++多少年了。 : 凭现在的技术,干翻美国的半导体产业已经不是大问题了。
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f***y 发帖数: 4447 | 8 并为5nm SAQP技术的自主开发奠定了坚实的基础 |
c****h 发帖数: 4968 | 9 14nm对大部分工业来讲,已经绰绰有余了。制程是一半,软件,设计是另一半。有了
14nm的平台,土鳖的电子工业又进了一大步。 |
f***y 发帖数: 4447 | 10 这研究所属于华虹。所以说华虹也掌握了14nm。更好消息是10nm也成功了,所以现在研
发5nm。
【在 c****h 的大作中提到】 : 14nm对大部分工业来讲,已经绰绰有余了。制程是一半,软件,设计是另一半。有了 : 14nm的平台,土鳖的电子工业又进了一大步。
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