長江存儲機台叩治錆h - Military版

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長江存儲機台叩治錆h 可造14奈米3D NAND
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2018-05-20 11:20聯合報記者林宸誼╱即時報導
繼中芯國際花了1.2億美元，從荷蘭ASML買來一部EUV機台，未來可用於生產7奈米工藝
晶片後，長江存儲19日也迎來了自己的第一部機台，大陸國產SSD固態硬碟再次取得重
大突破。
快科技報導，這台機台同樣來自荷蘭ASML，價值7200萬美元，是193奈米機台，19日中
午叩治錆h天河機場，設備相關的海關、商檢及邊防口岸的相關手續辦理完成後，就咧
灵L江存儲的工廠。
這台ASML的193奈米機台，用於14奈米到20奈米工藝，這也從側面透露了長江存儲3D
NAND快閃記憶體晶片的工藝制程，接下來陸續還會有多部叩帧br />
微影機台是晶片製造的核心設備之一，按照用途可以分為用於生產晶片，或是用於LED
製造，而用於生產晶片的微影機台，是中國大陸在半導體設備製造上最大的短處，大陸
晶圓廠所需的高階微影機台目前仍完全依賴進口，
長江存儲首批400萬美元的精密儀器，於今年4月5日開始進場安裝，代表國家記憶體基
地從廠房建設階段進入量產準備階段，目前長江存儲已經試產，產業鏈上不少企業已拿
到了樣片在測試，如果順利，今年第4季，大陸首批擁有完全自主智慧財產權的32層3D
NAND快閃記憶體晶片將實現量產。
紫光集團全球執行副總裁、長江存儲執行董事長高啟全表示，這僅是剛開始，32層3D
NAND快閃記憶體晶片量產後，不會上很高的產量，更主要的是完成完全自主技術累積，
若技術不夠好，不會硬沖產量。
高啟全指出，64層快閃記憶體產品研發也在迅速進行，力爭2019年底實現產能爬坡量產
，這樣就能把與全球領先大廠的差距縮短在2年以內。
紫光集團董事長趙偉國表示，希望5年內站穩腳跟，但真正的成功需要10年時間，晶片
生產機台搬入，正如航空母艦艤裝（船靠岸裝配）完畢，開始裝配武器彈藥，下一步就
要在今年底實現晶片量產，出海遠航。
長江存儲首部機台已抵達武漢。快科技

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