s*******n 发帖数: 121 | 1 【 以下文字转载自 Chemistry 讨论区,原文如下 】
发信人: shanshicn (zz), 信区: Chemistry
标 题: 那些溶剂可以除去polymer coating?
发信站: Unknown Space - 未名空间 (Wed May 4 22:39:30 2005) WWW-POST
我有一个silicon sample,表面有层polymer coating (PDDA),试了methanol,acetone 还
有piranha etch,都不行,大家一般常用什么呢?多谢。 | c*s 发帖数: 2145 | 2 oxygon plasma?
还
【在 s*******n 的大作中提到】 : 【 以下文字转载自 Chemistry 讨论区,原文如下 】 : 发信人: shanshicn (zz), 信区: Chemistry : 标 题: 那些溶剂可以除去polymer coating? : 发信站: Unknown Space - 未名空间 (Wed May 4 22:39:30 2005) WWW-POST : 我有一个silicon sample,表面有层polymer coating (PDDA),试了methanol,acetone 还 : 有piranha etch,都不行,大家一般常用什么呢?多谢。
| p******s 发帖数: 137 | 3 you can not burn it?
还
【在 s*******n 的大作中提到】 : 【 以下文字转载自 Chemistry 讨论区,原文如下 】 : 发信人: shanshicn (zz), 信区: Chemistry : 标 题: 那些溶剂可以除去polymer coating? : 发信站: Unknown Space - 未名空间 (Wed May 4 22:39:30 2005) WWW-POST : 我有一个silicon sample,表面有层polymer coating (PDDA),试了methanol,acetone 还 : 有piranha etch,都不行,大家一般常用什么呢?多谢。
|
|