m******u
发帖数: 14 | 1 怎么知道有多厚啊?
除了拿SEM看以外,还有什么办法
另外,spin coating的film表面粗糙吗?
大家帮我一下
谢谢 | b*****h
发帖数: 29 | 2 there are several ways
the easiest is just AFM since you do not need standard working table
if you can find semi guys there, there are other laser optic ways.
【在 m******u 的大作中提到】
: 怎么知道有多厚啊?
: 除了拿SEM看以外,还有什么办法
: 另外,spin coating的film表面粗糙吗?
: 大家帮我一下
: 谢谢
| m******u
发帖数: 14 | 3 AFM感觉范围太小了
第一次做spin coating,不知道膜有多均匀
和另一个人说laser optic
他说要标准膜厚的样品 :(
【在 b*****h 的大作中提到】
: there are several ways
: the easiest is just AFM since you do not need standard working table
: if you can find semi guys there, there are other laser optic ways.
| m****h
发帖数: 1 | 4 最简单是用interferometer. Surface profiler也很容易.但这些小仪器要在做半导体的
地方或cleanroom才有.
如果你的膜很厚,用micrometer也可以大概知道.
【在 m******u 的大作中提到】
: AFM感觉范围太小了
: 第一次做spin coating,不知道膜有多均匀
: 和另一个人说laser optic
: 他说要标准膜厚的样品 :(
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