l*****o
发帖数: 82 | 1 请教各位高分子大拿：
如果溶解在氯苯里的PMMA经过spin-coating到基板(如石英片硅片)后,
在Tg以上温度下经过足够时间的焙烘, 还会溶解在氯苯里吗. 如果会，
那会多快呢？（几纳米/分钟？还是几十/几百？）
先谢谢了 | w********h
发帖数: 12367 | 2 不明白你的问题。
PMMA是典型的amorphous聚合物，焙烘对它的溶解性为什么会有影响？
又没有交联。
一开始以为你说聚合物在玻璃态能被溶解么？
答案是当然能，比如PS, 100度的Tg，室温下溶解。
【在 l*****o 的大作中提到】
: 请教各位高分子大拿：
: 如果溶解在氯苯里的PMMA经过spin-coating到基板(如石英片硅片)后,
: 在Tg以上温度下经过足够时间的焙烘, 还会溶解在氯苯里吗. 如果会，
: 那会多快呢？（几纳米/分钟？还是几十/几百？）
: 先谢谢了
| l*****o
发帖数: 82 | 3 不好意思，我是做lithography的，对聚合物几乎是一无所知。
实验室的标准工艺是将co-P(MMA-MAA)和PMMA先后spin-coating到
硅片上去。每次COATING后都要在Tg以上温度焙烘。
我的问题其实是，由于两种聚合物都是氯苯溶液，后一种聚合物
溶液涂到前一种聚合物薄膜上以后，它的溶剂会不会溶解前一种
薄膜造成两种聚合物在界面附近相当大的厚度区间内互相混合，
肇成界面模糊？
【在 w********h 的大作中提到】
: 不明白你的问题。
: PMMA是典型的amorphous聚合物，焙烘对它的溶解性为什么会有影响？
: 又没有交联。
: 一开始以为你说聚合物在玻璃态能被溶解么？
: 答案是当然能，比如PS, 100度的Tg，室温下溶解。
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