请教各位 (转载) - Macromolecules版

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n*******r
发帖数: 213

【以下文字转载自 Physics 讨论区】
发信人: nydreamer (dreamer), 信区: Physics
标题: 请教各位
发信站: BBS 未名空间站 (Sat Oct 14 17:10:31 2006)
测low k film material的k值有哪些方法？这些方法对材料的厚度和substrate一般有
哪些要求？或者请推荐这方面的书籍和文献。多谢！

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