wet etch Ta and TaN - Engineering版

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Engineering版 - wet etch Ta and TaN

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j******n
发帖数: 18

Does anyone know how to wet etch Ta or TaN layer?
I have about 500A thick Ta(N) layer with SiO2 or SiN passivation.
So I don't want the solution attack too much of the passivation.
Thanks a lot

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