请教：光刻里给定mask形状&尺寸，有什么软件能算出成像？ - EE版

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EE版 - 请教：光刻里给定mask形状&尺寸，有什么软件能算出成像？

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a******n 发帖数: 100	1 请教：光刻里给定的mask形状&尺寸，有什么软件能算出成像？有什么现成的（开源）软件吗？想用来做 simulation. 谢谢！
S****8 发帖数: 401	2 工业界主流synopsys s-litho, 另外还有kla-tencor的prolith和panoramic tech的 hyperlith 基本没有开源的，开源的也基本不靠谱【在 a******n 的大作中提到】 : 请教：光刻里给定的mask形状&尺寸，有什么软件能算出成像？ : 有什么现成的（开源）软件吗？ : 想用来做 simulation. : 谢谢！

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