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y*m
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本科的时候,毕设作的是半导体显节,就是检测S/D掺杂的profile。好像一般都用SIMS
来看掺杂的浓度/深度是不是,为什么没有这方面的需求呢?毕竟如果能看清这个杂志
分部,总比SIMS直观吧,至少也是一个补充吧,不太明白。
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