w********o
发帖数: 10088 | 1 Si上的dielectrics的permittivity从low-k到high-k的range大概有多少？
能想要啥permittivity都能找到相应的材料么？
刚看了一篇paper，文章里面用的permittivity取值1,2,3,4,6等，信手拈来，能做到么
？谢谢 |
t********t
发帖数: 22 | 2 这是要做gate dielectric还是interlayer dielectric? Gate dielectric的话SiO2 k=
3.9，high k的话10-30的材料挺多的，HfO2是25. 如果是interlayer dielectric一般
越低越好，一般在1-3左右，应该可以调的，不知道你那个paper里面用的是什么材料。
【在 w********o 的大作中提到】
: Si上的dielectrics的permittivity从low-k到high-k的range大概有多少？
: 能想要啥permittivity都能找到相应的材料么？
: 刚看了一篇paper，文章里面用的permittivity取值1,2,3,4,6等，信手拈来，能做到么
: ？谢谢
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w********o
发帖数: 10088 | 3 谢谢
是ldmos里面填trench的dielectrics，一个trench填不通dielectric constant的材料
paper里面没说是啥材料，纯simulation的，但是我觉得这constant值取得挺扯的，从1
取到6，每层加1
low dielectric的constant怎么调啊？
k=
【在 t********t 的大作中提到】
: 这是要做gate dielectric还是interlayer dielectric? Gate dielectric的话SiO2 k=
: 3.9，high k的话10-30的材料挺多的，HfO2是25. 如果是interlayer dielectric一般
: 越低越好，一般在1-3左右，应该可以调的，不知道你那个paper里面用的是什么材料。
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S****d
发帖数: 298 | 4 porous材料有可能吗？
【在 w********o 的大作中提到】
: Si上的dielectrics的permittivity从low-k到high-k的range大概有多少？
: 能想要啥permittivity都能找到相应的材料么？
: 刚看了一篇paper，文章里面用的permittivity取值1,2,3,4,6等，信手拈来，能做到么
: ？谢谢
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a*******i
发帖数: 11664 | 5 加空洞，Porous silicon dioxide,
有不少人搞这个
http://en.wikipedia.org/wiki/Low-K
从1
【在 w********o 的大作中提到】
: 谢谢
: 是ldmos里面填trench的dielectrics，一个trench填不通dielectric constant的材料
: paper里面没说是啥材料，纯simulation的，但是我觉得这constant值取得挺扯的，从1
: 取到6，每层加1
: low dielectric的constant怎么调啊？
:
: k=
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t********t
发帖数: 22 | 6 比如说用polymer，那就可以加个啥基团或者啥链的来变constant，还有fluorinated
carbon或者silica，可以改变fluorine的content来变k，或者porous直接改变密度，还
有什么hybrid的材料
从1
【在 w********o 的大作中提到】
: 谢谢
: 是ldmos里面填trench的dielectrics，一个trench填不通dielectric constant的材料
: paper里面没说是啥材料，纯simulation的，但是我觉得这constant值取得挺扯的，从1
: 取到6，每层加1
: low dielectric的constant怎么调啊？
:
: k=
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w********o
发帖数: 10088 | 7 学习了，还能这么玩
看来3.9以下都没啥问题，不知道往上调咋搞了
【在 a*******i 的大作中提到】
: 加空洞，Porous silicon dioxide,
: 有不少人搞这个
: http://en.wikipedia.org/wiki/Low-K
:
: 从1
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w********o
发帖数: 10088 | 8 看来low k的好办，那弄到6有戏么
【在 t********t 的大作中提到】
: 比如说用polymer，那就可以加个啥基团或者啥链的来变constant，还有fluorinated
: carbon或者silica，可以改变fluorine的content来变k，或者porous直接改变密度，还
: 有什么hybrid的材料
:
: 从1
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t********t
发帖数: 22 | 9 Fluorinated amorphous carbon就能调到6甚至更高
【在 w********o 的大作中提到】
: 看来low k的好办，那弄到6有戏么
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w********o
发帖数: 10088 | 10 哦，这样啊，多谢多谢
【在 t********t 的大作中提到】
: Fluorinated amorphous carbon就能调到6甚至更高
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