请问有没有人用过SiF4 气体？ (转载) - EE版

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话题: sif4话题: 气体

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s*****6
发帖数: 2379

【以下文字转载自 Postdoc 讨论区】
发信人: simon06 (simon06), 信区: Postdoc
标题: 请问有没有人用过SiF4 气体？
发信站: BBS 未名空间站 (Thu Mar 22 09:19:13 2012, 美东)
我们打算用这种气体。
如果有人用过的话，想请教一些安全性，分解过程等问题。
先站内联系。
谢谢。

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