请问光刻机光源使用的最长的波长是多少？ - EE版 - 未名存档

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EE版 - 请问光刻机光源使用的最长的波长是多少？

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g******s 发帖数: 733	1 google了一下，有g-line, i-line, 波长分别为436nm和365nm。请问还有什么别的更长的波长吗？先谢了！
c*********5 发帖数: 5813	2 nope, only the two windows are available
g******s 发帖数: 733	3 多谢！应该还有更短的波长，好像是193nm. 【在 c*********5 的大作中提到】 : nope, only the two windows are available

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