哪位帮我看看这个谐振频率的计算错在什么地方 - EE版

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EE版 - 哪位帮我看看这个谐振频率的计算错在什么地方

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g******s
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基本上是按照一篇论文中类似装置的谐振频率的计算方法。实际上有4x10个fingers,图
中只画出4x6个fingers。算rotation stiffness的时候只算了一个finger，算mass
moment of inertia的时候只算了圆形微镜，忽略了fingers,因为fingers比圆形微镜小
很多。得到的谐振频率为46.7KHz。
而用商业软件算的结果是10KHz，实测的是8-10KHz。总之我的结果是实际的4倍。
估计mass moment of inertia的计算应该是对的，虽然忽略了fingers导致mass moment
of inertia 偏小。主要错误估计在rotation stiffness的计算。麻烦哪位告诉我，这
里应该怎么计算rotation stiffness？先谢了！

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