哪位大侠介绍个做mask 的公司，精度0.6um左右吧 - EE版 - 未名存档

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EE版 - 哪位大侠介绍个做mask 的公司，精度0.6um左右吧

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d********a 发帖数: 23	1 做mems 用到，结果联系了两家mask制作公司，都是10um左右的精度，哪位能给介绍几家公司，精度高一些的，非常感谢。
D*e 发帖数: 5	2 Try this. I used their services for MEMS 10 years ago. At that time, the resolution was about 1um. I guess now the resolution should be around what you need. http://www.photo-science.com
d********a 发帖数: 23	3 Thanks a billion.

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