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EE版 - Tsuprem4中什么办法减小LOCOS的Bird's beak的横向扩展宽度?
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h********e
发帖数: 6
1
就是我按照手册中,Advanced Examples中的Poly-Buffered LOCOS(page 5-30)做了一
下模拟,
我采用了method viscoel,
material mat=oxide young.m=6.6e11 poiss.r=0.17
material mat=nitride young.m=3.89e12 poiss.r=0.3
然后,我加上visc.o, visc.e,visc.x等参数进去,程序就终止了,不知道什么原因。
还有,在material当中,我需要加上VC这个参数吗?这个是有关压力方面的参数。
因为我在后面的LOCOS的氧化过程中,温度是950度,
而手册只有900度,800度,1000度,和1100度的默认值。
那在950度的情况下,oxide和nitride的对应的VC值应该如何得到?
这个对鸟嘴的形状和宽度有影响吗?
通过上面模拟,我发现横向扩展还是有0.25um左右宽,
请问,如何获得更小的,比如0.1um的模拟结果?
注释:field oxide的厚度是3000A左右。
请高手指点一二!
s******s
发帖数: 121
2
visc.0, visc.e should work fine; are you sure visc.0 in your input (not visc
.o)? Or what is the error message?
No idea about VC.

【在 h********e 的大作中提到】
: 就是我按照手册中,Advanced Examples中的Poly-Buffered LOCOS(page 5-30)做了一
: 下模拟,
: 我采用了method viscoel,
: material mat=oxide young.m=6.6e11 poiss.r=0.17
: material mat=nitride young.m=3.89e12 poiss.r=0.3
: 然后,我加上visc.o, visc.e,visc.x等参数进去,程序就终止了,不知道什么原因。
: 还有,在material当中,我需要加上VC这个参数吗?这个是有关压力方面的参数。
: 因为我在后面的LOCOS的氧化过程中,温度是950度,
: 而手册只有900度,800度,1000度,和1100度的默认值。
: 那在950度的情况下,oxide和nitride的对应的VC值应该如何得到?

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