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Chemistry版 - PS-b-MMA annealing 求教
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s*****e
发帖数: 172
1
请问:PS-b-MMA 镀膜 annealing的时候,为什么要在真空箱里面?比如170 degree
under vacuum.
如果不是在真空环境下,比如说暴露在高温空气中,对镀膜结果会有何影响?会不会
styrene 或 MMA发生一些化学反应?会是何样的反应?
谢谢!
y*******n
发帖数: 127
2
这么高的温度,PS,尤其是PMMA极易被氧化,导致其表面亲水性增加,严重的甚至会导
致膜破掉。即使在真空中退火,其水接触角也略有下降。
s*****e
发帖数: 172
3
谢谢。如果真空的话,需要非常精密的真空箱吗?
我还看过文献报道:如果这样的膜被UV光照,PS会交联,PMMA会裂解。而且有的报道说
要在惰性气体里面UV光照,比如Ar气。如果不用惰性气体,又会如何呢?
谢谢。
h***s
发帖数: 111
4
高空度太高会影响热传导,不利于加热。不用惰性气体的话,氧气的存在会氧化
polymer,导致力学性能降低,得到non-
uniform pore sizes or line width or pattern collapse。

【在 s*****e 的大作中提到】
: 谢谢。如果真空的话,需要非常精密的真空箱吗?
: 我还看过文献报道:如果这样的膜被UV光照,PS会交联,PMMA会裂解。而且有的报道说
: 要在惰性气体里面UV光照,比如Ar气。如果不用惰性气体,又会如何呢?
: 谢谢。

h***s
发帖数: 111
5
thermal oxidation and degradation

【在 s*****e 的大作中提到】
: 请问:PS-b-MMA 镀膜 annealing的时候,为什么要在真空箱里面?比如170 degree
: under vacuum.
: 如果不是在真空环境下,比如说暴露在高温空气中,对镀膜结果会有何影响?会不会
: styrene 或 MMA发生一些化学反应?会是何样的反应?
: 谢谢!

s*****e
发帖数: 172
6
Thanks a lot!你们懂得真多阿!
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